劉慧 王建中

摘 ?要：高純鋁箔在15wt%鹽酸、1wt%硫酸的混合溶液中，采用電化學(xué)腐蝕的方法，提高鋁箔比表面積，使其容量大幅提升，滿足固態(tài)鋁電解電容器的應(yīng)用要求。結(jié)果表明：反應(yīng)溫度為30℃、電流密度為0.6A/cm2的條件下，電流最佳頻率為36Hz;同時(shí)，陽(yáng)極箔在經(jīng)過純水浸泡處理后，熱處理溫度設(shè)定為500℃，鋁氧化膜晶型結(jié)構(gòu)最優(yōu)。

關(guān)鍵詞：固態(tài)電容;陽(yáng)極箔;電化學(xué)腐蝕;熱處理

中圖分類號(hào)：TM535文獻(xiàn)標(biāo)志碼：A ? ? ? ? 文章編號(hào)：2095-2945（2020）02-0148-02

Abstract： In the mixed solution of 15wt% hydrochloric acid and 1wt% sulfuric acid， high purity aluminum foil uses the method of electrochemical corrosion to increase the specific surface area and capacity of aluminum foil， which can meet the application requirements of solid-state aluminum electrolytic capacitors. The results show that the optimum current frequency is 36Hz when the reaction temperature is 30℃ and the current density is 0.6A/cm2， and the crystal structure of aluminum oxide film is the best when the anode foil is immersed in pure water and the heat treatment temperature is set at 500℃.

Keywords： solid-state capacitor; anode foil; electrochemical corrosion; heat treatment

傳統(tǒng)鋁電解電容器通常使用液體電解質(zhì)，主要存在以下幾個(gè)問題：（1）存在漏液風(fēng)險(xiǎn)，易腐蝕線路板;（2）電解液電阻率高，損耗大;（3）溫度特性差，尤其在極端溫度下;（4）耐紋波能力差。

近年來，鋁電解電容器采用固態(tài)導(dǎo)電高分子材料取代電解液作為陰極，相比傳統(tǒng)鋁電容器，固態(tài)鋁電解電容器具有以下優(yōu)點(diǎn)：（1）不會(huì)出現(xiàn)“漏液”、“爆漿”問題;（2）等效串聯(lián)電阻小、損耗低，電流通過能力強(qiáng)、可以減少線路對(duì)容量的需求;（3）溫度特性好，特別是低溫及高溫等使用環(huán)境;（4）頻率特性好;（5）耐紋波電流能力強(qiáng);（6）同樣容量的電容器，體積及重量均可減小。

液態(tài)鋁電解電容器的電解質(zhì)材料是電解液，而固態(tài)電容器的電解質(zhì)材料為導(dǎo)電性高分子材料，因?qū)щ娦愿叻肿硬牧蠟楣腆w，其浸潤(rùn)性不及電解液，導(dǎo)致容量的引出率不高，因此固態(tài)電容器用陽(yáng)極箔對(duì)比傳統(tǒng)陽(yáng)極箔需要更高的容量。

目前國(guó)內(nèi)外都加大了對(duì)固態(tài)鋁電解電容器用陽(yáng)極箔制造技術(shù)的研究，以期通過有效的擴(kuò)面腐蝕技術(shù)來提高鋁箔比表面積，使其容量大幅提升，滿足固態(tài)鋁電解電容器的應(yīng)用要求。

1 實(shí)驗(yàn)

采用國(guó)產(chǎn)104μm厚度，純度為99.99%的低壓鋁電解電容器陽(yáng)極箔用鋁光箔作為原料，具體成分如表1所示：

將高純鋁箔浸入采用0.5wt%的磷酸溶液，在50℃溫度下浸泡99.99%高純鋁箔3分鐘;接著采用12wt%鹽酸與1wt%硫酸的混合溶液，在溫度為35℃、電流密度為0.8A/cm2，電流頻率為40Hz的交流電條件下浸泡腐蝕60秒;完成發(fā)孔腐蝕后，采用15wt%鹽酸、1wt%硫酸，0.5wt%磷酸的混合溶液，在溫度為60℃條件下浸泡45秒;浸泡后采用溫度為25℃的自來水清洗90秒;清洗后的鋁箔采用20wt%鹽酸、1wt%硫酸的混合溶液，在溫度25℃、電流密度0.3A/cm2的直流電條件下腐蝕60秒;然后采用溫度為25℃的自來水清洗90秒;清洗后的鋁箔采用15wt%鹽酸、1wt%硫酸的混合溶液，在溫度為30℃、電流密度為0.6A/cm2，電流頻率為10～30Hz交流電條件下浸泡腐蝕90秒;再采用溫度為25℃的自來水清洗90秒;重復(fù)直流腐蝕-清洗-交流腐蝕-清洗流程4次;完成擴(kuò)孔腐蝕后的鋁箔在2wt%的40℃硝酸溶液下浸泡4分鐘;然后采用純水清洗8分鐘，再在400-500℃溫度下退火處理60秒。

