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        圖像傳感器及其形成方法

        2019-02-17 07:43:09
        傳感器世界 2019年8期
        關(guān)鍵詞:濾光光吸收透光率

        申請?zhí)? 201811178557.9

        【公開號(hào)】CN109300927A

        【公開日】2019.02.01

        【分類號(hào)】H01L27/146

        【申請日】2018.10.10

        【申請人】德淮半導(dǎo)體有限公司

        【發(fā)明人】周艮梅;金子貴昭;黃曉櫓

        【摘 要】一種圖像傳感器及其形成方法。圖像傳感器包括:半導(dǎo)體襯底;多個(gè)像素器件,位于半導(dǎo)體襯底內(nèi);多個(gè)具有不同濾光顏色的濾光器,設(shè)置于半導(dǎo)體襯底的表面;其中,每個(gè)濾光器與位于其下的像素器件之間設(shè)置有光吸收薄膜,且具有不同濾光顏色的濾光器下方的光吸收薄膜具有不同的透光率,濾光顏色的光線波長越長,光吸收薄膜的透光率越低。本發(fā)明方案有助于產(chǎn)生足夠的光電子,提高圖像傳感器的靈敏度。

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