記者 張小妹

MEMS中試平臺：破解中小企業(yè)創(chuàng)新難題

記者 張小妹

納米技術已經(jīng)逐漸融入到我們的日常生活中了？沒錯，你知道嗎，女生平時使用的防曬霜，開車族經(jīng)常關注的汽車輪胎，時尚潮流的虛擬現(xiàn)實，這些都是納米技術的功勞。

事實上，我們所認識的納米產(chǎn)業(yè)，大多只是局限于納米材料，其實，納米產(chǎn)業(yè)涉及的范圍十分廣闊，還包括微納制造、智慧健康、智能制造等等各方面。

產(chǎn)業(yè)發(fā)展的支撐服務平臺

納米產(chǎn)業(yè)作為蘇州工業(yè)園區(qū)長期戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)，微納制造作為納米產(chǎn)業(yè)的重要領域之一，一直是園區(qū)重點發(fā)展領域。但是，由于微納制造設備投入巨大，運行維護花費大，中小型MEMS公司往往很難承受。而MEMS領域的代工廠和大封裝廠門檻較高，加上我國MEMS產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新鏈不完善，缺乏工業(yè)級中試線的支撐，科研團隊在研發(fā)做出樣品后又無法直接進入代工廠，中小MEMS企業(yè)難以實現(xiàn)漸進式的規(guī)?；砷L。

為了解決中小MEMS企業(yè)創(chuàng)新面臨的產(chǎn)品工程化研發(fā)中試困境，支撐中小MEMS企業(yè)和產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展，按照蘇州工業(yè)園區(qū)管委會戰(zhàn)略部署，蘇州納米科技發(fā)展有限公司于2014年9月建成6英寸微納機電制造（MEMS）中試平臺，并專門成立了蘇州納米產(chǎn)業(yè)技術研究院有限公司微納制造分公司，負責平臺運營。

江蘇?。ㄌK州）納米產(chǎn)業(yè)技術研究院副院長，也是蘇州工業(yè)園區(qū)納米產(chǎn)業(yè)技術研究院有限公司微納制造分公司的研發(fā)總監(jiān)王敏銳博士參與了平臺的早期籌備工作。他告訴記者，早在2012年，平臺就開始策劃籌備了，2014年通線成功。該平臺是我國首個按照市場化、全開放模式運營的MEMS中試平臺，與科研機構的概念驗證、樣品研發(fā)試驗不同，平臺主要開展工程化中試和中小批量生產(chǎn)服務，前端與產(chǎn)品樣品研發(fā)銜接，后端與規(guī)?；こ蹄暯?，是一個完全工業(yè)級別的中試線。

平臺的建成填補了我國MEMS產(chǎn)業(yè)研發(fā)機構與規(guī)模化工廠之間的空白，構建了我國MEMS產(chǎn)業(yè)領域“研發(fā)—中試—規(guī)模生產(chǎn)”的完整產(chǎn)品創(chuàng)新技術支撐體系。

如今，平臺跟眾多企業(yè)和科研院合作，共同研發(fā)成功多種重要的MEMS產(chǎn)品技術平臺和特種設備。目前已成功導入應用于移動通訊、消費電子、汽車電子、醫(yī)療器材、國防軍工等諸多領域的硅麥克風芯片、壓力傳感芯片、紅外溫度傳感芯片、微掃描鏡芯片等產(chǎn)品，極大的支撐推動了相關MEMS企業(yè)的產(chǎn)品創(chuàng)新和發(fā)展。

MEMS產(chǎn)業(yè)集群，一起狂歡

MEMS作為蘇州工業(yè)園區(qū)的優(yōu)勢產(chǎn)業(yè)領域，也是蘇州納米城聚焦推動的重點領域。經(jīng)過多年的產(chǎn)業(yè)布局和運作，目前蘇州工業(yè)園區(qū)MEMS產(chǎn)業(yè)的集群效應逐漸顯現(xiàn)，形成了MEMS傳感器的芯片設計、研發(fā)、中試、封裝測試的全覆蓋的產(chǎn)業(yè)特色，涌現(xiàn)了晶方半導體、敏芯、明皜等一批國內(nèi)前十的知名企業(yè)，吸引了一大批海內(nèi)外MEMS專家來園區(qū)創(chuàng)業(yè)和工作。

