徐聰，段吉安，唐皓，李帥

亞微米級運(yùn)動(dòng)平臺(tái)結(jié)構(gòu)優(yōu)化及實(shí)現(xiàn)

徐聰1，段吉安1，唐皓1，李帥2

(1. 中南大學(xué)高性能復(fù)雜制造國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，湖南長沙，410083；2. 中南大學(xué)信息工程學(xué)院，湖南長沙，410083)

為實(shí)現(xiàn)一種直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)的亞微米級運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的設(shè)計(jì)，并盡量減小其運(yùn)動(dòng)誤差，采用Simulink?M文件混合仿真的方法，結(jié)合Stribeck摩擦模型，探討運(yùn)動(dòng)平臺(tái)絲杠、同步帶的相關(guān)結(jié)構(gòu)、精度參數(shù)對運(yùn)動(dòng)平臺(tái)精度的影響。通過分析并針對實(shí)際使用的要求，進(jìn)行平臺(tái)最優(yōu)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。使用EMAC200控制器和XL-80激光干涉系統(tǒng)對運(yùn)動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行實(shí)際測試。研究結(jié)果表明：運(yùn)動(dòng)平臺(tái)誤差主要受絲杠導(dǎo)程、同步帶傳動(dòng)比及它們精度的影響；隨著導(dǎo)程減小，傳動(dòng)比增大，精度提高，穩(wěn)態(tài)誤差呈減小趨勢；當(dāng)行程為1 mm時(shí)，穩(wěn)態(tài)誤差在±1.5 μm之內(nèi)，并且可以達(dá)到50 nm的實(shí)際分辨率；通過Simulink?M文件混合仿真方法，可以實(shí)現(xiàn)精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)這種復(fù)雜非線性系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)優(yōu)化，提高系統(tǒng)實(shí)際的定位精度。

精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)；Simulink?M混合仿真；結(jié)構(gòu)優(yōu)化；誤差

隨著超精密加工、半導(dǎo)體、微納制造、光電子通訊技術(shù)的飛速發(fā)展，人們對精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的精度要求越來越高[1?3]。特別是隨著新型大容量、多通道光電子器件的出現(xiàn)，人們對光電子耦合精度要求越來越高[4]。光電子器件耦合精度主要由搭載其運(yùn)動(dòng)的光學(xué)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)決定，作為光電子封裝領(lǐng)域基礎(chǔ)部件，提高運(yùn)動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)精度是提高光電子耦合效率的基礎(chǔ)。為獲得更高的定位精度和分辨率，近年來精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)出現(xiàn)了諸多新型的結(jié)構(gòu)。直線電機(jī)、壓電陶瓷、音圈電機(jī)等驅(qū)動(dòng)方式結(jié)合柔性鉸鏈、氣浮導(dǎo)軌等導(dǎo)向機(jī)構(gòu)將精密運(yùn)動(dòng)推向了一個(gè)新的階段[5?8]。雖然這些新型結(jié)構(gòu)具有分辨率高、零間隙、摩擦小等特點(diǎn)，但由于滾珠絲桿、滾動(dòng)導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡單、系統(tǒng)剛性好，對控制器要求較低，容易實(shí)現(xiàn)魯棒控制，并且技術(shù)成熟、成本低廉，通過適當(dāng)改進(jìn)可以實(shí)現(xiàn)大部分極限定位[9?10]，因此，滾珠絲杠、滾動(dòng)導(dǎo)軌在精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的使用中依然占據(jù)主導(dǎo)地位。為此，本文作者采用同步帶、滾珠絲杠、交叉滾珠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，設(shè)計(jì)一款基于直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，以期實(shí)現(xiàn)亞微米級運(yùn)動(dòng)。精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)主要技術(shù)難點(diǎn)在于如何減少誤差。運(yùn)動(dòng)平臺(tái)幾何誤差可以采用多體系統(tǒng)理論進(jìn)行分析，用特征矩陣表示多體系統(tǒng)中個(gè)體間的相對位置及姿態(tài)，從而完成誤差傳遞分 析[11?12]。但由于存在摩擦、反饋噪聲、傳動(dòng)間隙等非線性因素[13]，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)還存在隨機(jī)動(dòng)態(tài)誤差，它不僅與傳動(dòng)鏈上的各個(gè)零件精度有關(guān)，而且與各個(gè)零件的質(zhì)量、剛性以及尺寸等有關(guān)。若將運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的動(dòng)態(tài)誤差與其結(jié)構(gòu)參數(shù)結(jié)合，探討它們之間的關(guān)系，則可以完成以誤差最小為目標(biāo)的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計(jì)。本文作者采用Simulink?M文件混合仿真方法，對運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的動(dòng)態(tài)誤差與其結(jié)構(gòu)參數(shù)之間的關(guān)系進(jìn)行分析，從而實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)結(jié)構(gòu)優(yōu)化。Simulink是MATLAB中框圖式的仿真環(huán)境，可以快捷地建立系統(tǒng)的傳遞函數(shù)；M文件通過代碼執(zhí)行，可以快速實(shí)現(xiàn)循環(huán)和數(shù)據(jù)處理?；旌戏抡孢^程首先在Simulink中建立系統(tǒng)模型，并通過M文件中相關(guān)函數(shù)設(shè)置Simulink的相關(guān)參量，然后返回Simulink仿真得到穩(wěn)態(tài)誤差，并對不同結(jié)構(gòu)參量所得到的誤差進(jìn)行分析，從而得到它們與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)誤差之間的關(guān)系，達(dá)到運(yùn)動(dòng)平臺(tái)結(jié)構(gòu)優(yōu)化的目的[4]。

