亚洲免费av电影一区二区三区,日韩爱爱视频,51精品视频一区二区三区,91视频爱爱,日韩欧美在线播放视频,中文字幕少妇AV,亚洲电影中文字幕,久久久久亚洲av成人网址,久久综合视频网站,国产在线不卡免费播放

        ?

        我國(guó)環(huán)形金剛石線鋸技術(shù)在創(chuàng)新中發(fā)展

        2018-11-01 09:30:14
        超硬材料工程 2018年5期
        關(guān)鍵詞:晶片

        鄭 超

        (中國(guó)有色桂林礦產(chǎn)地質(zhì)研究院,桂林 541004)

        1 前言

        我國(guó)的環(huán)形金剛石線鋸技術(shù)研究起步較晚,始于21世紀(jì)初,桂林國(guó)家特種礦物材料工程技術(shù)研究中心的科研人員參觀了上海斯泰克陶瓷公司,考察了該公司使用的三臺(tái)德國(guó)進(jìn)口環(huán)形金剛石線切割機(jī)用于硼化鈦陶瓷材料切割生產(chǎn)之后,開始立項(xiàng)開展環(huán)形電鍍金剛石線的研究[1-4],筆者亦開始設(shè)計(jì)研制立式環(huán)形金剛石線切割機(jī)。在此期間,山東大學(xué),青島科技大學(xué)和桂林理工大學(xué)的碩士生,博士生在導(dǎo)師指導(dǎo)下,也在開展環(huán)形金剛石線制造工藝以及切割機(jī)理方面的研究試驗(yàn)[5]。從切割各種硬脆材料的試驗(yàn)效果表明環(huán)形金剛石線鋸的切割性能優(yōu)勢(shì)明顯,線速度高達(dá)50~60m/s,切割效率高,多晶硅切片進(jìn)給速度均在5mm/min以上,最高達(dá)30mm/min[6-8]。這是金剛石長(zhǎng)線鋸所無法達(dá)到的。所以,它非常適合于多晶硅、單晶硅等硬脆材料多片切割以及其它工序的切割加工。如,可以替代現(xiàn)有的金剛石帶鋸截?cái)鄼C(jī)對(duì)單晶硅或多晶硅進(jìn)行截?cái)嗲懈罴庸ぁD壳?,?guó)內(nèi)多家硅晶片生產(chǎn)企業(yè)已經(jīng)用上環(huán)形金剛石線截?cái)鄼C(jī),158×158多晶硅截?cái)?,每?分鐘,每根線平均壽命200刀,最多可切割400刀,可望近期內(nèi)替代帶鋸機(jī),以服務(wù)于光伏企業(yè)進(jìn)一步提高晶片生產(chǎn)效率,降低成本。

        據(jù)悉,十三五規(guī)劃期間,我國(guó)的藍(lán)寶石行業(yè)具有爆發(fā)性發(fā)展趨勢(shì),由于下游應(yīng)用市場(chǎng)持續(xù)高速成長(zhǎng),如LED襯底市場(chǎng)、軍用及民用光學(xué)窗口等需求增長(zhǎng)以及新型手機(jī)屏幕等新應(yīng)用的需求激增。可以預(yù)測(cè)藍(lán)寶石晶片在LED行業(yè)的發(fā)展和手機(jī)屏幕、半導(dǎo)體方面的運(yùn)用,預(yù)計(jì)2016~2020年的總需求量,有望節(jié)節(jié)攀升,增幅翻番。國(guó)內(nèi)各生產(chǎn)藍(lán)寶石的大企業(yè)均蠢蠢欲動(dòng),安排擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃。藍(lán)寶石硬度9,屬于難加工材料,晶體越大越難加工。發(fā)揮環(huán)形線的性能優(yōu)勢(shì),克服短板,是解決藍(lán)寶石上游切割加工生產(chǎn)鏈的關(guān)鍵途徑[9]。其它諸如人工光電晶體、功能陶瓷、靶材的切割,市場(chǎng)需求也相當(dāng)大[10]。目前,國(guó)內(nèi)仍采用大量的金剛石帶鋸機(jī)切割,材料損耗大,切面不平整。

