王明威 吳 坤

（鄭州工商學(xué)院，河南 鄭州451400）

全自動(dòng)砂輪式劃片機(jī)是以強(qiáng)力砂輪薄片磨削為劃切機(jī)理，利用高速運(yùn)轉(zhuǎn)的空氣靜壓主軸帶動(dòng)刀片，以3 萬(wàn)轉(zhuǎn)/分鐘到6萬(wàn)轉(zhuǎn)/分鐘（或更高）的轉(zhuǎn)速劃切晶圓,由精密滾珠絲杠和超精密直線導(dǎo)軌，通過(guò)伺服電機(jī)和光柵尺等下位機(jī)和工控機(jī)軟件系統(tǒng)上位機(jī)的控制，將砂輪薄片刀刃精確定位在被加工材料上，最終形成具有微米級(jí)精度的深度和寬度的切口將材料切開(kāi)，這個(gè)過(guò)程被稱為劃片或劃切（Dicing Saw）。砂輪式劃切工藝質(zhì)量和效率受切片機(jī)整機(jī)精度、主軸轉(zhuǎn)速、劃切進(jìn)給速度、砂輪刀片質(zhì)量、砂輪刀片厚度等因素影響。除了這些影響因素外還有一個(gè)重要因素是劃切中的冷卻效果。

1 劃切過(guò)程中冷卻水的重要作用

由于全自動(dòng)砂輪劃片機(jī)在劃切工作中主軸高速旋轉(zhuǎn)，在切割硅集成電路、發(fā)光二極管、鈮酸鋰、壓電陶瓷、砷化鎵、藍(lán)寶石、氧化鋁等材料的劃切加工時(shí)，砂輪刀片與材料的接觸處會(huì)產(chǎn)生很高的溫度，帶有一定壓力的劃切冷卻水（凈化、過(guò)濾、去離子），在劃切過(guò)程中不僅能起到冷卻保護(hù)厚度為0.02～1.5mm的砂輪劃片刀的作用，還可以防止產(chǎn)生火花、電擊、電弧現(xiàn)象，同時(shí)可以沖掉劃切過(guò)程中產(chǎn)生的的碎粒、碎屑，減少劃切對(duì)象表面的碎屑污染，提高劃切質(zhì)品的精度。如果冷卻水在劃切中不穩(wěn)定，如壓力不足、水量突然減少、噴灑不到位等現(xiàn)象，就會(huì)出現(xiàn)劃切刀痕加深，砂輪刀片崩邊，嚴(yán)重時(shí)會(huì)劃傷切片機(jī)的工作臺(tái)、砂輪刀體打火、劃切部位燒糊、砂輪刀體卡在制品中、刀具損壞，以至于劃切制品報(bào)廢，影響主軸和劃片機(jī)整機(jī)精度。只有在劃切過(guò)程中提供流量和溫度穩(wěn)定的冷卻水，才能保證劃切品質(zhì)。冷卻水的調(diào)節(jié)包括噴嘴方向、大小、高低、流量大小、冷卻水噴射角度。只有保證良好的冷卻效果，才能保證良好的劃切品質(zhì)。這就要求設(shè)計(jì)一種冷卻水罩，將冷卻水均勻準(zhǔn)確地噴射到砂輪刀片端面兩側(cè)以及徑向劃切刀刃中，保證劃切制品的的質(zhì)量和精度。

