徐浩然，趙 旭，高 昂，祁雪燕，強(qiáng) 璐，梁 森，李海波，高忙忙

(寧夏大學(xué)，寧夏光伏材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，銀川 750021)

1 引 言

太陽(yáng)能發(fā)電是一種清潔、高效的可持續(xù)發(fā)展的新能源技術(shù)之一。目前為止，晶硅類太陽(yáng)能電池的市場(chǎng)份額占整個(gè)光伏市場(chǎng)的90%以上[1]。生產(chǎn)晶硅太陽(yáng)能電池的原材料主要有直拉法制備的單晶硅和定向凝固法制備的多晶硅。其中，以定向凝固多晶硅為原材料的太陽(yáng)能電池在2011年的市場(chǎng)份額達(dá)到了60%以上[2]，并且呈逐年遞增的趨勢(shì)。對(duì)于多晶硅太陽(yáng)能電池而言，如何提升其轉(zhuǎn)換效率并進(jìn)一步降低生產(chǎn)成本是研究的熱點(diǎn)之一。

定向凝固系統(tǒng)法(DSS)是生產(chǎn)太陽(yáng)能級(jí)多晶硅的主要制備技術(shù)，其采用電阻加熱，在鑄錠凝固過程中，通過提升隔熱籠使其在熱場(chǎng)下部建立一個(gè)單向熱流熱場(chǎng)，從而獲得晶粒定向排列的多晶硅鑄錠[3]。在該工藝路線之中，通過添加隔熱環(huán)來優(yōu)化熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)，抑制坩堝側(cè)壁的散熱，從而提高鑄錠中準(zhǔn)單晶的含量。婁中士等[4]設(shè)計(jì)了一個(gè)位于側(cè)加熱器和散熱塊之間的可移動(dòng)隔熱裝置。通過使其向上移動(dòng)，并在底部噴射氬氣冷卻的方式，實(shí)現(xiàn)了對(duì)準(zhǔn)單晶生長(zhǎng)工藝的優(yōu)化控制。然后再用數(shù)值模擬技術(shù)對(duì)改進(jìn)后的生長(zhǎng)界面、熔體溫度分布等進(jìn)行了分析。Ma等[5]也通過在熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)中增加一個(gè)隔熱環(huán)來研究準(zhǔn)單晶，采用瞬態(tài)全局仿真技術(shù)分析了應(yīng)用改進(jìn)后的熱場(chǎng)可以減少生產(chǎn)中的能耗，增加了固液界面附近的溫度梯度和晶體的生長(zhǎng)速度，最后獲得了轉(zhuǎn)換效率為17.8%的準(zhǔn)單晶片。同時(shí)，Yu等[6]還系統(tǒng)分析了隔熱環(huán)的位置、厚度和寬度對(duì)硅熔體熱場(chǎng)以及固液界面的影響。可以獲得來減少硅錠生產(chǎn)過程中的能量消耗，進(jìn)而降低生產(chǎn)成本。另外，通過優(yōu)化熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)改變?nèi)垠w對(duì)流方式也可以提升多晶硅鑄錠的品質(zhì)。Liu等[7]對(duì)多晶硅的生長(zhǎng)過程進(jìn)行分析，發(fā)現(xiàn)在硅熔體中形成一個(gè)上下貫通的對(duì)流有利于精煉過程中雜質(zhì)的揮發(fā)。我們前期的研究結(jié)果表明，線圈頻率以及線圈與熔體的相對(duì)位置可以影響熔體的對(duì)流形態(tài)，通過優(yōu)化參數(shù)可以在硅熔體中獲得單一的對(duì)流[8-9]。因此，在定向凝固法制備制備多晶硅的過程中，優(yōu)化熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)和控制熔體對(duì)流形態(tài)是提高多晶硅品質(zhì)的有效途徑之一。但是，上述研究大多集中在采用電阻加熱方式來制備多晶硅。對(duì)于熔化效率更高、耗能更少的感應(yīng)加熱方式，其研究還比較少，需要更加詳細(xì)的進(jìn)行分析，特別是熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)的優(yōu)化和熔體對(duì)流形態(tài)的控制。