        桂林特邦新材料公司的金剛石環(huán)形線和立式切割機(jī)最先于2015年在國(guó)內(nèi)功能陶瓷行業(yè)推廣使用,并多次參加上海光伏展等有關(guān)展會(huì)。大尺寸KDP晶體是昂貴的國(guó)防軍工材料,由于其材質(zhì)軟且脆,易潮解,是當(dāng)前世界上公認(rèn)的難加工材料。而目前使用的帶鋸切割方法,切口大,易破損,甚至在切割過程中經(jīng)常產(chǎn)生炸裂,造成災(zāi)難性的損失。金剛石線切割機(jī)和環(huán)形線,正是克服帶鋸難點(diǎn)的最佳方案,是解決KDP晶體切割攻關(guān)的一大創(chuàng)新。經(jīng)大量切割KDP晶片生產(chǎn)證實(shí),該方法切割力小,切縫窄,切割效率高,實(shí)現(xiàn)了對(duì)貴重脆性材料的低應(yīng)力精密切割。實(shí)踐證明,環(huán)形金剛石線鋸最適合于切割軟脆敏感晶體材料。經(jīng)過多年努力,國(guó)產(chǎn)環(huán)形金剛石線鋸技術(shù)日趨完善,正進(jìn)入市場(chǎng)推廣階段,應(yīng)用范圍也將更加廣泛。

        2 光伏硅晶片切割工程市場(chǎng)潛力巨大

        我國(guó)2020年太陽能光伏裝機(jī)目標(biāo)從1億千瓦(100GW)上調(diào)到1.5億千瓦。因此,中國(guó)的光伏產(chǎn)量將迎來爆炸式增長(zhǎng)。經(jīng)過不懈努力,目前國(guó)產(chǎn)光伏設(shè)備在關(guān)鍵指標(biāo)、性能等方面均已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平,國(guó)內(nèi)光伏產(chǎn)品生產(chǎn)企業(yè)普遍采取國(guó)產(chǎn)設(shè)備和進(jìn)口設(shè)備混搭的建線方案,而且國(guó)產(chǎn)設(shè)備在數(shù)量上已占多數(shù)。多數(shù)企業(yè)認(rèn)識(shí)到了沒有國(guó)產(chǎn)設(shè)備的支撐,中國(guó)的光伏企業(yè)將喪失最主要的成本競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。與IC行業(yè)相比,光伏設(shè)備的技術(shù)要求略低一些,這也正是國(guó)內(nèi)企業(yè)可大有作為的中低端設(shè)備領(lǐng)域。尤其是硅晶切割占據(jù)晶片生產(chǎn)成本50%以上,大量采用國(guó)產(chǎn)切割技術(shù)和設(shè)備是光伏企業(yè)降低生產(chǎn)成本的關(guān)鍵舉措。目前國(guó)產(chǎn)金剛石線和多片切割機(jī)己經(jīng)在生產(chǎn)中獲得大量使用,而環(huán)形金剛石線鋸技術(shù)仍發(fā)展滯后。其實(shí),除了多片切割以外,還有大量的切割工作量,如,切兩頭、截?cái)唷⑵吹丁⑶泻衿裙ば蚴褂玫膸т徢懈?,材料損耗大,若代之以環(huán)形線切割技術(shù)將帶來可觀的經(jīng)濟(jì)效果。

        (1)環(huán)形金剛石線截?cái)鄼C(jī)取代帶鋸機(jī)

        目前國(guó)內(nèi)各大型光伏企業(yè)均擁有幾十臺(tái)帶鋸機(jī)用于晶錠,晶棒的截?cái)嗲懈罴庸?,帶鋸厚度最?.7mm,切縫>1.5mm,切面不平整。截?cái)鄶?shù)量多,造成極大浪費(fèi)。而國(guó)外如韓國(guó)Disec公司推出的環(huán)形金剛石線截?cái)鄼C(jī)用于15吋的單晶硅棒截?cái)嗷蚯衅?,頗受青睞[11]。見圖1所示。因此,國(guó)內(nèi)青島測(cè)控中心等不少單位研制單長(zhǎng)線截?cái)鄼C(jī)和多工位截?cái)鄼C(jī)以取代帶鋸機(jī)。而環(huán)形線截?cái)鄼C(jī)由于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單而具有更大的替代優(yōu)勢(shì)。最近天瑞公司研制成功的PTM200環(huán)形線截?cái)鄼C(jī)已經(jīng)小批量推向光伏晶片加工市場(chǎng),初顯切割效率高,操作簡(jiǎn)單等優(yōu)勢(shì),受到客戶青睞,預(yù)計(jì)年內(nèi)將獲得普遍推廣。見圖2所示。

