高性能耳溫槍、額溫槍等非接觸式測溫工具是發(fā)熱篩查的主要工具之一,其核心部件MEMS(微機電系統(tǒng))紅外溫度傳感器長期主要依賴進口。近日,中國兵器工業(yè)集團電子院華東光電集成器件研究所通過技術攻關,已完成傳感器芯片各類單項試驗,性能指標精度達到0.1℃,抗干擾能力優(yōu)于目前市場主流產(chǎn)品(性能指標精度為0.3℃)。
華東光電集成器件研究所在3月底完成芯片樣品研制,同時該所還采購全自動化組封裝關鍵設備、補充芯片制造的關鍵設備,推動傳感器芯片制造、組封裝的國產(chǎn)化,月產(chǎn)能從目前的2萬顆提升到100萬顆以上,4月初可大量投放市場。