本文基于以上研究現(xiàn)狀，在電磁感應(yīng)多晶硅生長(zhǎng)系統(tǒng)中設(shè)計(jì)了三種不同的保溫結(jié)構(gòu)，通過分析保溫結(jié)構(gòu)對(duì)爐內(nèi)熱場(chǎng)、熔體流場(chǎng)、固液界面形態(tài)、氧含量等的影響規(guī)律，獲得優(yōu)化的保溫結(jié)構(gòu)，為多晶硅生長(zhǎng)系統(tǒng)的開發(fā)提供實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。

2 模型建立

圖1 真空感應(yīng)爐模型:網(wǎng)格劃分圖(左)爐體結(jié)構(gòu)圖(右)Fig.1 Schematic of vacuum induction furnacegrid (left) and furnace structure(right)

以實(shí)驗(yàn)室自制的真空感應(yīng)多晶爐實(shí)體進(jìn)行模型建立，采用專業(yè)晶體生長(zhǎng)模擬軟件CGsim進(jìn)行試驗(yàn)分析。該軟件可以對(duì)晶硅鑄錠的生長(zhǎng)過程進(jìn)行模擬，能對(duì)爐體內(nèi)的溫度場(chǎng)和熔體流動(dòng)場(chǎng)進(jìn)行準(zhǔn)確預(yù)測(cè)，還能進(jìn)一步對(duì)不同生長(zhǎng)階段的功率、固液界面和晶體質(zhì)量等進(jìn)行分析研究。試驗(yàn)步驟分為創(chuàng)建幾何模型，定義物性參數(shù)，劃分網(wǎng)格，定義邊界條件、設(shè)定初始功率，運(yùn)行參數(shù)。在計(jì)算過程中考慮各部件之間的熱輻射、相變潛熱、熱傳導(dǎo)、熔體對(duì)流傳熱。基于鑄錠爐幾何結(jié)構(gòu)的對(duì)稱性，本實(shí)驗(yàn)中采用二維軸對(duì)稱模型進(jìn)行分析，對(duì)坩堝、保溫材料、感應(yīng)線圈、冷卻水管、底部支撐裝置等主要部件進(jìn)行了二維簡(jiǎn)化，研究真空感應(yīng)多晶爐內(nèi)部保溫層的變化對(duì)硅溶液流動(dòng)行為、固液界面形貌以及熔體內(nèi)氧含量的影響。大量研究結(jié)果證實(shí)，采用上述簡(jiǎn)化方法和分析手段所獲得的模擬結(jié)果具有較高的準(zhǔn)確性和可靠性[10-12]。圖1(右)所示為軸對(duì)稱爐體結(jié)構(gòu)，采用電磁感應(yīng)方式進(jìn)行加熱，將冷卻水通入線圈內(nèi)部，冷卻水和爐壁外側(cè)維持恒定溫度T0為300 K?？瞻讌^(qū)域表示真空區(qū)域。為提高計(jì)算精度，在硅熔體、晶體及固液界面附近進(jìn)行網(wǎng)格細(xì)化，其余部分進(jìn)行自由網(wǎng)格劃分，網(wǎng)格劃分情況如圖1(左)所示。表1所示為試驗(yàn)采用材料物性參數(shù)。試驗(yàn)中，感應(yīng)線圈頻率為1000 Hz，坩堝內(nèi)熔體高度為H=100 mm，直徑R=110 mm，坩堝下降速率為10 mm/h。

表1 物性材料參數(shù)Table 1 Material physical parameters

本文定義如圖1中的保溫結(jié)構(gòu)(單層石墨炭氈)為S1，在圖中方框位置添加一層石墨炭氈(雙層保溫炭氈)為S2，添加一層石墨(石墨炭氈+石墨)保溫結(jié)構(gòu)為S3，通過分析不同保溫結(jié)構(gòu)下爐內(nèi)熱場(chǎng)和流場(chǎng)的變化，確定優(yōu)化的保溫結(jié)構(gòu)。

