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        基于LD雙端面泵浦的Nd∶YAG高效率倍頻激光器

        2018-06-06 09:21:07范嗣強(qiáng)李麒麟路永樂
        發(fā)光學(xué)報(bào) 2018年6期
        關(guān)鍵詞:效率

        范嗣強(qiáng), 李麒麟,路永樂

        (1.重慶師范大學(xué) 市級(jí)高校光電材料與工程重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,重慶 401331;2.重慶市第一中學(xué),重慶 400030; 3.重慶郵電大學(xué) 光電學(xué)院,重慶 400065)

        1 引 言

        全固態(tài)綠光(532nm)激光具有波長(zhǎng)短、易聚焦、能量集中、分辨率高等優(yōu)點(diǎn),在精密材料加工、醫(yī)療、光譜分析和科學(xué)研究等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用[1],更為廣泛的應(yīng)用是將其混頻或者再倍頻產(chǎn)生深紫外激光[2-4]。綠光的輸出是通過激光二極管(LD)泵浦Nd∶YAG、Nd∶YVO4產(chǎn)生1064nm的基頻光,再與KTP、LBO等非線性晶體進(jìn)行倍頻輸出,其特征是光學(xué)結(jié)構(gòu)復(fù)雜、元器件多、輸出功率低、轉(zhuǎn)換效率低下。如何優(yōu)化激光器結(jié)構(gòu)以獲得出光質(zhì)量好、出光功率高、轉(zhuǎn)換效率高的激光一直是全固態(tài)綠光激光領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)[5-7]。其轉(zhuǎn)換效率也包含了基頻光(1064nm)的轉(zhuǎn)換效率,同時(shí)基頻光的脈沖峰值功率和光束質(zhì)量也嚴(yán)重影響和制約倍頻光的輸出效率,因此優(yōu)化結(jié)構(gòu)包括對(duì)基頻光的優(yōu)化。中小功率用于倍頻的基頻光通常采用LD端面泵浦Nd∶YVO4的結(jié)構(gòu),其主要缺點(diǎn)是單端泵浦使晶體內(nèi)的熱量分布不均勻、熱效應(yīng)高、嚴(yán)重影響輸出光束質(zhì)量和效率,同時(shí)YVO4不適合注入功率高的情況。近年來,在超快激光、特殊波長(zhǎng)激光的研究過程中,為獲得更加優(yōu)良的基頻光源,開始探索激光二極管端面泵浦Nd∶YAG的激光器結(jié)構(gòu)方式,相關(guān)研究人員對(duì)該方式的晶體熱效應(yīng)[8-11]、被動(dòng)調(diào)Q技術(shù)[8,12]、晶體鍵合技術(shù)[13]、微片激光器[12]、腔體結(jié)構(gòu)技術(shù)[14]等領(lǐng)域進(jìn)行了大量的研究。

        本文從綠光激光器的基頻產(chǎn)生方式上提出了LD雙端面泵浦Nd∶YAG的結(jié)構(gòu)方式,優(yōu)化散熱模式、減小晶體熱效應(yīng),同時(shí)在倍頻結(jié)構(gòu)中采用1/4波片與偏振片組合以提高倍頻效率。實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明其轉(zhuǎn)換效率高,在小型化、便攜式、低能耗倍頻激光器領(lǐng)域有極好的產(chǎn)業(yè)化前景。