1 基于DC驅(qū)動(dòng)的亞微米級運(yùn)動(dòng)平臺(tái)建模

1.1 平臺(tái)結(jié)構(gòu)

本文設(shè)計(jì)的平臺(tái)采用直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)、同步帶、滾珠絲杠傳動(dòng)、交叉滾珠導(dǎo)軌導(dǎo)向結(jié)構(gòu)。絲杠和同步帶傳動(dòng)結(jié)構(gòu)具有較大的傳動(dòng)比，結(jié)合高分辨率的TONIC光柵尺以及直流測速機(jī)，使運(yùn)動(dòng)平臺(tái)具有很高分辨率。采用直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)不僅響應(yīng)快，而且具有更好的低速穩(wěn)定性、更小的震動(dòng)。交叉滾珠導(dǎo)軌代替?zhèn)鹘y(tǒng)的直線導(dǎo)軌，由于減少了滾珠循環(huán)環(huán)節(jié)，因此，阻尼更小，導(dǎo)向精度和剛性更高。整體采用內(nèi)嵌式布局，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)結(jié)構(gòu)更加緊湊，有利于提高多維系統(tǒng)的整體精度。

1.2 運(yùn)動(dòng)平臺(tái)控制方式

運(yùn)動(dòng)平臺(tái)包含位置、速度、電流三環(huán)反饋，見圖1。系統(tǒng)位置反饋采用5 nm分辨率的光柵尺；速度環(huán)反饋使用高分辨率的直流測速機(jī)，電流環(huán)則直接集成在電機(jī)驅(qū)動(dòng)器內(nèi)，由驅(qū)動(dòng)器自行調(diào)整；使用EMAC200作為系統(tǒng)控制器，內(nèi)置PID算法通過PWM對電機(jī)進(jìn)行調(diào)速控制，從而完成運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)控制。

圖1 運(yùn)動(dòng)平臺(tái)控制和傳動(dòng)示意圖

1.3 機(jī)電耦合數(shù)學(xué)模型

對于所研究的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，電機(jī)可以簡化成電阻、電感組成的等效電路。同步帶則可以簡化成2個(gè)具有一定轉(zhuǎn)動(dòng)慣量、阻尼并通過彈簧連接的輪傳動(dòng)系統(tǒng)。滾珠絲杠的轉(zhuǎn)子與螺母之間的連接可以等效為具有一定斜度的兩鍥塊間的彈性阻尼環(huán)節(jié)，見圖2。