3 結(jié)果與討論

在感應(yīng)加熱過程中，感應(yīng)線圈產(chǎn)生交變磁場(chǎng)使石墨坩堝產(chǎn)生感應(yīng)電流，由于焦耳效應(yīng)的作用加熱石墨坩堝進(jìn)而將熱量傳遞給石英坩堝內(nèi)的硅熔體。為了分析不同保溫層結(jié)構(gòu)對(duì)鑄錠爐內(nèi)熱場(chǎng)的影響，本文定義鑄錠爐加熱器的熱效率為石墨坩堝感應(yīng)功率與總功率的比值。

圖2 不同保溫層結(jié)構(gòu)下的功率消耗和加熱器效率Fig.2 Power consumption and heater efficiency of growing system with different insulation structures

圖2為不同保溫層結(jié)構(gòu)下鑄錠爐功率消耗和加熱器熱效率分布圖。從圖中可以看出，當(dāng)采用固化炭氈保溫層結(jié)構(gòu)S1時(shí)，加熱器的熱效率約為53%，即鑄錠爐中感應(yīng)線圈消耗了將近一半的功率，此時(shí)鑄錠爐的總功率為27 kW；采用保溫層結(jié)構(gòu)S2時(shí)，加熱器的熱效率也為53%，表明增加固化炭氈厚度對(duì)加熱器的熱效率沒有影響，但此時(shí)鑄錠爐的功率下降至21.5 kW。造成這一現(xiàn)象的原因是加熱器產(chǎn)生的熱量一部分向內(nèi)傳遞給石英坩堝加熱硅料，另一部分通過保溫層向外傳遞至水冷爐體散失，在保溫層結(jié)構(gòu)S2中增加了固化炭氈的厚度，則減少了熱量的損耗。當(dāng)采用保溫結(jié)構(gòu)S3時(shí)，加熱器的熱效率迅速增加至90%，即鑄錠爐中感應(yīng)線圈消耗功率的占比大大降低。通過分析可知，由于保溫層結(jié)構(gòu)中引入了石墨，感應(yīng)電流不僅僅在石墨坩堝中出現(xiàn)，也在石墨保溫層中出現(xiàn)，即在此結(jié)構(gòu)中形成了兩個(gè)“熱源”。這一變化使鑄錠爐的總功率由27 kW(S1)下降至16.3 kW(S3)?？梢?，在保溫層結(jié)構(gòu)中引入石墨層，不僅使加熱器的熱效率提升至90%，而且使鑄錠爐的總功率降低了38.5%。

圖3 不同保溫結(jié)構(gòu)下熔體內(nèi)部溫度分布圖Fig.3 Temperature distribution of Si melt with different insulation structures

圖3為三種保溫層結(jié)構(gòu)下熔體內(nèi)溫度分布圖，圖3(a)為保溫結(jié)構(gòu)S1，圖3(b)為保溫結(jié)構(gòu)S2，圖3(c)為保溫結(jié)構(gòu)S3。從圖中可以看出當(dāng)采用單層固化碳?xì)直貙訒r(shí)(S1)，熔體內(nèi)最高溫度為1730 K，出現(xiàn)在熔體靠近坩堝壁處。同時(shí)從等溫線的分布可以看出，熔體邊緣溫度高于熔體中心溫度。當(dāng)采用保溫結(jié)構(gòu)S2時(shí)，熔體內(nèi)的溫度分布沒有發(fā)生明顯變化，但熔體的最高溫度升高(1745 K)，這一結(jié)果再次表明增加固化炭氈的厚度能夠增強(qiáng)鑄錠爐的保溫效果。從圖3(c)可以看出，當(dāng)采用保溫結(jié)構(gòu)S3時(shí)，熔體的溫度分布發(fā)生了明顯的變化，即熔體的中心溫度高于熔體的邊緣溫度(等溫線的分布呈凹狀)，并且熔體的最高溫度明顯下降(為1723 K)。這表明，固化炭氈+石墨的保溫層結(jié)構(gòu)也對(duì)熔體的溫度分布產(chǎn)生了影響。