2 結(jié)果與分析

2.1 擴(kuò)孔腐蝕頻率對(duì)孔洞結(jié)構(gòu)的影響

在交流電腐蝕過程中，立方蝕孔的邊長(zhǎng)L與所施加的交流電頻率f之間有以下關(guān)系：L∝f-0.5，即隨著腐蝕頻率升高，蝕孔孔徑減小，但過分微小的蝕孔在化成時(shí)將被氧化膜堵塞，造成小孔的封閉，并且當(dāng)頻率達(dá)到某一臨界值后，蝕孔內(nèi)由于物質(zhì)傳輸受到阻礙，蝕孔間腐蝕加劇，易造成腐蝕層脫落而使腐蝕箔變薄，不利于腐蝕箔靜電容量的提高。

對(duì)不同擴(kuò)孔腐蝕頻率下（樣品a到f頻率由低到高），腐蝕層微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行觀測(cè)，并進(jìn)行比較：

由圖1可以觀察出，隨著頻率升高，蝕孔孔徑減小;當(dāng)頻率達(dá)到某一值后，蝕孔間腐蝕加劇，易造成并孔甚至塌陷。因此，電源頻率對(duì)交流電蝕過程有很強(qiáng)的調(diào)制效果。為進(jìn)一步確定最佳腐蝕頻率，對(duì)22Hz到40Hz，合計(jì)10個(gè)設(shè)定值分別進(jìn)行試驗(yàn)，同時(shí)腐蝕槽液溫度設(shè)定為30℃、電流密度0.6A/cm2，反應(yīng)時(shí)間90秒，比容變化如圖2所示：

從圖2給出的各頻率下樣品容量變化曲線可見：隨頻率增大，陽(yáng)極箔容量呈現(xiàn)先增加后降低的趨勢(shì)，在頻率36Hz時(shí)容量最高，達(dá)到了104.2μf/cm2，當(dāng)電流頻率大于36Hz而繼續(xù)增加時(shí)，陽(yáng)極箔容量又隨頻率的增加而減少。

2.2 熱處理溫度對(duì)氧化膜結(jié)構(gòu)的影響

陽(yáng)極箔表面生成一層微米級(jí)厚度的氧化鋁膜，由內(nèi)到外分為四層：無定形Al2O3層→無定形Al2O3-γ′-Al2O3混合層→γ′-Al2O3結(jié)晶層→多孔氫氧化物層。陽(yáng)極箔在制造過程中需經(jīng)過熱處理工序，用于促進(jìn)非晶氧化膜向高介電常數(shù)的γ'-Al2O3轉(zhuǎn)化。分析表明電極箔斷面方向存在較大的溫度梯度，導(dǎo)致內(nèi)層氧化膜無法充分完成晶型轉(zhuǎn)變。生產(chǎn)過程中對(duì)熱處理溫度分別進(jìn)行400℃及500℃試驗(yàn)，同時(shí)腐蝕槽液溫度設(shè)定為30℃、電流密度0.6A/cm2，電流頻率36Hz，反應(yīng)時(shí)間90秒，觀察鋁氧化膜晶型結(jié)構(gòu)的變化，如圖3所示。

圖3為不同熱處理溫度下透射電子衍射圖像，其中左圖為熱處理溫度400℃，右圖為熱處理溫度500℃。根據(jù)圖像可以看出，當(dāng)熱處理溫度設(shè)定為500℃，非晶氧化膜完成晶型轉(zhuǎn)變程度最高，陽(yáng)極箔容量提升幅度達(dá)10%。

進(jìn)一步提升陽(yáng)極箔熱處理溫度至600℃以上高溫處理時(shí)，蝕孔層局部發(fā)生高純鋁的熔化并出現(xiàn)再結(jié)晶過程，如果此類情況發(fā)生，腐蝕層局部會(huì)由于這種高溫熔化作用導(dǎo)致蝕孔層倒塌，實(shí)際表面積下降，腐蝕箔比容隨即出現(xiàn)大幅度下降。

3 結(jié)論

（1）隨著電流頻率的增加，陽(yáng)極箔容量呈現(xiàn)先增加后降低的趨勢(shì)，在頻率36Hz時(shí)陽(yáng)極箔蝕孔最均勻致密，容量最高，達(dá)到了104.2μf/cm2。

（2）熱處理溫度調(diào)整試驗(yàn)表明在處理溫度500℃情況下，非晶氧化膜完成晶型轉(zhuǎn)變程度最高，陽(yáng)極箔容量提升幅度達(dá)10%。

研究表明，采用99.99%的高純鋁箔在15wt%鹽酸、1wt%硫酸的混合溶液中，反應(yīng)溫度為30℃、電流密度為0.6A/cm2，電流最佳頻率為36Hz，同時(shí)，陽(yáng)極箔在經(jīng)過純水浸泡處理后，熱處理溫度設(shè)定為500℃容量提升幅度最大。

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