圖2 運(yùn)動(dòng)平臺(tái)等效模型

圖2中：d為電動(dòng)機(jī)電樞電感；d為電樞電阻；d為電樞電流；為電動(dòng)機(jī)輸入電壓；1為電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)角；2為大同步帶轉(zhuǎn)角；1和2分別為小、大皮帶輪直徑；1為小帶輪及電機(jī)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)慣量之和；2為大帶輪轉(zhuǎn)動(dòng)慣量；3為絲杠的轉(zhuǎn)動(dòng)慣量；b為皮帶的勁度系數(shù)；sd為絲杠的轉(zhuǎn)動(dòng)阻尼系數(shù)；為平臺(tái)的質(zhì)量；0為運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的摩擦力；s絲杠與螺母間的剛度；為平臺(tái)位移；s為絲杠螺母螺桿間的阻尼系數(shù)。

1.3.1 直流電機(jī)數(shù)學(xué)模型

直流電機(jī)通過改變電樞電壓進(jìn)行轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)。根據(jù)電動(dòng)機(jī)回路電壓方程、轉(zhuǎn)速和電流方程以及系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)方程[14]，可得到直流電機(jī)的機(jī)電耦合方程，然后對其進(jìn)行拉氏變換，得到直流電機(jī)旋轉(zhuǎn)角度與電樞電壓的傳遞函數(shù)為

式中：m為轉(zhuǎn)矩常數(shù)；R為電機(jī)軸上的等效轉(zhuǎn)動(dòng)慣量；R為電機(jī)軸上等效阻尼。

1.3.2 同步帶傳動(dòng)數(shù)學(xué)模型

同步帶建模首先將同步帶轉(zhuǎn)動(dòng)慣量等效到電機(jī)軸上，將其假設(shè)為2個(gè)具有一定預(yù)緊力的彈簧，并進(jìn)行無質(zhì)量化處理。根據(jù)簡化的皮帶模型可得到系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)模型，然后對其進(jìn)行拉氏變換，可得皮帶輪輸出角度和輸入角度的傳遞函數(shù)為

1.3.3 滾珠絲杠傳動(dòng)數(shù)學(xué)模型建立

式中：-f為滾珠絲杠的輸入力矩。

2 基于Simulink?M混合仿真過程

2.1 Simulink?M混合仿真介紹

Simulink是Matlab中框圖式仿真模塊，具有結(jié)構(gòu)清晰、建模迅速等優(yōu)點(diǎn)，但實(shí)現(xiàn)循環(huán)和尋優(yōu)等操作復(fù)雜，執(zhí)行效率低。M文件編程環(huán)境代碼執(zhí)行，對數(shù)據(jù)處理較方便，但程序結(jié)構(gòu)復(fù)雜，對復(fù)雜模型建模較困難[16]。將這兩者結(jié)合起來，首先通過M文件set_param( )函數(shù)設(shè)置Simulink模型中的參數(shù)、sim( )函數(shù)運(yùn)行Simulink函數(shù)仿真，并運(yùn)用Simulink中OUT輸出模塊將穩(wěn)態(tài)誤差輸出到workspace中，運(yùn)用M文件中meshgrid( )函數(shù)生成網(wǎng)格采樣點(diǎn)、surf( )函數(shù)進(jìn)行繪圖，完成穩(wěn)態(tài)誤差與結(jié)構(gòu)參數(shù)的關(guān)系分析，達(dá)到優(yōu)化系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的目的?；赟imulink?M混合仿真示意圖見圖3。

圖3 基于Simulink?M混合仿真示意圖

2.2 STRIBECK摩擦模型

當(dāng)克服靜摩擦力之后，在低速下摩擦力隨著速度的增加而減小[17]，如圖4(a)所示。該模型很好地描述了低速、微動(dòng)摩擦行為。由于Stribeck效應(yīng)的存在，摩擦力將產(chǎn)生不穩(wěn)定效應(yīng)，能夠較好地模擬運(yùn)動(dòng)平臺(tái)微行程時(shí)的摩擦情況。

在Simulink中，設(shè)計(jì)了1個(gè)基于Stribeck摩擦模型的反饋模塊，通過仿真分析得到的摩擦曲線可以很大程度地模擬Stribeck摩擦曲線，如圖4(b)所示。

