張軼銘，劉利堅(jiān)

(北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司，北京 100176)

1 等離子體刻蝕面臨的挑戰(zhàn)

等離子體刻蝕技術(shù)在集成電路、化合物半導(dǎo)體、MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）、先進(jìn)封裝、LED等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。然而，常規(guī)的等離子體刻蝕從時(shí)間維度看一般是連續(xù)刻蝕，面臨著以下幾個(gè)方面的挑戰(zhàn)：一是深寬比相關(guān)效應(yīng)（ARDE）會導(dǎo)致高深寬比結(jié)構(gòu)的刻蝕速率要比低深寬比結(jié)構(gòu)的刻蝕速率低（如圖1a）；其二在于去除待刻蝕材料的同時(shí)，很難完好地保留下一層材料，存在一定的過刻蝕（如圖1b）；其三是等離子體中的高能離子還會導(dǎo)致被刻蝕材料的表面粗糙或內(nèi)部損傷，引起器件電學(xué)性能變差。

圖1 常規(guī)等離子體刻蝕的挑戰(zhàn)

2 基于循環(huán)方式的逐層刻蝕

基于循環(huán)方式的逐層刻蝕在原理上與常規(guī)的等離子體刻蝕有所不同，可以有效改善常規(guī)等離子體刻蝕的深寬比相關(guān)效應(yīng)，提高刻蝕選擇比，降低刻蝕粗糙度和損傷。

一種典型的逐層刻蝕方法如圖2所示，首先將結(jié)合氣體導(dǎo)入刻蝕腔，吸附于材料的表面，形成一個(gè)結(jié)合層。這一改性步驟具有自停止性，即表面一旦飽和，反應(yīng)立即停止。接著，清除刻蝕腔中過量的結(jié)合氣體，并引入刻蝕氣體?？涛g氣體形成等離子體后，通過離子轟擊材料表面，物理性去除之前產(chǎn)生的結(jié)合層，進(jìn)而留下下層未經(jīng)改性的表面。這種去除過程仍然是有自停止性的，因?yàn)橐坏┙Y(jié)合層被全部去除后，該過程也將終止，不會繼續(xù)去除下面的材料。上述步驟完成后，表面的一層材料即可被精確地去除。不斷循環(huán)重復(fù)上述過程，通過控制循環(huán)次數(shù)，可精確控制刻蝕深度、刻蝕速率等。

圖2 基于循環(huán)方式的逐層刻蝕原理示意圖

3 循環(huán)方式逐層刻蝕的進(jìn)一步改善

效果更好的一種方式是將結(jié)合氣體形成等離子體，通過隔離裝置分離活性中性粒子與帶電原子（如圖3所示），采用活性吸附粒子化學(xué)吸附替代傳統(tǒng)反應(yīng)氣體吸附，一方面可以顯著提高刻蝕速率，縮短刻蝕周期時(shí)間，而且在化學(xué)吸附階段能夠大幅度節(jié)約刻蝕反應(yīng)氣體的使用量，降低了工藝成本。另一方面，采用等離子體離子解吸附替代離子束/中性粒子束解吸附，可以避免離子束/中性離子束產(chǎn)生裝置所帶來的復(fù)雜性，使得刻蝕設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單可靠，有利于大規(guī)模生產(chǎn)應(yīng)用。

圖3 隔離裝置示意圖

4 結(jié)束語

本文在常規(guī)的等離子體刻蝕基礎(chǔ)上，研究了一種基于循環(huán)方式的逐層刻蝕方法，可以有效解決常規(guī)等離子體刻蝕的深寬比相關(guān)效應(yīng)，提高刻蝕選擇比，降低刻蝕粗糙度和損傷。通過增加隔離裝置，可以進(jìn)一步改善循環(huán)式逐層刻蝕的工藝效率，降低工藝成本。