        2 激光二極管雙端面泵浦Nd∶YAG倍頻激光器實(shí)驗(yàn)結(jié)構(gòu)與分析

        激光二極管雙端面泵浦Nd∶YAG/Cr4+∶YAG被動(dòng)調(diào)Q、腔內(nèi)倍頻激光器實(shí)驗(yàn)結(jié)構(gòu)裝置如圖1所示。兩臺(tái)光纖輸出半導(dǎo)體激光器經(jīng)過耦合透鏡分別從YAG晶體的兩個(gè)端面入射,采用U形折疊腔,腔長(zhǎng)為500mm。其中M1為1064nm全反鏡;M2和M3為1064nm高反、808nm高透鏡,與泵浦光軸成45°角放置,形成U形結(jié)構(gòu);激光晶體Nd∶YAG的尺寸為3mm×3mm×10mm,摻雜濃度1%;M4為1064nm1/4波片;M5為偏振片;被動(dòng)調(diào)Q晶體Cr4+∶YAG的透過率T=75%;M6為532nm激光輸出鏡,靠近LBO晶體面鍍1064nm高透、532nm高反膜,另一面鍍1064nm高透膜,與LBO光軸成45°角放置,所有鏡片尺寸為Ф20mm×3mm。LBO倍頻晶體尺寸為3mm×3mm×20mm,采用電子溫控器精確控制晶體溫度。

        圖1LD雙端面泵浦Nd∶YAG被動(dòng)調(diào)Q腔內(nèi)倍頻激光器示意圖
        Fig.1Schematic of LD double end pumped Nd∶YAG passivelyQ-switched intracavity frequency doubling laser

        2.1 雙端面泵浦ND∶YAG及熱效應(yīng)分析

        對(duì)于中小型的DPSSL而言,采用雙端面激光二極管泵浦方式可以使泵浦光在諧振腔內(nèi)形成的增益區(qū)與激光腔模體積空間交疊增大,從而實(shí)現(xiàn)降低閾值功率、提高斜效率的目的。更進(jìn)一步,相比于單端泵浦,其熱源區(qū)溫度梯度更為平緩、中心溫度更低、熱效應(yīng)更低、輸出光束質(zhì)量更好。在雙端面泵浦光的照射下,一部分能量被激光晶體吸收,一部分變?yōu)閺U熱,影響激光器的正常工作,因而對(duì)晶體棒進(jìn)行冷卻散熱十分必要。常用的方法是水冷或者傳導(dǎo)冷卻,使其側(cè)表面保持在恒定的溫度點(diǎn)。實(shí)驗(yàn)中的泵浦源采用大族天成半導(dǎo)體公司的808nm半導(dǎo)體光纖輸出激光器,型號(hào)為M808±3-30-D400/22-T6-P,如圖2所示,中心波長(zhǎng)808nm,光譜寬度3nm,最高輸出功率38W,閾值電流1.54A,斜效率5.21W/A,電光轉(zhuǎn)換效率41.6%。采用T封裝模式,輸出光纖芯徑400μm、數(shù)值孔徑0.22。半導(dǎo)體激光器泵浦光的光纖芯徑為400μm,從尾纖出來具有一定的發(fā)散角,為了有效地將泵浦光注入到晶體中,采用兩個(gè)焦距為60mm和30mm的平凸透鏡組成一望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)耦合透鏡組,其放大比例為2∶1,使得泵浦光在晶體端面的焦斑直徑為800μm,并在兩個(gè)耦合透鏡底座放置水平可調(diào)裝置,在實(shí)驗(yàn)中調(diào)節(jié)耦合透鏡與晶體端面的距離以便輸出最大功率。

        圖2 光纖輸出半導(dǎo)體激光器Fig.2 Semiconductor laser by fiber output

        激光介質(zhì)晶體采用中國(guó)電子科技集團(tuán)11所研制的Nd∶YAG晶體介質(zhì),3mm×3mm×10mm的長(zhǎng)方體結(jié)構(gòu),其摻雜濃度為1%,受激發(fā)射截面為2.8×10-19cm-2,熱導(dǎo)率為14W/mK。傳統(tǒng)的側(cè)面YAG激光器由于光-光轉(zhuǎn)換效率不高,晶體發(fā)熱量大,其散熱方式通常為水冷卻直接沖刷晶體表面、帶走熱量,水冷的缺點(diǎn)是水溫不穩(wěn)定,影響激光功率輸出的穩(wěn)定性。端面泵浦由于其轉(zhuǎn)換效率高,發(fā)熱量小,一般采用傳導(dǎo)冷卻的方式,而雙端面泵浦由于泵浦光在晶體內(nèi)分布更為均勻,進(jìn)一步提高了轉(zhuǎn)換效率,同時(shí)為了確保冷卻效果,本實(shí)驗(yàn)采用晶體表面?zhèn)鲗?dǎo)冷卻、熱沉通水的方式進(jìn)行散熱。

