本發(fā)明提供了一種電子級(jí)多晶硅的制備方法。該制備方法包括：將三氯氫硅液體和/或氯硅烷液體進(jìn)行提純，得到三氯氫硅，氯硅烷液體包括三氯氫硅；及采用氫氣與三氯氫硅進(jìn)行還原反應(yīng)，得到電子級(jí)多晶硅，提純步驟包括：對(duì)三氯氫硅液體和/或氯硅烷液體進(jìn)行第一精餾過程，得到三氯氫硅粗產(chǎn)品；將三氯氫硅粗產(chǎn)品與絡(luò)合劑發(fā)生絡(luò)合反應(yīng)，以使三氯氫硅粗產(chǎn)品中的雜質(zhì)轉(zhuǎn)化為絡(luò)合物，得到中間產(chǎn)物，其中雜質(zhì)包括B、P和Fe、Al組成的組分中的一種或多種；及將中間產(chǎn)物進(jìn)行第二精餾過程，以去除絡(luò)合物，得到三氯氫硅。將純度較高的三氯氫硅原料與氫氣發(fā)生還原反應(yīng)，得到電子級(jí)多晶硅。上述制備方法的工藝流程成熟簡(jiǎn)單，具有能耗低、產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。公開/公告號(hào)：CN108467042A 申請(qǐng)/專利權(quán)人：中國恩菲工程技術(shù)有限公司