谷月

作為OLED面板的核心設備，在過去的十幾年里，被蘋果欽點的佳能Tokki蒸鍍機是國內面板廠商求而不得的“寶貝”。近年來韓國廠商投！資OLED減緩，京東方、維信諾等面板廠商才陸續(xù)采購到。

國內廠商合肥欣奕華、合肥萊德表示，OLED蒸鍍機設備將于今年內推向市場。那么，國產OLED蒸鍍機的問世，能否成為解決國內面板廠商心病的“特效藥"呢？

日韓占據(jù)優(yōu)勢地位

OLED蒸鍍設備市場處于供不應求狀態(tài)，國內面板廠商對于高端蒸鍍機的需求一直難以得到滿足。

如今，OLED面板主要供貨商集中在韓國，三星顯示和LGD分別在中小尺寸和大尺寸面板中占據(jù)優(yōu)勢地位。最主要的原因就是其掌握了OLED面板制造的關鍵設備

真空蒸鍍機，尤其是日本佳能Tokki高端真空蒸鍍機一度曾是三星顯示的獨家供應商。蘋果公司曾宣布，蘋果不會接受沒有佳能Tokki蒸鍍機的OLED面板廠商為其供貨。也就是說，面板廠商如果手上沒有佳能Tokki蒸鍍機，連“打人”蘋果OLED供應鏈的門票都沒有了。于是，這個極其神秘的公司暴露在公眾面前。

據(jù)悉，目前，G6世代蒸鍍設備幾乎被日本佳能Tokki壟斷，其市占率已超過90%。然而，佳能Tokki的產能很有限。2017年，佳能Tokki一年僅能生產9臺蒸鍍機，三星顯示和LGD的產線增建導致OLED蒸鍍設備幾乎被買斷，可謂“一機難求”。直到佳能Tokki擴產，以及韓國面板企業(yè)也放慢了OLED生產線的投資步伐，京東方、維信諾、深天.馬、信利等面板廠商才陸續(xù)采購到OLED蒸鍍機。截至2018年底，京東方成都6代線的綜合良品率達到70%;2019年11月，維信諾昆山5.5代線綜合良率達到90%。預計到.2021年，國內面板廠商生產剛性和柔性OLED面板才能與三星顯示良品率基本持平。

隨著智能手機和穿戴設備等電子產品需求量日益提升，帶動了作為新技術應用的OLED屏的出貨量爆發(fā)式增長，目前OLED屏幕已經成為高端智能手機產品的標準配置。根據(jù)IHS數(shù)據(jù)，2019年全球OLED顯示面板出貨量已經突破7億片，預計到2022年，全球OLED顯示面板出貨量將突破9億片，越來越多的面板廠商加入到OLED陣營中來。

“如今，OLED蒸鍍設備市場仍處于供不應求的狀態(tài)，尤其是國內面板廠商對于高端蒸鍍機的需求一直難以得到滿足?！比R德裝備創(chuàng)始人兼董事長孔令杰說。

據(jù)悉，目前國內OLED面板產線共22條，而按照常規(guī)的配置，一條6代線需要3～4臺蒸鍍設備。但是由于佳能Tokki產量不足，許多面板廠商迫于市場產能指標壓力，紛紛選擇其他真空蒸鍍設備供應商。值得一提的是，蒸鍍設備除了實力最強的佳能Tokki外，YAS、SNU、SNF等企業(yè)皆來自日韓。而我國合肥欣奕華、合肥萊德、中山凱旋真空科技等企業(yè)也在瞄準OLED蒸鍍設備市場。

水木資本執(zhí)行董事魯飛表示，OLED蒸鍍技術幾乎掌握在日、韓企業(yè)手里，這也是導致我國OLED產業(yè)大而不強的原因之一。在國家大力鼓勵科學創(chuàng)新、支持科技企業(yè)進行技術突破的大環(huán)境下，高端裝備的發(fā)展是必然的。

“特效藥”應多予以“臨床測試”

國產設備當務之急除了加大研發(fā)投入外，應盡快在實際生產過程中積累經驗，持續(xù)迭代升級。

近日，國內廠商合肥欣奕華宣布其G2蒸鍍設備樣機完成了進一步調試工作;去年11月，合肥萊德也宣布攻克了OLED蒸鍍機技術。兩家企業(yè)都表示設備將于今年內推向市場。

OLED蒸鍍機是OLED面板的“心臟”，蘋果、華為、三星.OPPO等廠商的旗艦手機的顯示屏幕都與其有關系。隨著國內OLED產線的持續(xù)加碼，高端蒸鍍設備是否能得到穩(wěn)定供應已成為各大面板廠商的一塊心病。