2.3 絲杠擺動(dòng)誤差和同步帶傳動(dòng)誤差模型

絲桿與同步帶屬于旋轉(zhuǎn)零件，導(dǎo)程和傳動(dòng)比誤均具有一定周期性，其中絲桿的導(dǎo)程誤差由累計(jì)誤差和在絲桿旋轉(zhuǎn)周內(nèi)周期性變化的擺動(dòng)誤差組成，見圖5；同步帶傳動(dòng)比誤差與同步帶輪節(jié)距誤差相關(guān)，也是1個(gè)周期性誤差。

(a) Stribeck摩擦模型；(b) Simulink仿真曲線

在Simulink內(nèi)，使用1個(gè)常數(shù)模塊和正弦模塊之和模擬實(shí)際的絲桿導(dǎo)程、同步帶傳動(dòng)比的誤差。

圖5 絲杠導(dǎo)程誤差

2.4 系統(tǒng)Simulink模型

圖6所示為系統(tǒng)的閉環(huán)Simulink框圖，包含PID控制、式(1)所得到的直流電機(jī)傳遞函數(shù)(電機(jī)參數(shù)由使用條件已經(jīng)確定)、式(2)所得到同步帶傳遞函數(shù)、式(5)所得到絲桿傳遞函數(shù)，結(jié)合誤差干擾、Stribeck摩擦模型等，采用Step模塊模擬系統(tǒng)輸入，Backlash模塊模擬絲桿、同步帶反向間隙。其中，相關(guān)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)參數(shù)如絲杠導(dǎo)程、直徑、精度a、同步帶傳動(dòng)比倒數(shù)、同步帶寬度、同步帶精度a，其值通過M文件設(shè)置(模型中忽略了極小項(xiàng)參數(shù))。圖7所示為Simulink單次階躍仿真結(jié)果，其中，s為穩(wěn)態(tài)誤差，通過M文件計(jì)算穩(wěn)定時(shí)間內(nèi)(100~200 ms)最大位移與最小位移之差而得(在實(shí)際過程中，只通過M文件計(jì)算s，不進(jìn)行階躍響應(yīng)繪圖)。

聯(lián)合仿真過程，首先通過M文件設(shè)置相關(guān)參數(shù)(絲杠導(dǎo)程、直徑、精度a、同步帶傳動(dòng)比倒數(shù)、同步帶寬度、同步帶精度a)，然后將每次仿真生成的誤差通過Simulink中的out模塊輸出到workspace中，最后通過M文件分析數(shù)據(jù)。仿真初始設(shè)定PID參數(shù)和Stribeck模塊中相關(guān)摩擦參數(shù)。在仿真過程中，絲杠導(dǎo)程從1~5 min，直徑從4~8 mm，絲杠精度a從0.001~0.01 mm，同步帶傳動(dòng)比倒數(shù)從0.2~1.0，同步帶寬度從1~10 mm，同步帶精度a從0.002~0.010 mm進(jìn)行線性變化。

圖6 系統(tǒng)Simulink框圖

圖7 運(yùn)動(dòng)平臺(tái)時(shí)域響應(yīng)曲線

3 仿真結(jié)果分析

3.1 穩(wěn)態(tài)誤差與傳動(dòng)鏈參數(shù)的關(guān)系

通過Simulink?M文件的混合仿真，經(jīng)過多次循環(huán)后分別得到運(yùn)動(dòng)平臺(tái)1 mm響應(yīng)下的誤差s與絲桿導(dǎo)程、同步帶傳動(dòng)比倒數(shù)、絲桿精度a、同步帶精度a、絲桿直徑、同步帶寬度的關(guān)系，見圖8。

通過仿真發(fā)現(xiàn)：當(dāng)同步帶傳動(dòng)比倒數(shù)在0.8以上、絲桿導(dǎo)程在3 mm以上時(shí)，系統(tǒng)穩(wěn)態(tài)誤差s基本保持不變；而當(dāng)絲杠導(dǎo)程從3 mm、傳動(dòng)比倒數(shù)從0.8不斷減小時(shí)，穩(wěn)態(tài)誤差s呈現(xiàn)急劇減小趨勢(圖8(a))。

在傳動(dòng)精度影響方面，隨著同步帶精度a、絲杠精度a不斷提高，穩(wěn)態(tài)誤差s不斷減小，但穩(wěn)態(tài)誤差s在絲杠、同步帶為某些特定組合時(shí)有突變，在設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)避免這些區(qū)域(圖8(b))。

