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        淺談半導(dǎo)體制造行業(yè)危廢鑒別的問題與優(yōu)化建議

        2020-07-18 11:28:51劉媛
        科學(xué)大眾 2020年5期
        關(guān)鍵詞:環(huán)保

        劉媛

        摘 要:隨著我國危險廢物規(guī)范化管理的進一步加強,危險廢物鑒別工作成為規(guī)范化管理不可或缺的組成部分。開展科學(xué)的危廢鑒別工作,可將半導(dǎo)體制造企業(yè)存疑的產(chǎn)廢,明確其危險特性,有效降低企業(yè)固體廢物環(huán)保安全處置風(fēng)險。

        關(guān)鍵詞:危險廢物鑒別;鑒別工作實施流程;環(huán)保

        半導(dǎo)體行業(yè)是我國“十三五”規(guī)劃中的重點發(fā)展領(lǐng)域,是國內(nèi)新興戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)。但其環(huán)評文件中涉及整體工藝的產(chǎn)廢相關(guān)基礎(chǔ)性數(shù)據(jù)并不全面,相關(guān)信息的收集、分析與研究都面臨較大困難,加之目前多數(shù)先進制造工藝技術(shù)具有壟斷保密性質(zhì),所以,開展危險廢物鑒別對彌補產(chǎn)廢基礎(chǔ)數(shù)據(jù)是特別有必要的,更有利于企業(yè)對固體廢物的規(guī)范化管理。

        1 ? ?半導(dǎo)體行業(yè)危廢鑒別現(xiàn)狀

        危險廢物鑒別的程序和判別規(guī)則來源于《危險廢物鑒別通則》,鑒別過程中涉及的樣品采集、檢測和判斷等技術(shù)要求出自《危險廢物鑒別技術(shù)規(guī)范》,這兩項重要的鑒別規(guī)范均在2020年1月1日頒布實施。結(jié)合當(dāng)前半導(dǎo)體行業(yè)的危廢鑒別現(xiàn)狀,采用新規(guī)范鑒別、分析危險廢物,可使鑒別體系更具可操作性,對總結(jié)鑒別實踐經(jīng)驗、降低危險廢物處置難度有重大意義。

        企業(yè)鑒別工作實施流程開展前的首要環(huán)節(jié)就是取得環(huán)評文件。根據(jù)鑒別規(guī)范中針對危險廢物的判定規(guī)則,通常環(huán)評公司會在報告編寫或評審階段羅列出待鑒別的危廢項目,從而使企業(yè)有明確的鑒別目標(biāo)。鑒別工作主要包含取樣檢測及鑒別分析兩部分,取樣包含初篩取樣及正式檢測取樣,可根據(jù)固體廢物的各項危險特性超標(biāo)的可能性,確定檢測優(yōu)先順序。根據(jù)任何一項檢測結(jié)果判定該固體廢物具有危險特性時,可不再檢測其他危險特性。鑒別服務(wù)公司依照檢測結(jié)果,分析并編寫鑒別報告,后經(jīng)專家評審認定即完成整套鑒別流程,可確認待測定固體廢物有無危險特性。

        2 ? ?危廢鑒別存在的問題

        2.1 ?環(huán)評過于從嚴(yán)判定固體廢物

        半導(dǎo)體行業(yè)涉及的固體廢物依照《國家危險廢物名錄》進行辨識,環(huán)評階段發(fā)現(xiàn)一部分廢物并無對應(yīng)行業(yè)及代碼使之完全切合,從工藝流程、產(chǎn)生環(huán)節(jié)、主要成分、有害成分等角度分析并不能完全排除其危險特性,通常環(huán)評階段類比相同或相似的固體廢物危險特性,會從嚴(yán)判定結(jié)果。例如廢晶圓屬于制造工藝中產(chǎn)生的不合格產(chǎn)品,通過分析制造工藝中的砷平衡表,發(fā)現(xiàn)可能有微量砷元素進入了晶圓因而被判定為HW24“含砷廢物”,通過實際危廢鑒別后,發(fā)現(xiàn)并未檢出砷的急性毒性或浸出毒性的危險特性。從嚴(yán)判定必將導(dǎo)致一些本應(yīng)作為一般固體廢物處置的廢棄物轉(zhuǎn)變?yōu)槲kU廢物,從而面臨收集、運輸、處置方式的復(fù)雜化,還會使企業(yè)廢棄物處置成本陡增。

