超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液是芯片制造行業(yè)不可替代的關鍵電子化學品之一，其關鍵技術和核心裝備長期被國外企業(yè)所壟斷，嚴重制約著我國芯片產(chǎn)業(yè)的健康可持續(xù)發(fā)展，是亟待攻克的“卡脖子”技術。

興發(fā)集團從2006年開始，與中國科學院過程工程研究所、武漢工程大學和集團旗下湖北興福電子材料有限公司合作，經(jīng)過10多年研究攻關，自主研發(fā)出高純黃磷與電子級磷酸制備的關鍵技術，打破了超高純電子級磷酸產(chǎn)品的進口依賴，實現(xiàn)了高選擇性蝕刻液的自主制備，芯片用超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液生產(chǎn)關鍵技術也因此獲得了2019年國家科技進步二等獎。

超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液項目的實施，打破了國外企業(yè)對超高純電子級磷酸生產(chǎn)的技術壟斷，實現(xiàn)了芯片用超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液的自主化制備，形成了我國芯片用超高純電子級磷酸及高選擇性蝕刻液制備的完全自主知識產(chǎn)權。