通過研究絲杠直徑、同步帶寬度時(shí)發(fā)現(xiàn)：2個(gè)結(jié)構(gòu)對穩(wěn)態(tài)誤差s影響趨勢一致，均是隨著結(jié)構(gòu)的增大，穩(wěn)態(tài)誤差s先增加后減小，在中間處達(dá)到極值。從穩(wěn)態(tài)誤差a的變化可以發(fā)現(xiàn)這2個(gè)結(jié)構(gòu)變化引起的誤差變化非常小(圖8(c))。

(a) 穩(wěn)態(tài)誤差Es與絲杠導(dǎo)程L同步帶傳動(dòng)比倒數(shù)R的關(guān)系；(b) 穩(wěn)態(tài)誤差Es與同步帶傳動(dòng)精度Ra、絲杠精度La的關(guān)系；(c) 穩(wěn)態(tài)誤差Es與絲杠直徑D、同步帶寬度B的關(guān)系

3.2 運(yùn)動(dòng)平臺(tái)誤差敏感性分析

傳動(dòng)鏈誤差敏感性是分析傳動(dòng)鏈誤差來源的重要依據(jù)。優(yōu)化敏感性較高的零件，可以減小系統(tǒng)的整體誤差。選擇合適的結(jié)構(gòu)參數(shù)作為基值，以一定的誤差變化量考察，從而得到結(jié)構(gòu)參數(shù)的變化。定義參數(shù)為誤差敏感性因子，即基值與結(jié)構(gòu)參數(shù)的變化量的比值。通過分析仿真，以2 mm，0.5，0.003 μm，0.005 μm，5 mm和6 mm分別作為絲桿導(dǎo)程、同步帶傳動(dòng)比倒數(shù)、絲桿精度a、同步帶精度a、同步帶寬度、絲杠直徑的基值，以系統(tǒng)1 μm誤差作為變化，得到基值與各結(jié)構(gòu)參數(shù)變化量的比例，見圖9。從圖9可見：同步帶、絲桿的精度對系統(tǒng)整體影響最大，其次是它們的傳動(dòng)比及導(dǎo)程，而絲桿直徑、同步帶寬度對誤差影響最小。因此，采用較大的同步帶傳動(dòng)比、較小的絲桿導(dǎo)程并提高它們的傳動(dòng)精度可以有效地減小運(yùn)動(dòng)平臺(tái)系統(tǒng)的整體誤差。

圖9 誤差敏感性因子

4 實(shí)驗(yàn)測試

通過仿真分析，并結(jié)合結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)要求，最終選擇導(dǎo)程為1 mm、直徑為8 mm、精度等級為C3的滾珠絲桿，傳動(dòng)比為2、寬度為5 mm的高精度同步帶作為運(yùn)動(dòng)平臺(tái)傳動(dòng)部件的最優(yōu)結(jié)構(gòu)，并選擇EMAC200控制器作為運(yùn)動(dòng)平臺(tái)控制器，完成運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的樣機(jī)研制，見圖10。

圖10 運(yùn)動(dòng)平臺(tái)測試圖

實(shí)驗(yàn)測試使用雷尼紹XL-80激光干涉系統(tǒng)。系統(tǒng)由XL-80激光頭、反射分光鏡組、XC-80溫度補(bǔ)償器組成，通過PC機(jī)處理測試，測試結(jié)果如圖11所示。從圖11可見：當(dāng)行程為1 mm時(shí)，定位誤差在±1.5 μm以內(nèi)(圖11(a))；在進(jìn)行50 nm最小行程運(yùn)動(dòng)時(shí)，定位誤差穩(wěn)定在±10 nm以內(nèi)(圖11(b))，滿足實(shí)際需要。通過對運(yùn)動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行1.0 μm和0.1 μm階梯定位測試后發(fā)現(xiàn)，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)在微小行程運(yùn)動(dòng)時(shí)具備較好的定位性能，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)實(shí)現(xiàn)了亞微米級運(yùn)動(dòng)的能力(圖11(c)和圖11(d))。