        2.2 ?已定性的固體廢物處置風(fēng)險

        高科技行業(yè)正在經(jīng)歷與日俱增的產(chǎn)業(yè)革新,環(huán)評文件由于編寫、審核、批準(zhǔn)的周期較長,無法保證及時跟進、更新。在環(huán)評中已經(jīng)完成定量定性的固體廢物,如果其在生產(chǎn)工藝運行穩(wěn)定、廢物性質(zhì)穩(wěn)定的情況下,按照環(huán)評要求的處置方式進行處置,可以保障處置合法合規(guī);但當(dāng)廢物性質(zhì)隨工藝變化較大時,該廢物危險特性判定結(jié)果的有效性則會被質(zhì)疑。例如,潔凈室空氣過濾會產(chǎn)生大量的報廢空氣濾網(wǎng),其作用為過濾空調(diào)吸入的外部空氣中微量的污染成分,在環(huán)評中被定性為一般工業(yè)固廢。實際上不同地域氣象條件不同,因而外部空氣質(zhì)量也隨之變化,為保障潔凈室內(nèi)空氣質(zhì)量合規(guī),就會需要使用更為先進的空調(diào)濾芯方可達到滿意的去除效率,這些新型空氣濾網(wǎng)通常含有催化劑及活性炭。如果企業(yè)將含有催化劑及活性炭的固體廢物,繼續(xù)作為一般固廢處置,很有可能為企業(yè)留下安全環(huán)保風(fēng)險。

        3 ? ?危廢鑒別優(yōu)化建議

        3.1 ?提高企業(yè)自身的危廢辨識能力

        無論環(huán)評文件中有無定性固體廢物的危險特性,企業(yè)的廢棄物管理專責(zé)人員都要定期進行自我核查,保證環(huán)評表述信息與實際產(chǎn)廢情況相吻合。首先,要判斷存疑的危險廢物是否為在生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的,喪失原有利用價值或者雖未喪失利用價值但被拋棄或者放棄的物品、物質(zhì),包括法律、行政法規(guī)規(guī)定納入固體廢物管理的固體廢物。只有滿足屬于固體廢物的前提條件,才可以依照《國家危險廢物名錄》來判斷其是否屬于危險廢物。接下來根據(jù)《名錄》中行業(yè)類別、工藝或裝置來定性危險廢物,如未匹配到對應(yīng)項目,可開展危廢鑒別,精準(zhǔn)判定危險廢物,有效控制環(huán)境風(fēng)險。所以,半導(dǎo)體行業(yè)在環(huán)評階段之初,不能完全照搬危險廢物名錄中的行業(yè)來源“電子原件制造行業(yè)”的產(chǎn)廢歸類,而是需要根據(jù)產(chǎn)廢源頭的工藝或裝置來判定。

        3.2 ?合理優(yōu)化環(huán)評危廢鑒別結(jié)果

        鑒別的意義在于進一步明確其屬性,確定其管理范疇。當(dāng)物品具有較高的利用價值時,對于環(huán)評文件已定性或還未定性的危險廢物,產(chǎn)生單位可能對于某物品是否屬于廢物或危險廢物存在異議,也可以主動申請重新進行廢物危險特性鑒別。另外新版《通則》也明確提出,如果根據(jù)其生產(chǎn)的原輔材料和工藝就可以排除其具有危險特性,便可以在不開展危險特性檢測工作或輔助性檢測工作的情況下,直接作出該固體廢物不具有危險特性的屬性認定,從而避免了危險廢物鑒別過程的過度檢測。

        4 ? ?結(jié)語

        固體廢物危險特性鑒別的完善對固體廢物管理,特別是危險廢物管理發(fā)揮著關(guān)鍵性的作用。事實上,幾乎所有固體廢物都可找到合理的利用方式和途徑。為了能實現(xiàn)這一最終目的,需要企業(yè)深刻理解固體廢物概念和廢物管理的原則,運用已有的法律法規(guī)及危險廢物鑒別手段,使企業(yè)有更加多元化的機會將危險廢物處置風(fēng)險降到最低,創(chuàng)造價值的同時也能節(jié)約資源,變廢為寶。

        [參考文獻]

        [1]梁耀新,蘇流坤,許子平,等.固體廢物危險特性鑒別問題探討[J].綠色科技,2019(16):168-169.

        [2]代榮逵,呂剛,王亮.固體廢物危險特性鑒別有關(guān)問題的思考研究[J].資源節(jié)約與環(huán)保,2017(6):64-65.

        [3]再協(xié).環(huán)境保護部有關(guān)負責(zé)人就《固體廢物鑒別標(biāo)準(zhǔn)通則》答記者問[J].中國資源綜合利用,2017(10):3-4.

        [4]唐娜,徐鳳,楊瑞.我國危險廢物鑒別現(xiàn)狀及規(guī)范建議[J].環(huán)境與發(fā)展,2017(7):254,256.

        [5]劉琉.江蘇省現(xiàn)行危廢鑒別體系問題及優(yōu)化方案[J].綠色科技,2017(12):142-144.

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