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        下一代“大連光源”亮度將提高1萬倍

        2019-09-23 09:04:18張佳星
        科學(xué)導(dǎo)報 2019年16期
        關(guān)鍵詞:預(yù)研光刻紫外光

        張佳星

        “下一代的‘大連光源將會有更高的亮度,光子產(chǎn)生的頻率從每秒50次提升到100萬次,平均亮度將增加1萬倍。”兩會期間,全國人大代表、中國科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所研究員楊學(xué)明院士表示,足夠亮度的光源將觀察到之前無法探及的領(lǐng)域。

        “大連光源”是世界首臺極紫外波段的自由電子激光裝置,于2017年1月15日出光,產(chǎn)生的自由電子激光能夠給分子“拍電影”?!啊筮B光源目前運行平穩(wěn),今年將被納入中國科學(xué)院大科學(xué)裝置平臺。”楊學(xué)明說,“下一步,我們一方面想要建造第二個‘大連光源,另一方面在預(yù)研下一代光源?!?/p>

        楊學(xué)明解釋,第一個光源產(chǎn)生單個皮秒(10~12秒)的激光脈沖,不能偏振;第二個光源則可以產(chǎn)生幾十個飛秒(10~15秒)的激光脈沖,且能進行任何角度的偏振(光的角度)。

        “改偏振需要安裝波蕩器,最開始建的時候沒錢買,所以正在運行的是最基礎(chǔ)的光源?!睏顚W(xué)明說,正在建造的第二個光源會成為“升級版”。如果將“大連光源”理解為iPhone6,那么正在建造的第二個光源是iPhone6S,而正在預(yù)研的下一代光源,則是能帶來突破性創(chuàng)新的華為折疊屏手機。

        下一代光源的平均亮度將一下子增加4個數(shù)量級,也就是1萬倍。光子激光產(chǎn)生的頻率從每秒50次提升到100萬次。楊學(xué)明介紹,更亮、視野更清晰,將可以進行更強靈敏度的探測。例如,會看到高超飛行器的燃燒過程,也會看到激光激發(fā)的過程,甚至可以利用極紫外光源進行芯片光刻的研究。

        “極紫外光源能夠達到十幾納米的光刻精度,未來可以作為芯片制造方法的有益補充?!睏顚W(xué)明說。

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