(a) 1 mm位移測試結(jié)果；(b) 50 nm位移測試結(jié)果；(c) 1 μm階梯定位測試結(jié)果；(d) 0.1 μm階梯定位測試結(jié)果

實(shí)驗(yàn)測試結(jié)果表明：通過優(yōu)化運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的結(jié)構(gòu)，基于DC驅(qū)動(dòng)的光學(xué)精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)可以達(dá)到50 nm的運(yùn)動(dòng)分辨率；系統(tǒng)超調(diào)量明顯偏大，不利于實(shí)際應(yīng)用，后期將結(jié)合軌跡規(guī)劃、模糊PID控制策略等方式實(shí)現(xiàn)無超調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)。

5 結(jié)論

1) 基于Simulink?M文件混合仿真的方法，可以方便地得到基于直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)誤差與傳動(dòng)環(huán)節(jié)的零件誤差、傳動(dòng)比、結(jié)構(gòu)的關(guān)系，從而實(shí)現(xiàn)這種復(fù)雜非線性系統(tǒng)的優(yōu)化設(shè)計(jì)。

2) 同步帶、絲桿的精度對系統(tǒng)整體影響最大，其次是傳動(dòng)比及導(dǎo)程，而絲桿直徑、同步帶寬度對誤差影響最小。采用較大的同步帶傳動(dòng)比、較小的絲桿導(dǎo)程并提高它們的傳動(dòng)精度可以有效地減小運(yùn)動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)誤差。

3) 使用滾珠絲杠、同步帶驅(qū)動(dòng)方式，結(jié)合高分辨率光柵尺、高響應(yīng)直流電機(jī)可以實(shí)現(xiàn)亞微米光學(xué)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的設(shè)計(jì)，而采用Simulink?M文件混合仿真的方法可以實(shí)現(xiàn)基于誤差最小為目標(biāo)的優(yōu)化設(shè)計(jì)。

[1] 陳興林, 劉川, 耿長青, 等. 光刻機(jī)工件臺(tái)直線電機(jī)的完全跟蹤控制[J]. 中南大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版), 2015, 46(9): 3238?3244. CHEN Xinglin, LIU Chuan, GENG Changqing, et al. Perfect tracking control for linear motor in wafer stage of lithography[J]. Journal of Central South University (Science and Technology), 2015, 46(9): 3238?3244.

[2] TEO T J, CHEN I M, YANG G. A large deflection and high payload flexure-based parallel manipulator for UV nanoimprint lithography. Part I: modeling and analyses[J]. Precision Engineering, 2014, 38(4): 861?871.

[3] 陽波, 段吉安. 光電子封裝超精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)末端姿態(tài)調(diào)整[J]. 中南大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版), 2011, 42(5): 1290?1295. YANG Bo, DUAN Jian. Opto-electronics packaging platform for ra-precision position and attitude adjustment[J]. Journal of Central South University (Science and Technology), 2011, 42(5): 1290?1295.

[4] 王興軍, 蘇昭棠, 周治平. 硅基光電子學(xué)的最新進(jìn)展[J]. 中國科學(xué): 物理學(xué)力學(xué)天文學(xué), 2015, 45(1): 014201. WANG Xingjun, SU Zhaotang, ZHOU Zhiping. Recent progress of silicon photonics[J]. Scientia Sinica (Physica, Mechanica & Astronomica), 2015, 45(1): 014201.

[5] 張剛, 劉品寬, 張波, 等. 直線電機(jī)精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)軌跡跟蹤控制器設(shè)計(jì)[J]. 光學(xué)精密工程, 2013, 21(2): 371?379. ZHANG Gang, LIU Pinkuang, ZHANG Bo, et al. Design of trajectory tracking controller for precision position table driven by linear motor[J]. Optics and Precision Engineering, 2013, 21(2): 371?379.

[6] CHU C L, FAN S H. A novel long-travel piezoelectric-driven linear nanopositioning stage[J]. Precision Engineering, 2006, 30(1): 85?95.

[7] CHEN Qiming, LI Liyi, WANG Mingyi, et al. The precise modeling and active disturbance rejection control of voice coil motor in high precision motion control system[J]. Applied Mathematical Modelling, 2015, 39(19): 5936?5948.