2 冷卻水罩的整體設(shè)計(jì)思路

本文砂輪式劃片機(jī)主軸采用的是一款國(guó)產(chǎn)空氣靜壓主軸，主軸內(nèi)部有冷卻水系統(tǒng)和提供劃切冷卻水的通道，主軸前端有三個(gè)出水口。如圖1 所示，關(guān)鍵尺寸為三個(gè)出水孔分布在覬56 的圓上，圓心為主軸的軸線，三個(gè)出水口在覬56 的角度為出水口1與出水口2 角度111°，出水口2 與出水口3 的角度為69°。故設(shè)計(jì)基準(zhǔn)為主軸的軸線。由于劃切刀的直徑有覬52、覬54、覬56、覬58、覬76、覬78、覬100、覬117 等不同規(guī)格，要求冷卻水高度能夠可調(diào)，砂輪刀片在主軸前端靠刀盤(pán)座和刀盤(pán)蓋定位和固定，砂輪刀片分軟刀和硬刀，刀盤(pán)也分軟刀盤(pán)和硬刀盤(pán)，實(shí)際操作中會(huì)根據(jù)劃切制品要求經(jīng)常更換刀盤(pán)和砂輪劃切刀片，砂輪劃切軟刀片裝配圖如圖2 所示，裝配關(guān)系從前至后為主軸鎖母、刀盤(pán)鎖母、刀盤(pán)前蓋、砂輪軟刀、主軸。設(shè)計(jì)要求保證砂輪刀片砂輪刀片前后端面能夠得到冷卻，故冷卻水罩總體采用分體式，圖1所示的出水口1 和出水口2 用來(lái)給冷卻砂輪刀片的前后端面供水，把這部分冷卻裝置設(shè)計(jì)成左冷卻水罩，出水口3 用來(lái)給冷卻砂輪片的徑劃切刃供水，把這部分設(shè)計(jì)成右冷卻水罩。

3 左冷卻水罩設(shè)計(jì)

考慮刀盤(pán)和砂輪劃切刀片經(jīng)常拆卸的特點(diǎn)，左冷卻水罩設(shè)計(jì)成前后分體兩部分左前冷卻水罩和左后冷卻水罩，左前冷卻水罩用來(lái)冷卻劃切刀片的前端面，左后冷卻水罩用來(lái)冷卻劃切刀片的后端面，左后冷卻水罩安裝在主軸出水口的端面上固定不動(dòng)，左前冷卻水罩固定在左后冷卻水罩上能夠滿足經(jīng)常拆卸的要求。

3.1 左后冷卻水罩的設(shè)計(jì)

左后冷卻水罩設(shè)計(jì)要求是能夠把主軸提供的出水口1 和出水口2 引出來(lái)噴射到砂輪劃切刀片的后端面，同時(shí)保證能夠把冷卻水引到左前冷卻水罩。設(shè)計(jì)基準(zhǔn)為主軸軸線，安裝固定孔為主軸出水口端面上2xM4 的兩個(gè)螺紋孔（位置如圖1 所示）。設(shè)計(jì)考慮的尺寸因素還包括主軸的前止推軸承（位置如圖2 所示）徑向和軸向尺寸、刀盤(pán)后座尺寸、砂輪軟刀的尺寸等，還要保證密封出水口不漏水，左后冷卻水罩由左后冷卻水罩罩體和左后噴嘴組成，左后冷卻水罩采用耐磨材質(zhì)黑色聚甲醛，左后噴嘴由兩個(gè)304 不銹鋼管組裝而成，左后冷卻水罩的結(jié)構(gòu)如圖3 所示。

左后冷卻水罩的出水口1 和出水口2 與主軸端面上的出水口1 和出水口2 安裝配合，中間為了防止漏水增加橡膠圈進(jìn)行密封，冷卻水通過(guò)水流道進(jìn)入左后噴嘴，通過(guò)方向向前的三個(gè)寬度0.3mm 的方槽孔噴射到劃切刀片的后端面，覬8 盲孔出來(lái)的冷卻水供給左前冷卻水罩，左后噴嘴通過(guò)調(diào)節(jié)螺母調(diào)節(jié)噴嘴高低，滿足冷卻水高度可調(diào)，符合外徑不同的劃片刀的冷卻要求，覬8 盲孔與水流道相通用以給左前冷卻水罩提供冷卻水，圖3 中的2x覬4.5 與圖1 中的2xM4 的螺紋孔通過(guò)兩個(gè)M4 的內(nèi)六角不銹鋼螺釘固定配合，把左后冷卻水罩固定在主軸出水口端面上，左后冷卻水罩罩體的倒角是為了避開(kāi)刀盤(pán)后座的干涉，各水流道在左后冷卻罩體端面的孔用密封膠加不銹鋼螺釘封堵防止漏水。

3.2 左前冷卻水罩的設(shè)計(jì)