        根據(jù)Nd∶YAG激光晶體的形狀,設(shè)計(jì)了用含銅4.5%的硬鋁(編號(hào)6061)來制作散熱熱沉,其熱導(dǎo)率為177W/mK。圖3為晶體散熱熱沉結(jié)構(gòu)示意圖與實(shí)物圖,熱沉由底座和左上緊固塊構(gòu)成,晶體放置在中間通孔內(nèi),孔的尺寸與晶體尺寸相同。為了更好地散熱,用銦膜包裹晶體的側(cè)面,通過緊固螺絲1和緊固螺絲2提供壓力使晶體側(cè)面和熱沉表面緊密結(jié)合并固定晶體。將熱沉固定在通水基座上,該方式確保冷卻的效果,同時(shí)使得冷卻水的溫度變化被熱沉吸收,晶體內(nèi)的溫度分布均勻、熱流量恒定、輸出激光穩(wěn)定。

        被動(dòng)調(diào)Q晶體Cr4+∶YAG的尺寸為5mm×5mm×2.2mm,在高功率被動(dòng)調(diào)Q情況下其累積熱效應(yīng)不容忽視,與YAG晶體的散熱方式相同,如圖4所示。將Cr4+∶YAG晶體的后端面緊密粘貼到熱沉上,前端面用一薄蓋片通過緊固螺絲與熱沉連在一起,形成一個(gè)傳熱模塊,再將該模塊與通水熱沉相連,保證對(duì)晶體散熱的能力與均勻性。由于激光介質(zhì)YAG晶體的熱透鏡效應(yīng),照射到Cr4+∶YAG上的光斑將會(huì)被會(huì)聚,用紅外鏡觀察發(fā)現(xiàn)其光斑約為0.4mm,因此在Cr4+∶YAG的前蓋片和后熱沉的中間開Φ1mm的小孔,以便激光光束通過。

        圖3 晶體熱沉結(jié)構(gòu)示意圖Fig.3 Schematic of crystal heat sink

        圖4 Cr4+∶YAG晶體熱沉結(jié)構(gòu)示意圖Fig.4 Schematic of Cr4+∶YAG crystal heat sink

        對(duì)于激光二極管輸出的激光光束的分布,較多文獻(xiàn)將其視為平行平面光或者理想高斯光束,但對(duì)于光纖耦合輸出泵浦光而言,激光二極管出射光束經(jīng)過微透鏡聚焦后進(jìn)入光纖,從尾端射出,再經(jīng)過耦合透鏡進(jìn)入激光晶體的端面,其光斑分布采用超高斯光束描述更為合理[11]。超高斯光束沿z軸進(jìn)入晶體的兩個(gè)端面(z=0,z=l),其光束光強(qiáng)分布表達(dá)式為:

        (1)

        激光晶體Nd∶YAG產(chǎn)生熱能的原因很多,主要來源是熒光量子效應(yīng)[10],此處只考慮其產(chǎn)生的熱量,則晶體兩邊注入泵浦光在體內(nèi)產(chǎn)生的熱功率密度為左右兩邊注入光熱量之和,左邊泵浦光在晶體內(nèi)產(chǎn)生的熱源分布:

        (2)

        右邊泵浦光在晶體內(nèi)產(chǎn)生的熱源分布:

        (3)

        式中,光量子效率η=1-808/1064=0.24,808nm為泵浦光,1064nm為輸出激光。

        圖5 單端泵浦與雙端泵浦棒內(nèi)溫度場(chǎng)分布Fig.5 Temperature field distribution of single end-pumping and double end-pumping