圖4 不同保溫層結(jié)構(gòu)下熔體內(nèi)電磁力分布(左)和速度矢量分布(右)圖Fig.4 Distribution of electromagnetic force (left) and velocity vector (right) in Si melt with

圖4為不同保溫層結(jié)構(gòu)下熔體內(nèi)洛倫茲力(左)和對(duì)流(右)分布圖。從圖4(a)可以看出，當(dāng)采用單層固化炭氈保溫層結(jié)構(gòu)時(shí)，熔體中對(duì)流主要為上部的自然對(duì)流(主要由于熔體的徑向溫度梯度產(chǎn)生)和下部的從生對(duì)流組成。上部的對(duì)流為逆時(shí)針方向，其最大強(qiáng)度為3.310×10-7m3/s；下部對(duì)流的方向?yàn)轫槙r(shí)針，中心處最大強(qiáng)度為1.2×10-6m3/s。采用兩層固化炭氈保溫結(jié)構(gòu)時(shí)，對(duì)流形態(tài)沒有明顯變化。但當(dāng)采用固化炭氈+石墨保溫結(jié)構(gòu)時(shí)，熔體內(nèi)形成了單一的上下貫通的對(duì)流，并且對(duì)流方向?yàn)槟鏁r(shí)針，這將有利于坩堝壁處溶解的氧通過自由表面揮發(fā)。通過對(duì)熔體內(nèi)洛倫茲力的分析可知，在采用固化炭氈保溫層結(jié)構(gòu)時(shí)(S1和S2)，熔體中洛倫茲力的分布分為上下兩個(gè)部分，上部的洛倫茲力的軸向分量向上，這與圖中上部小渦流的方向相同；下部洛倫茲力的軸向分量向下，與圖中下部大渦流的方向相同。上下兩部分洛倫茲力的分界點(diǎn)即零力點(diǎn)(圖4(a)和圖4(b)中虛線(上方)所示)與圖中上下兩的對(duì)流的分界點(diǎn)(圖4(a)和圖4(b)中虛線(下方)所示)一致。可見，洛倫茲力的分布與熔體對(duì)流是一致的，也可以說洛倫茲力的存在引起了硅熔體下部的對(duì)流。而在固化碳?xì)?石墨保溫層結(jié)構(gòu)中(圖4(c))，洛倫茲力的分布發(fā)生了變化，即熔體-坩堝邊界附近的電磁力的軸向分量均為向上分布，其方向也與熔體對(duì)流的方向一致。這一結(jié)果表明，洛倫茲力增強(qiáng)了自然對(duì)流，從而在熔體內(nèi)呈現(xiàn)出單一的對(duì)流?？梢?，熔體中洛倫茲力的分布狀態(tài)決定了熔體的對(duì)流形態(tài)，保溫層中引入石墨可以在硅熔體中獲得單一的對(duì)流形態(tài)。

圖5為凝固保溫層結(jié)構(gòu)下多晶硅生長(zhǎng)前期的固液界面形貌圖。從圖中可以看出，采用固化碳?xì)直貙咏Y(jié)構(gòu)時(shí)(S1和S2)，固液界面的形狀均為“W”形，其主要是由于硅熔體中下部順時(shí)針對(duì)流將坩堝側(cè)壁的“高溫”熔體輸送至生長(zhǎng)界面前沿，從而使固液界面下凹所造成的。在采用固化碳?xì)?石墨保溫層結(jié)構(gòu)時(shí)固液界面的形狀為凹形，這是由于此時(shí)硅熔體中只有一個(gè)逆時(shí)針方向的大渦流，使上部的高溫熔體流向固液界面中心處，導(dǎo)致固液界面呈凹形。

圖5 不同保溫層結(jié)構(gòu)下固液界面形貌圖Fig.5 Solid-liquid interface morphology under different insulation structures

