侯小龍

近日，賽默飛世爾科技（以下簡稱：賽默飛）宣布推出新產品，增強半導體制造的質量控制和產量。這些新產品于2018年3月14 ～ 16日在SEMICON China展出。

賽默飛半導體副總裁兼總經理Rob Krueger表示：“賽默飛深耕用于控制生產工藝和診斷半導體和顯示器制造過程和產品故障根本原因的先進分析技術。近期，將推出新產品，幫助推動亞洲，特別是中國的半導體制造業(yè)快速創(chuàng)新和持續(xù)拓展。”

Verios G4極高分辨率掃描電子顯微鏡

Thermo Scientific Verios G4極高分辨率（XHR）掃描電子顯微鏡（SEM）提供確定根本原因缺陷、產量損失以及過程和產品故障所需的能力和靈活性。

Krueger表示：“Verios G4是源于大獲成功的Helios DualBeam系列（聚焦離子束/掃描電子顯微鏡）儀器的掃描電子顯微鏡解決方案。它提供各種環(huán)境下行業(yè)領先的性能，尤其是用于先進工藝的光束敏感材料所需的低電壓環(huán)境?！?/p>

Hyperion II快速高效的納米探針

納米探測器直接對單個晶體管進行電測量。新的Thermo Scientific Hyperion II是基于原子力顯微鏡的唯一商用納米探針，無需真空要求和基于掃描電子顯微鏡納米探測器的電子束/樣品相互作用。Hyperion II的自動操作和成像模式專為提高速度和易用性而設計。此外，其精確定位電氣故障的能力可以提高DualBeam或者TEM后續(xù)分析的速度和效率。

iCAP TQs電感耦合等離子體質譜儀

Thermo Scientific iCAP TQs電感耦合等離子體質譜儀（ICP-MS）是信譽卓著的iCAP TQ ICP-MS的專用半導體版本。它提供了超高純度化學品中快速、可靠和可重復的低水平污染物測量，以支持先進半導體生產過程的自動化在線監(jiān)測和統(tǒng)計過程控制。iCAP TQs ICP-MS在一個高性能解決方案中提供了新的超低檢測水平和簡單性。有了這個新系統(tǒng)，如今將化學分析從實驗室移到工廠成為可能，并支持對化學浴進行在線控制，從而優(yōu)化響應時間。