        利用Matlab軟件熱分析微分方式對(duì)晶體進(jìn)行溫度場(chǎng)數(shù)值模擬分析,設(shè)定激光晶體的尺寸為3mm×3mm×10mm,對(duì)808nm的泵浦光吸收系數(shù)β=9.1cm-1,設(shè)定晶體側(cè)面溫度恒定為300K,兩個(gè)通光端面絕熱。注入相同總功率為40W時(shí),得到單端注入晶體的端面中心最高溫度為760K,而雙端面注入時(shí)端面中心最高溫度為530K,晶體內(nèi)部溫度分布如圖5所示,可見通過雙端泵浦的方式可使YAG晶體內(nèi)部的發(fā)熱量均勻,溫度梯度更小,晶體熱效應(yīng)更低,輸出光束質(zhì)量就更好。

        2.2 腔內(nèi)倍頻結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

        通常Nd∶YAG晶體輸出的基頻光為自然偏振光,而倍頻晶體LBO需要線偏振光,通常的做法是在腔內(nèi)加上一個(gè)偏振片,但是加上偏振片后會(huì)使其輸出基頻光的功率減半、廢熱增加,同時(shí)使晶體內(nèi)部的能量提取分布不均勻,加大晶體的熱效應(yīng),使基頻光產(chǎn)生嚴(yán)重的畸變,降低倍頻效率。因此,在偏振片的前端加上1/4波片,根據(jù)波片的理論[15],腔內(nèi)的基頻光將分成兩個(gè)部分:以偏振片為界,穿過Nd∶YAG晶體的1064光束將是橢圓偏振光,相比于線偏振光而言,橢圓偏振光在晶體內(nèi)的能量提取率分布均勻、提取效率高、熱效應(yīng)低從而保證高功率輸出;而腔內(nèi)另一側(cè)將是線偏振光,保證倍頻效率。

        常用的倍頻晶體主要有KTP和LBO,KTP晶體在高功率密度激光的長(zhǎng)期作用下容易產(chǎn)生“灰跡”,影響激光器的穩(wěn)定性,LBO的非線性系數(shù)小于KTP,但有較高的損傷閾值且生產(chǎn)工藝成熟,適合高功率密度下工作。本實(shí)驗(yàn)采用1類相位匹配倍頻晶體LBO,相位匹配角θ=90°、Φ=0°,LBO倍頻晶體需要精確控制其溫度以提高倍頻效率,采用TEC溫控裝置控制溫度保持在148℃,控制精度為0.1℃,圖6為L(zhǎng)BO溫控器。

        圖6 LBO溫控器Fig.6 Temperature control of LBO

        3 激光二極管雙端面泵浦Nd∶YAG倍頻激光器實(shí)驗(yàn)及數(shù)據(jù)分析

        3.1 基頻光實(shí)驗(yàn)及數(shù)據(jù)

        將圖1中的M7鏡片換成1064nm波長(zhǎng)90%反射的輸出鏡,倍頻晶體、被動(dòng)調(diào)Q晶體、M4-M6鏡片去掉,保持腔長(zhǎng)不變,即為L(zhǎng)D雙端面泵浦YAG的基頻光輸出實(shí)驗(yàn)裝置。打開水冷設(shè)備,確保水溫恒定在20℃。用一套電源控制系統(tǒng)控制兩個(gè)泵源的輸出功率,確保兩端注入的泵浦光功率相同,在輸出鏡后面用激光功率計(jì)(中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院的NIM-P1000激光功率計(jì))進(jìn)行輸出功率測(cè)試。測(cè)得的數(shù)據(jù)如表1所示,第一列為半導(dǎo)體激光器電流增加數(shù)據(jù),第二列、第三列分別為在相應(yīng)電流下單端輸出的能量和總的輸出能量,第四列為振蕩激光輸出。