        目前,國(guó)內(nèi)光伏單晶硅,多晶硅切割市場(chǎng)剛剛推廣各種金剛石長(zhǎng)線的截?cái)鄼C(jī)和多工位截?cái)鄼C(jī),如圖3、圖4所示。而環(huán)線PTM200機(jī)的出現(xiàn),卻引起不小轟動(dòng)。相比較而言,環(huán)線機(jī)優(yōu)勢(shì)明顯,不但切割效率高,而且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,造價(jià)低,裝拆金剛石線簡(jiǎn)便。筆者認(rèn)為,兩者必有一場(chǎng)相當(dāng)激烈的競(jìng)爭(zhēng),隨著環(huán)線機(jī)不斷地改進(jìn)創(chuàng)新,克服短板,必將取得市場(chǎng)的認(rèn)可和接受,獲得大批量推廣,為我國(guó)的光伏產(chǎn)業(yè)做貢獻(xiàn)。

        圖2 天瑞公司PTM200截?cái)鄼C(jī)Fig.2 The PTM200 cut-off machine of Tian Rui company 線速度:25-50m/s,給進(jìn)速度:5-30mm/min,線徑:0.65,0.45mm, 周長(zhǎng):2670mm

        圖3 晶盛公司DSW40S-ZJS截?cái)鄼C(jī),機(jī)器人在上料Fig.3 DSW40S-ZJS cutting machine from Crystal company, the feeding robot

        (2)環(huán)形金剛石線開方機(jī)優(yōu)于單線開方機(jī)

        圖4 青島測(cè)控中心GXDW-30多工位截?cái)鄼C(jī)Fig.4 GXDW-30 multiple stations cut-off machine of Qingdao Measurement and Control Center

        圖5 上海日進(jìn)公司單晶硅截?cái)鄼C(jī)Fig.5 Mono-crystalline silicon cut-off machine of Shanghai NISSIN Machine

        目前國(guó)內(nèi)金剛石線開方機(jī)用量逐年增多,國(guó)產(chǎn)金剛石線供不應(yīng)求,國(guó)產(chǎn)開方機(jī)也得到大量使用(其中,大量進(jìn)口游離式開方機(jī)改造為金剛石線開方機(jī))。而且,還出現(xiàn)幾款臥式單根單晶硅開方機(jī),如重慶神工開方機(jī)和青島測(cè)控中心的開方機(jī),其特點(diǎn)是工件不用粘結(jié),機(jī)械手上下工件,切割后不必剪斷網(wǎng)線,相對(duì)于多工位立式開方機(jī),生產(chǎn)效率高。見圖6所示。但是,比較而言,在環(huán)形線性能好的條件下(線徑0.4~0.6mm),環(huán)線開方機(jī)更具優(yōu)勢(shì):

        圖6 重慶神工KFD800-1單根開方機(jī)Fig.6 KFD800-1 single root cutting machine of Chongqing Shengong

        ①環(huán)線機(jī)輪系少,整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,造價(jià)低,易于推廣;

        ②環(huán)線機(jī)裝線快捷,線距調(diào)整容易,斷線只換一根環(huán)線處理速度快,成本低;

        ③技術(shù)難度低,省去同步裝置系統(tǒng),排線系統(tǒng)等復(fù)雜機(jī)構(gòu),操作簡(jiǎn)單,容易維修。

        ④環(huán)線機(jī)線速度快,切割效率高,接近單線開方機(jī)的2倍。

        (3)切割多晶硅數(shù)據(jù)充分顯示環(huán)形線的技術(shù)優(yōu)勢(shì)

        受青島隆盛公司委托,對(duì)多晶硅錠進(jìn)行開方切片,從切割工藝參數(shù)和結(jié)果數(shù)據(jù)來看,充分顯示了環(huán)形金剛石線鋸技術(shù)的優(yōu)勢(shì)。

        ①環(huán)形線規(guī)格:線徑0.65mm,周長(zhǎng)4960mm,2670mm

        ②工藝參數(shù):線速度28~31m/s,進(jìn)給速度12~30mm/min,切割效率0.2~0.336m2/min

        ③切割效果:環(huán)形線切割機(jī)每5~6分鐘切1片,每米金剛石線平均切割面積0.912m2

        環(huán)形線切割效率優(yōu)勢(shì)明顯。見綜合比較表1:

