程 棟

（中核陜西鈾濃縮有限公司，陜西漢中 723312）

0 引言

鈾同位素質(zhì)量豐度是鈾濃縮工廠產(chǎn)品質(zhì)量控制中較為重要的指標。МИ-1201質(zhì)譜計作為進口設備，主要用于工藝在線鈾同位素豐度測定。由于維持高真空環(huán)境的離子泵在拆源維護后啟動時需要一定的預真空環(huán)境，該部分真空由碳吸附泵完成。碳吸附泵的操作較為復雜，離子泵啟動時間較長，不利于質(zhì)譜計的及時恢復。對該型號質(zhì)譜計使用分子泵機組替換碳吸附泵具有重要意義。

1 МИ-1201質(zhì)譜計真空系統(tǒng)

МИ-1201質(zhì)譜計的真空系統(tǒng)原理見圖1。碳吸附泵組件由碳吸附泵 NS1，NS2，截止閥 VH1，VH2，放氣閥 VP1，VP2，電阻規(guī)PT1以及真空管道組成。碳吸附泵為低溫冷凝泵，通過截止閥VH6與質(zhì)譜計高真空區(qū)域連接，為分析室鈦泵NM1和離子源鈦泵NM2提供預真空。通過VH4閥與放大器區(qū)域連接。碳吸附泵體中填充優(yōu)質(zhì)活性炭，泵體外殼套液氮即可對質(zhì)譜計高真空區(qū)域抽空；在碳吸附泵抽空過程中，需反復對其泵體加熱除氣和冷凍，該部分耗時較長，操作維護繁瑣。

2 真空系統(tǒng)優(yōu)化改造

2.1 分子泵機組選型

碳吸附泵的主要作用是為鈦泵啟動提供預真空，綜合考慮鈦泵啟動需要的前級真空、泵的抽速以及拆源維護時增加互換性，最終選用FJ-110分子泵機組作為碳吸附泵的替代泵。該分子泵機組能提供10-6Pa量級的預真空，滿足離子泵的啟動要求，且搭配有機械泵、分子泵、分子泵控制器、雙路復合真空計（可同時測量機械泵口和分子泵口的真空），所有部件整體裝配在機籠里，自帶漏電斷路器。其使用的機械泵、分子泵的標稱抽速、極限真空滿足使用要求；機籠底座安裝4個萬向輪，可以靈活移動。

2.2 接口設計

設計加工分子泵機組與質(zhì)譜計連接的非標連接件，主要用來密封原碳吸附泵接口及將其轉(zhuǎn)接，該非標連接件一端為非標螺紋，另一端為KF25標準接口。

2.3 分子泵機組安裝調(diào)試

接口加工完成后將原有碳吸附泵拆除，然后連接加工好的非標連接件，配合KF25規(guī)格波紋管的使用，將FJ-110分子泵機組連接至質(zhì)譜計真空系統(tǒng)。優(yōu)化后的真空系統(tǒng)如圖2所示。

圖2 優(yōu)化后的真空系統(tǒng)

3 性能測試

采用分子泵機組替代碳吸附泵優(yōu)化改造后，對抽空能力進行測試，測試結(jié)果如表1所示。

表1 分子泵機組應用后性能測試結(jié)果

4 結(jié)語

МИ-1201型質(zhì)譜計真空系統(tǒng)優(yōu)化改進后，提高了離子泵啟動預真空，減少離子泵啟動時間，同時大大提高了放大器區(qū)域真空抽空效率，為相似進口專用分析儀器真空系統(tǒng)的優(yōu)化改進提供參考。