        表1泵浦光電流、單泵源功率、雙泵源功率、激光輸出功率數(shù)據(jù)
        Tab.1 Electricity of pumping light, power of single pumping light, power of single pumping light, power of output laser

        電流/A單泵源功率/W雙泵源功率/W輸出功率/W33.87.60.783.55.110.22.8146.412.84.234.57.7515.55.7659.0518.17.925.510.320.79.79611.623.211.86.512.925.813.8714.228.415.97.515.53117.8816.833.619.18.518.136.221.2919.438.822.3

        根據(jù)表1的數(shù)據(jù)得到雙端面泵浦Nd∶YAG激光器的輸出激光和泵浦光的擬合關(guān)系如圖7所示。可以看出,激光輸出功率與泵浦功率呈線性關(guān)系、均勻增強(qiáng),其對(duì)應(yīng)擬合線性關(guān)系為

        Pout=0.712×Pin-4.756,

        (4)

        在注入總功率為38.8 W時(shí),輸出最大功率為22.3 W,閾值功率為6.68 W,光-光轉(zhuǎn)換斜效率為71.2%,具有極高的轉(zhuǎn)換效率。

        圖7 輸出激光與注入激光關(guān)系曲線Fig.7 Relationship of output power and input power

        采用激光M2測(cè)試儀對(duì)該激光器的輸出光束進(jìn)行了測(cè)試,得到如圖8所示的光斑和M2因子。其輸出激光光束模式為基模,M2因子為1.4,可見采用雙端泵浦方式極高地提升了YAG激光器的輸出光束質(zhì)量。

        圖8 1 064 nm激光光斑分布及M2平方因子Fig.8 Intensity of facula and M2 factor of 1 064 nm wavelength laser

        添加Cr4+∶YAG被動(dòng)調(diào)Q晶體進(jìn)行調(diào)Q后得到脈沖寬度為8.93 ns、頻率為10 kHz的脈沖光輸出,計(jì)算得到脈沖峰值功率高達(dá)250 kW,有利于倍頻效率的提高。圖9為測(cè)量得到的脈沖寬度波形。

        圖9 被動(dòng)調(diào)Q脈沖波形Fig.9 Pulse laser waveform of passive Q-switched

        3.2 倍頻光實(shí)驗(yàn)及數(shù)據(jù)分析

        在基頻光實(shí)驗(yàn)裝置上首先加上偏振片,用功率計(jì)測(cè)試偏振基頻光輸出,得到對(duì)應(yīng)的功率數(shù)據(jù);再加上被動(dòng)調(diào)Q晶體得到脈沖偏振光輸出功率數(shù)據(jù);最后按照?qǐng)D1所示的倍頻結(jié)構(gòu)搭建完整的實(shí)驗(yàn)裝置,測(cè)出綠光輸出功率,圖10為輸出綠光測(cè)試照片。所有的數(shù)據(jù)如表2所示,其中1 064①和1 064②分別表示1 064 nm的自然輸出光和偏振輸出光,QCW表示調(diào)Q后的偏振光,532表示倍頻綠光。

        圖10 倍頻激光輸出照片F(xiàn)ig.10 Picture of intracavity frequency doubling laser

        表2泵浦光電流、LD功率、基頻光、基頻偏振光、調(diào)Q偏振光、倍頻光輸出功率數(shù)據(jù)
        Tab.2 Electricity of pumping light, power of LD, power of fundamental frequency laser, power of fundamental frequency polarized laser, power ofQ-switched polarized laser, power of output laser

        電流/A33.544.555.566.577.588.598087.610.212.815.518.120.723.225.828.43133.636.238.81 064①0.782.814.235.767.929.7911.813.815.917.819.121.222.31 064②002.254.246.588.1610.412.013.013.814.415.215.6QCW0000.352.424.355.516.446.597.327.87.918.2153200001.292.263.203.684.845.616.096.366.72