        表1 環(huán)形金剛石線與單長(zhǎng)線切割效率比較表

        綜上所述,環(huán)形金剛石線鋸技術(shù)的創(chuàng)新發(fā)展必將在我國(guó)光伏企業(yè)中獲得廣泛應(yīng)用,開花結(jié)果。

        3 藍(lán)寶石環(huán)形線切片開方機(jī)是降低加工成本的關(guān)鍵

        十三五期間,藍(lán)寶石行業(yè)仍然具有爆發(fā)性的發(fā)展趨勢(shì)。但是,如何有效降低藍(lán)寶石蓋板切片的加工成本,是超硬材料工具企業(yè)亟待攻克的難關(guān)。如果性能優(yōu)異的藍(lán)寶石能在合理成本下進(jìn)行量產(chǎn),未來的市場(chǎng)將不可估量。藍(lán)寶石在智能手機(jī)和可穿戴設(shè)備領(lǐng)域的應(yīng)用,將引爆藍(lán)寶石的潛在需求,未來三年藍(lán)寶石產(chǎn)業(yè)有5倍以上成長(zhǎng)空間。蘋果在iWatch 和iPhone 蓋板上采用藍(lán)寶石材料后,將占藍(lán)寶石總需求的80%。目前,LED襯底切割的多片切割機(jī)基本上解決了市場(chǎng)需求,只是擴(kuò)產(chǎn)增加多片切割機(jī)訂單,提高晶片產(chǎn)量問題。表2是近期的藍(lán)寶石切片工藝參數(shù)。

        表2 近期藍(lán)寶石切片工藝參數(shù)

        由表中可知,金剛石單長(zhǎng)線切割效率是非常低的,切割成本居高不下。最近,國(guó)內(nèi)各媒體,網(wǎng)站充斥大量的對(duì)藍(lán)寶石手機(jī)蓋板未來市場(chǎng)的預(yù)測(cè)報(bào)告,但是,蓋板的開方切片的方法,并未解決。藍(lán)寶石作為玻璃的替代品,目前制造成本相當(dāng)昂貴,若將藍(lán)寶石材料做成iPhone手機(jī)屏幕大小,成本將是康寧大猩猩玻璃的四倍以上,且該項(xiàng)技術(shù)在中大尺寸玻璃上難以實(shí)現(xiàn),目前僅能用在小尺寸領(lǐng)域。 分析人士認(rèn)為,此次蘋果新品在技術(shù)創(chuàng)新上低于預(yù)期,作為高端產(chǎn)品標(biāo)桿的蘋果創(chuàng)新腳步進(jìn)一步放緩,也顯示出高端智能手機(jī)的創(chuàng)新遭遇到了一定的瓶頸。專家預(yù)計(jì),一旦開方切片問題解決,2016~2020年的蓋板使用數(shù)量將超過各家報(bào)告所說的市場(chǎng)預(yù)期,最大產(chǎn)量達(dá)到每年5000萬片以上。如此大的市場(chǎng)機(jī)遇,業(yè)內(nèi)多家超硬材料公司覬覦己久,始終努力探索,也取得不少成績(jī),正在努力攻關(guān),希望在近期內(nèi)有所突破。

        (1)金剛石長(zhǎng)線開方機(jī)和帶鋸機(jī)是當(dāng)前市場(chǎng)主力

        目前,國(guó)內(nèi)有幾家企業(yè)生產(chǎn)藍(lán)寶石多線開方機(jī)和切片機(jī),如,重慶源啟科技公司和重慶四和晶工公司合作生產(chǎn)了SDX300藍(lán)寶石開方機(jī)、SDX500藍(lán)寶石開方機(jī)、DX300藍(lán)寶石單線切機(jī)和QPD2530(6”)藍(lán)寶石切片機(jī)。見圖7、圖8所示。

        圖7 SDX500藍(lán)寶石開方機(jī)Fig.7 SDX500 sapphire root machine

        圖8 SDX300藍(lán)寶石開方機(jī)Fig.8 SDX300 sapphire root machine

        現(xiàn)有長(zhǎng)線開方機(jī)存在問題分析:

