時值冬季，各種美輪美奐的冰雕又要出場，西湖大學(xué)科研團(tuán)隊(duì)展示了一種“冰雕”絕活兒。他們的“冰雕”，小到微米甚至納米級別。

在微米甚至納米級別的“冰雕”上，該研究團(tuán)隊(duì)已經(jīng)可以實(shí)現(xiàn)從精確定位到精準(zhǔn)控制雕刻力度，再到以“冰雕”為模具制作結(jié)構(gòu)、加工器件——一種新型三維微納加工系統(tǒng)雛形初現(xiàn)。對應(yīng)光刻膠，科研人員給這層水冰起名“冰膠”，給冰膠參與的電子束光刻技術(shù)起名“冰刻”。

從全球范圍來看，冰刻技術(shù)的研發(fā)仍處于起步階段。這樣的技術(shù)，將來有哪些用處？從本質(zhì)上講，“冰刻”仍屬于電子束光刻。但它作為一種綠色且“溫和”的加工手段，尤其適用于非平面襯底或者易損柔性材料，甚至生物材料。目前來看，冰刻技術(shù)的應(yīng)用場景集中在基于光纖、納米線、納米管以及二維材料的新型光電子器件制備。

來源：科技日報數(shù)字報

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下載日期：2020 - 12 - 10