那么，國產OLED蒸鍍機的逐漸問世，能否解決國內面板廠商的心病呢？

OLED在生產工藝環(huán)節(jié)需要前、中、后三道工藝。其中，對應的三大核心工藝技術分別為LTPS驅動電路、OLED蒸鍍工藝和薄膜封裝工藝。OLED蒸鍍是制約OLED面板良率，進而影響產能的關鍵。所以，蒸鍍機直接決定OLED產品性能，對技術要求較高，其最大難點在于加熱源蒸鍍的穩(wěn)定性、對位系統(tǒng)的高精度性和重復性、腔體的真空和潔凈性能等。

佳能TokkiOLED蒸鍍機被人提及最多的就是精度，把OLED有機發(fā)光材料精準地蒸鍍到基板上，佳能Tokki可以把誤差控制在3μm之內。對此賽迪智庫高級分析師劉暾介紹說，設備如果良品率不高的話，會影響整條生產線的運作?！皣鈴S商設備配套多年，應用相對成熟”。目前建一條OLED產線動輒投資幾百億元，而上游設備在OLED的整個產業(yè)鏈中占據(jù)的成本最大，約占OLED生產線成本的80%左右，其中蒸鍍設備投人占比達35%。以佳能Tokki為例，一臺售價已達1.4億美元。所以，國內廠商在選擇設備時萬分謹慎。

欣奕華智能機器事業(yè)群OLED事業(yè)本部負責人曹景博在接受《中國電子報》記者采訪時透露：“目前，欣奕華的蒸鍍整機設備已經能滿足在小尺寸OLED面板上的使用，其對位系統(tǒng)（包含G6H、G2.5、G1）的對位精度已達到國際先進水平，部分機型甚至做到了國際領先，對位精度可控制在1.5μm以內。但是，產品的穩(wěn)定性和技術的成熟度以及產品的細節(jié)，上，還需要進一步打磨，接受市場更多的考驗?！?/p>

劉暾表示，國產蒸鍍設備的問.世是值得稱贊的，證明我們已經完成了從0到1的創(chuàng)造過程。但一種精密設備的使用需要不斷調試和升級，OLED蒸鍍機從生產、導人到成熟的周期是非常長的。他建議，國產蒸鍍設備可以先導人到中試線、高校、科研院所以及OLED材料廠商等。

CINNOResearch顯示行業(yè)首席分析師周華在接受《中國電子報》記者采訪時則表示，國內蒸鍍設備尚處于初級起步階段，更多可能是用在實驗室設備市場。

早在兩年前，欣奕華科技集團總經理兼人工智能事業(yè)群CEO張彌便透露過，欣奕華OLED蒸鍍機已被兩家研發(fā)機構和一家材料廠購買，用于研發(fā)測試。

“蒸鍍機與材料不同，它是一個長期的、穩(wěn)定的存在。面板企業(yè)與蒸鍍機企業(yè)需要共同完善生產環(huán)節(jié)和工藝流程。甚至在廠房設計之初，就已將蒸鍍機考慮進去。所以，國產蒸鍍機要打人高世代OLED產線，不僅要長時間積累，升級技術，同時也要與面板廠商共同研發(fā)、磨合，未來還有很多路要走?！辟惖现菐旒呻娐匪⑩┦吭诮邮懿稍L時強調。

“能買到有量產經驗廠商的設備當然不錯，但如果買不到，憑借企業(yè)多年的技術積累，對原理比較了解，加上多年的中試和量產實踐，面板廠商也可以和設備廠商一起努力，最終調試出適合自己的設備，這樣生產出來的產品反而更有競爭力?！本S信諾科技有限公司副總裁張德強說。

周華認為，國產設備的當務之急除了加大研發(fā)投人外，應盡快將設備送人面板量產線，在實際生產過程中積累經驗，持續(xù)迭代升級。唯有研發(fā)生產、制造銷售、流片反饋、技術迭代這個閉環(huán)順利轉動起來，國產核心裝備才有成功的可能。

曹景博對于國產OLED蒸鍍設備的發(fā)展有著自己的想法：佳能Tokki憑借20年的研發(fā)和實踐經驗，以穩(wěn)定的量產性能和成熟的技術優(yōu)勢獨占鰲頭。短期內合肥欣奕華還不能與其比肩。但是，我們可以專注于小尺寸的蒸鍍機市場研發(fā)和大尺寸蒸鍍機核心部件技術的推廣應用，打磨自己的技術，做好技術儲備，以備不時之需。