        ①長(zhǎng)線機(jī)固有問題,輪系多,結(jié)構(gòu)復(fù)雜,故障多,同步排線技術(shù)不成熟,生產(chǎn)效率低,造價(jià)高,故仍未在生產(chǎn)中大量推廣使用。

        ②標(biāo)明的線速度20~25m/s,實(shí)際做不到,因此,影響切割效率,進(jìn)給速度標(biāo)明最高1.8mm/min,但實(shí)際估計(jì)在0.3~1mm/min之間。

        ③裝線,拆線相當(dāng)麻煩,用0.25mm細(xì)線,壽命不長(zhǎng),晶體越大,適應(yīng)性越差。

        盡管如此,當(dāng)前還沒有更好的設(shè)備,重慶四聯(lián)光電集團(tuán)依靠它建造藍(lán)寶石基地,將形成1800萬片的年生產(chǎn)能力,屆時(shí)四聯(lián)集團(tuán)僅僅是LED基地的年產(chǎn)值就將超過100億元。

        (2)克服短板,發(fā)揮優(yōu)勢(shì),敢于競(jìng)爭(zhēng)

        環(huán)形金剛石線切割機(jī),在試驗(yàn)和使用中,充分顯示出設(shè)備構(gòu)造簡(jiǎn)單,切割效率高的優(yōu)勢(shì),尤其是在切割人工晶體方面更是得心應(yīng)手,游刃有余。德國(guó)學(xué)者著文,闡述實(shí)驗(yàn)結(jié)果,線速度越高,切割力越小,切面越平整。見圖9所示。但是,在切割硬度高的藍(lán)寶石時(shí),卻暴露出環(huán)形線的短板。一是線徑不夠細(xì);二是工作壽命短。因此,在設(shè)計(jì)開方機(jī)時(shí)遇到難題,必須有意增加線的周長(zhǎng),提高線的壽命,從而結(jié)構(gòu)顯得龐大不緊湊。要提升競(jìng)爭(zhēng)力,關(guān)鍵在于創(chuàng)新,切割機(jī)要發(fā)展也要不斷創(chuàng)新,克服短板,才能在競(jìng)爭(zhēng)中立于不敗之地。

        圖9 不同線速度與切割力關(guān)系圖Fig.9 Relationship between cutting speed and cutting force

        ①減少線徑,提高單位長(zhǎng)度壽命是環(huán)形切割機(jī)研制的關(guān)鍵。

        2.2.2 抑郁心理:患者本身對(duì)手術(shù)的了解相對(duì)較少,對(duì)術(shù)后的恢復(fù)也存在消極的心理,從而導(dǎo)致其整日處于悲觀、絕望的狀態(tài),部分患者甚至出現(xiàn)了嚴(yán)重的失眠。

        目前,常用的環(huán)形線徑是0.65mm,正在研制的還有0.4mm、0.3mm的,要把握環(huán)形線自身的特點(diǎn),不能與長(zhǎng)線比粗細(xì),可以想象在有限長(zhǎng)度內(nèi),線徑越小,則壽命越短。關(guān)鍵是要在工藝上做足功夫,提高環(huán)線的抗拉強(qiáng)度,提高單位長(zhǎng)度的工作壽命。

        ②設(shè)計(jì)廻轉(zhuǎn)支架,讓晶體處于旋轉(zhuǎn)狀態(tài)中切割,變線接觸為點(diǎn)接觸,有利于提高切割效率,目標(biāo)要達(dá)到2~3mm/min。

        ③盡可能延長(zhǎng)環(huán)形線周長(zhǎng),保證每根環(huán)形線切完300mm×400mm晶體面積,因此,周長(zhǎng)受限是環(huán)形線鋸的短板。

        通過以上創(chuàng)新措施,使環(huán)形線鋸切割藍(lán)寶石的綜合指標(biāo)優(yōu)于長(zhǎng)線鋸,以期獲得藍(lán)寶石切割市場(chǎng)認(rèn)可。見圖10、圖11所示。

        圖10 藍(lán)寶石在環(huán)形線立式機(jī)上切割試驗(yàn)Fig.10 Cutting sapphire on the ring type vertical cutting machine

        圖11 藍(lán)寶石在臥式機(jī)上切割試驗(yàn)Fig.11 Cutting sapphire experiment on the horizontal machine