[8] ZHANG Deyuang, Lü Jianlu, JIANG Y, et al. A piezoelectric microvalve with a flexure-hinged driving frame and micro fabricated silicon sealing pair[J]. Mechatronics, 2014, 24(5): 511?518.

[9] FUKADA S, FANG B, SHIGENO A. Experimental analysis and simulation of nonlinear microscopic behavior of ball screw mechanism for ultra-precision positioning[J]. Precision Engineering, 2011, 35(4): 650?668.

[10] PAWE?KO P, BERCZY?SKI S, GRZ?DZIEL Z. Modeling roller guides of preload[J]. Archives of Civil and Mechanical Engineering, 2014, 14(4): 691?699.

[11] TIAN Wenjie, GAO Weiguo, ZHANG Dawei, et al. A general approach for error modeling of machine tools[J]. International Journal of Machine Tools & Manufacture, 2014, 79(4): 17?23.

[12] SRIVASTAVA A K, VELDHUIS S C, ELBESTAWIT M A. Modeling geometric and thermal errors in a five-axis cnc machine tool[J].International Journal of Machine Tools and Manufacture, 1995, 35(9):1321-1337.

[13] FUTAMI S, FURUTANI A, YOSHIDA S. Nanometer positioning and its micro-dynamics[J]. Nanotechnology, 1998, 1(1): 31?37.

[14] ZEINA B, SAMIH A J, IMAD K. Modeling and simulation of series DC Motors in electric car[J]. Energy Procedia, 2014, 50: 460?470.

[15] MAEDA G J, SATO K. Practical control method for ultra-precision positioning using a ball screw mechanism[J]. Precise Engineering, 2008, 32(4): 309?318.

[16] 王玥, 王小旭, 吳石雨, 等. 基于Simulink?M文件混合編程方法的飛行器推力方案優(yōu)化[J]. 北京理工大學(xué)學(xué)報(bào), 2009, 29(10): 847?849. WANG Yue, WANG Xiaoxu, WU Shiyu, et al. Aircraft thrust scheme optimization hybrid program based on Simulink?M[J]. Transactions of Beijing Institute of Technology, 2009, 29(10): 847?849.

[17] DE WIT C C, OLSSON H, ASTROM K J, et al. A new model for control of system with fiction[J]. IEEE Transactions on Automatic Control, 1995, 40(3): 419?425.

(編輯 陳燦華)

Structure optimization and achievement of sub-micron optical motion platform

XU Cong1, DUAN Jian1, TANG Hao1, LI Shuai2

(1. State Key Laboratory of High Performance and Complex Manufacturing, Central South University, Changsha 410083, China; 2. School of Information Science and Engineering, Central South University, Changsha 410083, China)

In order to design a sub-micro platform driven by DC motor and reduce its motion errors as much as possible, an method which was based on hybrid simulation by Simulink?M and a stribeck friction model, the impact of ball screw and synchronous belt on the motion error was analyzed. The structure was optimized based on the analysis results and the demand. The motion platform was tested with the EMAC 200 controller and XL-80 laser interferometer system. The results show that the motion error is mainly affected by the ball screw’s lead, synchronous belt’s transmission ratio and their accuracy. Error will reduce when the lead decreases, ratio increases as well as their accuracy is improved. The error is within ±1.5 μm when the displacement is 1 mm and a 50 nm actual resolution can be achieved for this platform. The high-precision motion platform, as a complex nonlinear system, can be optimized based on hybrid simulation by Simulink?M.

precision motion platform; hybrid simulation by Simulink?M; structure optimization; error

TN252

A

1672?7207(2018)01?0080?07

10.11817/j.issn.1672-7207.2018.01.011

2017?03?10；

2017?05?21

國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(50975293)；中南大學(xué)研究生自主探索創(chuàng)新項(xiàng)目(2016zzts290) (Project(50975293) supported by the National Natural Science Foundation of China; Project(2016zzts290) supported by the Postgraduate Exploratory and Innovative Program of Central South University)

段吉安，教授，博士生導(dǎo)師，從事光電子器件制造技術(shù)與裝備、機(jī)械設(shè)計(jì)理論與方法、精密運(yùn)動(dòng)控制研究；E-mail: duanjian@csu.edu.cn