        圖11為調(diào)Q偏振光與倍頻光的轉(zhuǎn)換效率??偟霓D(zhuǎn)換效率為86%,可以看出在低功率段時(shí)轉(zhuǎn)換效率低于86%,而到高功率段轉(zhuǎn)換效率可達(dá)到90%以上。這是因?yàn)椋?1)采用了雙端泵浦降低晶體熱效應(yīng),提升了基頻光光束質(zhì)量;(2)運(yùn)用1/4波片與偏振片組合結(jié)構(gòu),大大提升了對(duì)YAG晶體內(nèi)儲(chǔ)存能量的提取率、消除空間燒孔效應(yīng),提升了倍頻前基頻光的峰值功率。圖12為總的光-光轉(zhuǎn)換效率,基本成線性,轉(zhuǎn)換效率為26.8%。用M2測(cè)試儀對(duì)倍頻光的光束質(zhì)量進(jìn)行測(cè)試,得到其M2因子為1.35,相比于基頻光,其光束質(zhì)量稍有提高,分析其原因應(yīng)該是調(diào)Q晶體的熱沉小孔相當(dāng)于光闌,過濾了基頻光中的高階模式,使光束質(zhì)量得到了進(jìn)一步提高。

        圖11 調(diào)Q偏振光與綠光轉(zhuǎn)換效率的關(guān)系
        Fig.11 Relationship of output power andQ-switched polarized power

        圖12 光-光總轉(zhuǎn)換效率Fig.12 Total optical-optical conversion efficiency

        圖13 去掉1/4波片后的調(diào)Q偏振光與綠光轉(zhuǎn)換效率Fig.13 Relationship of 532 nm output power and power plate without quarter-wave plate

        圖14 去掉1/4波片后的輸出穩(wěn)定性數(shù)據(jù)Fig.14 Stability of output power without Q-switched polarized quarter-wave

        實(shí)驗(yàn)中為了驗(yàn)證1/4波片與偏振片組合結(jié)構(gòu)對(duì)倍頻轉(zhuǎn)換效率的影響,特地去掉1/4波片,在相同的條件下進(jìn)行了倍頻測(cè)試,結(jié)果如圖13所示。最大輸出功率為5.94 W,轉(zhuǎn)換效率約為69%,有一定的下降。同時(shí)其輸出穩(wěn)定性差。圖14顯示,在24 h內(nèi),輸出功率波動(dòng)幅度較大,波動(dòng)范圍可達(dá)1.04 W。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,1/4波片與偏振片組合結(jié)構(gòu)對(duì)倍頻轉(zhuǎn)換效率與輸出穩(wěn)定性有較大的提升。

        4 結(jié) 論

        結(jié)合Nd∶YAG晶體與端面泵浦的優(yōu)點(diǎn),創(chuàng)新性地提出對(duì)Nd∶YAG晶體進(jìn)行雙端面泵浦的激光器結(jié)構(gòu),結(jié)合晶體傳導(dǎo)冷卻、熱沉通水的冷卻模式,實(shí)現(xiàn)了雙端面泵浦YAG激光器高轉(zhuǎn)換效率輸出。同時(shí)采用1/4波片與偏振片組合結(jié)構(gòu),優(yōu)化了LBO腔內(nèi)倍頻激光器結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)基頻光高提取率、倍頻光高轉(zhuǎn)換率的倍頻激光輸出。在注入功率38.8 W時(shí),獲得22.3 W的高輸出功率、71.2%的高光-光轉(zhuǎn)換效率的基頻光。經(jīng)過調(diào)Q偏振后,實(shí)現(xiàn)QCW偏振光與綠光86%的高倍頻效率。得到光束為基模、M2因子近衍射極限的輸出光束質(zhì)量。該結(jié)構(gòu)倍頻激光器可在體積和能耗上達(dá)到很高的優(yōu)化,為相應(yīng)的激光器實(shí)現(xiàn)小型化、便攜式提供了相應(yīng)的指導(dǎo)。

        參 考 文 獻(xiàn):

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