        4 環(huán)形金剛石線鋸用于人工晶體切割大有作為,市場(chǎng)有待擴(kuò)大

        于2014年研制的懸臂式TXJ-1000環(huán)形金剛石線切割機(jī)己經(jīng)成功地替換帶鋸機(jī)用于福建某研究所的大型KDP晶體激光材料的切割生產(chǎn)。經(jīng)二年多切割生產(chǎn)證實(shí),該設(shè)備配置的線鋸切割力小,切縫窄,不易崩裂,切割效率高,實(shí)現(xiàn)了對(duì)貴重脆性材料的低應(yīng)力精密切割。這是我國(guó)第一臺(tái)自主創(chuàng)新研制的大型環(huán)形金剛石線切割機(jī),為國(guó)防軍工做出了貢獻(xiàn),意義重大。見圖12、圖13所示。

        近年來,人工晶體越來越向高端發(fā)展,價(jià)值極其昂貴,切割加工過程十分精細(xì),平穩(wěn),不但切縫要小,還不得出現(xiàn)微小裂紋。從事環(huán)形線切割技術(shù)的企業(yè)應(yīng)創(chuàng)新研制更多的精密切割機(jī)以適應(yīng)切割高端晶體材料的需要,重要的是要盡快尋找客戶,將產(chǎn)品推向市場(chǎng),讓更多的人工晶體企業(yè)用上先進(jìn)的精密環(huán)形金剛石線切割設(shè)備。

        圖12 TXJ-1000環(huán)形金剛石線切割機(jī)Fig.12 TXJ-1000 ring diamond wire cutting machine

        圖13 大型KDP晶體(600×600×600)在切割中Fig.13 Large KDP crystals (600×600×600)being cut

        5 陶瓷靶材切割市場(chǎng)潛力大

        靶材加工是個(gè)新興產(chǎn)業(yè),由于智能手機(jī)、平板電腦等移動(dòng)終端的流行,靶材市場(chǎng)需求量也非常之大。與環(huán)形線切割有關(guān)的主要是陶瓷靶材,上述提到的上海某公司10年前就引進(jìn)三臺(tái)環(huán)形線切割機(jī),用于切割氮化硼蒸發(fā)舟。2015年,天瑞公司為寧波某材料公司提供TLB350立式環(huán)形線切割機(jī)專門用于Zno靶材的切圓和對(duì)剖切片生產(chǎn)。最近又為北京有研公司的Mgo、Al2O3、鎢合金靶材進(jìn)行切圓,切片試驗(yàn)。見圖14、圖15所示。

        圖14 TLB350立式環(huán)形線切割機(jī)Fig.14 TLB350 vertical ring line cutting machine

        圖15 寧波ZnO靶材正在切圓Fig.15 The target of Ningbo ZnO being cut in circle

        表3 不同切割方式切割I(lǐng)TO靶材切割效率

        6 我國(guó)晶圓芯片切割加工也應(yīng)有環(huán)線切割技術(shù)一席之地

        2017年,我國(guó)晶圓芯片加工進(jìn)入大規(guī)模發(fā)展的黃金時(shí)代,其上游的晶圓切割加工鏈中仍然為大量的金剛石帶鋸所占據(jù)。見圖16所示。望業(yè)內(nèi)有識(shí)之士能預(yù)見,這是發(fā)展環(huán)線切割技術(shù)的又一個(gè)大商機(jī),切莫錯(cuò)失。目前晶圓直徑正向更大方向發(fā)展,從原來的8、10、12、15英寸甚至到了20英寸,越大越適合環(huán)線鋸切割,如圖17,某晶圓芯片公司的Φ350mm晶圓在環(huán)線立式機(jī)切片,效果十分滿意,其工藝參數(shù)為:

        線速度38m/s,進(jìn)給速度15~30mm/min,切割面精度0.02~0.05μm,片厚2~5mm。

        圖16 有研的450mm晶圓在帶鋸上切兩頭Fig.16 450mm wafers being cut on both ends of the band saw in Grinm

        圖17 350mm晶圓在環(huán)線立式機(jī)上切片F(xiàn)ig.17 350mm wafers being sliced on a loop vertical machine