左前冷卻水罩設(shè)計(jì)要求是能夠把左后冷卻水罩φ8 盲孔提供的出水口引出來(lái)噴射到砂輪劃切刀片的前端面。設(shè)計(jì)基準(zhǔn)為主軸軸線和左后冷卻水罩，安裝固定孔為左后冷卻水2xM4的兩個(gè)螺紋孔（位置如圖3 所示）。設(shè)計(jì)考慮的尺寸因素還包括刀盤(pán)前蓋（位置如圖2 所示）、砂輪軟刀外徑等，還要注意密封保證出水口不漏水，左前冷卻水罩由左前冷卻水罩罩體和左前噴嘴組成，左前冷卻水罩也采用耐磨材質(zhì)黑色聚甲醛，左前噴嘴由也由兩個(gè)304 不銹鋼管組裝而成，左前冷卻水罩的結(jié)構(gòu)如圖3 所示。

左前冷卻水罩罩體的覬8 盲孔與左后冷卻水罩罩體的覬8 通過(guò)接套連接，接套為中空結(jié)構(gòu)，材質(zhì)為304 不銹鋼，冷卻水可以通過(guò)接套到達(dá)左前水流道，為了防止漏水接套上增加密封圈進(jìn)行密封，冷卻水通過(guò)水流道進(jìn)入左前噴嘴，通過(guò)有三個(gè)寬度0.3mm 的方槽孔噴射到劃切刀片的前端面，左前噴嘴通過(guò)調(diào)節(jié)螺母調(diào)節(jié)噴嘴高低，滿足冷卻水高度可調(diào)，符合外徑不同的劃片刀的冷卻要求，圖3 中的2xM5 與圖4 中的2xM5 的螺紋孔通過(guò)兩個(gè)M5 的不銹鋼材質(zhì)的不銹鋼螺釘固定配合，把左前冷卻水罩固定在左后冷卻水罩上，考慮左前冷卻水罩經(jīng)常拆卸的特點(diǎn)，擰緊螺釘頭部外圓做了滾花設(shè)計(jì)，為了保證拆的過(guò)程中擰緊螺釘不被完全掉下來(lái)，擰緊螺釘做成中間部分為φ4 外圓，端部為M5 螺紋，左前冷卻罩罩體2xM5 螺紋孔處增加了兩個(gè)φ6 沉頭孔。左前冷卻水罩罩體和左后冷卻水罩罩體之間的安裝定位通過(guò)φ6 的銷釘和接套，滿足了一面兩銷的定位原理。

圖1

圖2

圖3

圖4

4 右冷卻水罩設(shè)計(jì)

右噴嘴設(shè)計(jì)要求是能夠把主軸提供的出水口3 引出來(lái)噴射到砂輪劃切刀片的徑向切削部位，是冷卻水罩設(shè)計(jì)的最核心的部分。設(shè)計(jì)基準(zhǔn)為主軸軸線，安裝固定孔為出水口3 內(nèi)部的M6螺紋孔（位置如圖1 所示）。設(shè)計(jì)考慮的尺寸因素包括主軸的前止推軸承（位置如圖2 所示）、左冷卻水罩徑向和軸向尺寸、刀盤(pán)后座尺寸、砂輪軟刀、刀盤(pán)前蓋等尺寸。右冷卻水罩由中空螺釘、密封圈、密封墊片、過(guò)渡板、噴嘴套、中心軸、右噴嘴組裝而成。

右冷卻水罩的冷卻水通過(guò)中空螺釘和主軸出水口端面的出水口3（如圖1）引出，冷卻水通過(guò)中空的過(guò)渡板到達(dá)中空的中心軸，再通過(guò)中間有環(huán)槽結(jié)構(gòu)的噴嘴套到達(dá)右噴嘴，噴射到砂輪劃切刀片的徑向切削部位。為了防止漏水增加密封圈和密封墊片進(jìn)行密封。除了密封圈和密封墊片采用橡膠材質(zhì)，其它零件均采用不銹鋼材質(zhì)。過(guò)渡板與中心軸、右噴嘴和噴嘴套之間選用過(guò)盈配合并加密封膠防漏水。過(guò)渡板可以圍繞中空螺釘旋轉(zhuǎn)，噴嘴套可以圍繞中心軸旋轉(zhuǎn)，目的是通過(guò)調(diào)節(jié)右噴嘴的角度滿足外徑不同外徑的劃片刀的冷卻要求。

5 結(jié)論

通過(guò)此設(shè)左冷卻水罩可以冷卻砂輪劃切刀片的前后端面，右冷卻水罩可以冷卻劃切刀片的徑向劃切部分，為其他主軸的劃片機(jī)冷卻水罩的設(shè)計(jì)提供了思路。