一般認(rèn)為，晶硅中的點(diǎn)缺陷主要為空位和自間隙兩種。當(dāng)V/Gn(V為生長(zhǎng)速度，Gn為固液界面法向溫度梯度)值超過臨界值0.0013 cm2·min-1·K-1時(shí)，可以在晶體中獲得高的空位濃度，能有效地避免氧沉淀生成，氧沉淀會(huì)降低太陽(yáng)光伏電池中外圍的少子壽命，進(jìn)而降低太陽(yáng)能電池效率[13-14]。因此，在晶體生長(zhǎng)過程中，V/Gn值是一個(gè)重要參數(shù)之一。

圖6為不同保溫層結(jié)構(gòu)下固液界面上V/Gn值分布曲線。從圖中可以看到，采用保溫層結(jié)構(gòu)S1時(shí)，固液界面上V/Gn值呈現(xiàn)中間高、邊緣低的分布趨勢(shì)；采用保溫層結(jié)構(gòu)S2時(shí)，V/Gn值的分布趨勢(shì)與保溫層結(jié)構(gòu)S1大致相同，但其值整體降低；而在采用固化碳?xì)?石墨保溫層結(jié)構(gòu)時(shí)固液界面上的V/Gn值則呈現(xiàn)中心處低，邊緣高的分布，這可能是由于硅熔體內(nèi)的對(duì)流分布和方向不同所造成的。值得注意的是，采用三種保溫層結(jié)構(gòu)時(shí)，V/Gn的最小值均大于臨界值0.0013 cm2·min-1·K-1[13]，可以有效避免氧沉淀生成。

圖6 不同保溫層結(jié)構(gòu)下固液界面上V/Gn分布曲線Fig.6 Oxygen content distribution at solid-liquid interface under two insulation layers

從圖7中可以看出，采用保溫層結(jié)構(gòu)S1時(shí)，固液界面上氧含量最大值為1.997×1018atom/cm3；采用兩層固化碳?xì)直貙咏Y(jié)構(gòu)(S2)時(shí)，氧含量最大值為2.013×1018atom/cm3，這可能是由于此時(shí)熔體溫度較高(圖3(b))，加速了石英坩堝的溶解，從而增加了熔體中的氧；而采用固化炭氈+石墨保溫層結(jié)構(gòu)時(shí)，固液界面上氧含量最大值降至1.993×1018atom/cm3，一方面，此時(shí)硅熔體的溫度較低，減緩了石英坩堝的分解；另一方面，熔體中僅存在一個(gè)對(duì)流使溶解的氧原子能夠更多地?fù)]發(fā)，從而降低了熔體中的氧含量。

圖7 不同保溫層結(jié)構(gòu)下固液界面上氧含量分布圖Fig.7 Oxygen content distribution at solid-liquid interface with different insulation structures

4 結(jié) 論

本文采用CGsim專業(yè)晶體生長(zhǎng)軟件，分析了不同保溫層結(jié)構(gòu)下多晶硅生長(zhǎng)過程中功率、熱場(chǎng)、流場(chǎng)、固液界面等的變化，得出以下結(jié)論：

(1)在保溫層結(jié)構(gòu)中引入石墨層，可以使多晶爐形成兩個(gè)“熱源”，提高多晶爐的熱效率，從而使多晶爐的能耗降低了38.5%；

(2)采用固化碳?xì)直貙咏Y(jié)構(gòu)時(shí)，熔體中有上下兩個(gè)對(duì)流；而采用固化碳?xì)?石墨保溫層時(shí)熔體中僅有一個(gè)上下貫通的單一渦流，有利于硅中雜質(zhì)的揮發(fā)。洛倫茲力是影響熔體對(duì)流形態(tài)的主要因素；

添加石墨保溫層使固液界面形狀由“W”狀轉(zhuǎn)變?yōu)榘紶睿涔桃航缑嫔系难鹾坑兴档?，并且V/Gn值大于臨界值，可以有效避免氧沉淀生成。