        7 結(jié)論

        (1)環(huán)形金剛石線鋸切割技朮是我國(guó)超硬材料工具發(fā)展中的一朵奇葩,具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì),尤其適用于硬脆材料和敏感材料的精密切割。應(yīng)用范圍廣泛,且規(guī)模大,涉及太陽能光伏晶片、晶圓芯片、藍(lán)寶石、人工晶體和陶瓷靶材等,市場(chǎng)前景無限,應(yīng)引起業(yè)內(nèi)人士關(guān)注,讓更多企業(yè)投入創(chuàng)新,創(chuàng)業(yè)。

        (2)國(guó)內(nèi)從事該項(xiàng)技術(shù)研究的單位甚少,這是一項(xiàng)需要投入更多創(chuàng)新的獨(dú)特技術(shù),要獨(dú)辟蹊徑,有難度,也有短板,甚至也有風(fēng)險(xiǎn)。但闖過風(fēng)險(xiǎn),就會(huì)有豐厚的回報(bào)。

        (3)藍(lán)寶石在智能手機(jī)和可穿戴設(shè)備領(lǐng)域的應(yīng)用,取決于切割晶片成本的降低,切片面積越大,環(huán)形金剛石線鋸的優(yōu)勢(shì)越明顯,一旦成功,即可創(chuàng)造很大價(jià)值。

        (4)環(huán)形金剛石線和設(shè)備要以市場(chǎng)為中心,緊密結(jié)合,相輔相成,這是企業(yè)賴以成功的創(chuàng)業(yè)法寶,是目前市場(chǎng)上的不可替代產(chǎn)品,具有定價(jià)能力,應(yīng)予以極力保護(hù)。

        (5)我國(guó)環(huán)形金剛石線鋸技術(shù)還要在不斷創(chuàng)新中發(fā)展,產(chǎn)品還有待市場(chǎng)驗(yàn)證,我國(guó)超硬材料同行要加倍努力,砥礪前行,引領(lǐng)金剛石環(huán)形線鋸技術(shù)向更高端發(fā)展。

        猜你喜歡
        晶片
        邊緣梯度算法在LED 晶片定位的應(yīng)用研究*
        電子器件(2021年4期)2021-10-26 12:27:18
        相控陣檢測(cè)探頭晶片檢查的幾種方法
        單晶硅晶片化學(xué)機(jī)械拋光基本特性研究
        雙晶片懸臂梁式壓電傳感器的有限元仿真研究
        單晶硅拋光片表面質(zhì)量探究
        IBM發(fā)明納米碳管晶片 可使晶片速度提高1000倍
        電子世界(2016年22期)2016-03-12 22:15:32
        金剛石多線切割材料去除率對(duì)SiC晶片翹曲度的影響
        環(huán)形壓電雙晶片驅(qū)動(dòng)式振動(dòng)送料器
        QK型石英晶體微量天平頻溫效應(yīng)的初步研究
        晶片映射系統(tǒng)原理及實(shí)現(xiàn)算法研究
        中国人妻沙发上喷白将av| 国产中文字幕乱人伦在线观看| 欧美肥妇毛多水多bbxx水蜜桃| 领导边摸边吃奶边做爽在线观看| 妺妺窝人体色www聚色窝| 无遮高潮国产免费观看| 99re国产电影精品| 蜜臀人妻精品一区二区免费| 无码喷潮a片无码高潮| 亚洲精品成人区在线观看| 色欲AV成人无码精品无码| 青青草视频在线观看9| 国产精品美女久久久免费| 怡红院免费的全部视频| 99在线视频精品费观看视| 国产午夜精品综合久久久| 欧美日韩午夜群交多人轮换| 无码综合天天久久综合网| 国产精品国产三级国产av创| 精品国产三区在线观看| 五月四房播播| 国产成人www免费人成看片| 丝袜 亚洲 另类 欧美| 精品久久中文字幕系列| 人妻丰满熟妇av无码区| 中文字幕在线码一区| 亚洲av高清在线一区二区三区| 亚洲一区亚洲二区视频在线| 免费高清av一区二区三区| 久久99欧美| 精品少妇一区二区三区四区| 真人做爰试看120秒| 中国丰满大乳乳液| 天堂岛国精品在线观看一区二区| 性感的小蜜桃在线观看| 国产精品天干天干综合网| 失禁大喷潮在线播放| 激情综合五月天开心久久| 久久精品人搡人妻人少妇| 国产麻豆精品一区| 欧美日韩一区二区三区视频在线观看 |