平臺的投入運行極大的降低了MEMS產(chǎn)業(yè)進入門檻和投資成本，為初創(chuàng)企業(yè)的發(fā)展提供了絕好的機會。促進更多的MEMS相關高端人才和項目聚集園區(qū)，壯大MEMS產(chǎn)業(yè)規(guī)模。平臺還為投資機構提供了挖掘MEMS高端優(yōu)質(zhì)項目的舞臺，有利于提高項目投資針對性。產(chǎn)業(yè)諸要素的不斷聚集和有機結合，促進園區(qū)包括MEMS產(chǎn)業(yè)在內(nèi)的納米產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，預計未來10年將逐步發(fā)展成為1000億元的產(chǎn)業(yè)規(guī)模。

平臺打通了中MEMS產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新鏈，也誕生了 一個中國MEMS產(chǎn)業(yè)領域全新的品牌——MEMSRIGHT。目前，MEMSRIGHT服務客戶達300家，遍及江蘇、北京、上海乃至加拿大、美國、荷蘭等地，與世界知名MEMS研發(fā)、設計、封裝公司建立了合作關系。

在國際納米產(chǎn)業(yè)峰會上，曾有專家做出評判，蘇州的納米產(chǎn)業(yè)極巨潛力，甚至超過了北京、上海和深圳等一線創(chuàng)新城市，甚至美國國會舉行的針對中國新興技術發(fā)展的聽證會上，專門分析了蘇州的納米產(chǎn)業(yè)發(fā)展狀況。總體上，園區(qū)MEMS微納制造產(chǎn)業(yè)屬于發(fā)展迅速新興產(chǎn)業(yè)，行業(yè)正處于產(chǎn)業(yè)爆炸性增長的前期，極具前景。同時，行業(yè)人才匱乏問題也日漸顯現(xiàn)和需求迫切。

“發(fā)展MEMS產(chǎn)業(yè)，既要看清楚又是，又要找準自身的不足。成立中試平臺只是蘇州MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展的新起點，要構筑MEMS產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈，還需要全國的產(chǎn)業(yè)資源，來突破資源限制、人才限制、技術限制?！蓖趺翡J認為。

創(chuàng)新不是喊口號，我們又有新動作

近日，蘇州納米科技發(fā)展有限公司又牽頭籌建江蘇省微納制造業(yè)創(chuàng)新中心，未來這家創(chuàng)新中心將落地在蘇州納米城內(nèi)，預計，中心將引領整個行業(yè)有深刻影響的產(chǎn)品和共性技術的創(chuàng)新發(fā)展。

中心針對未來3～8年將產(chǎn)生重大影響的目標產(chǎn)品的共性技術進行研發(fā)，同時構建技術創(chuàng)新鏈和產(chǎn)業(yè)鏈。一旦共性技術完成，結合各個單位原本擁有的特殊技術，就可以差異化產(chǎn)品，形成共性技術共享、共贏的核心產(chǎn)業(yè)生態(tài)體系。

“這是相對核心的產(chǎn)業(yè)生態(tài)體系，在這個生態(tài)體系的外面，還有一個更大的生態(tài)體系——中國半導體行業(yè)協(xié)會?！边@是MEMS領域國內(nèi)唯一的行業(yè)協(xié)會，納入了包括MEMS產(chǎn)品應用企業(yè)、MEMS芯片、器件封裝、專用處理電路、信號智能處理和設備的公司，納米公司既是協(xié)會的發(fā)起單位，也是秘書長單位。行業(yè)的快速發(fā)展，造就了協(xié)會生態(tài)體系的快速發(fā)展，中國半導體行業(yè)協(xié)會理事長曾經(jīng)開玩笑稱，中國半導體協(xié)會MEMS分會已經(jīng)有300多家會員單位，比協(xié)會里其他分會的所有會員加起來都還多。

在整個產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新領域，王敏銳談了自己的看法。他認為，高科技產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，存在一定的不確定性，大家都是在探索，這跟傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)梯度轉移的過程不同。同時，高科技產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新一旦突破，產(chǎn)業(yè)將具備的很強的爆發(fā)性和顛覆性，甚至會引起相對應的整個傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的滅亡。王敏銳給我們舉了一個例子，硅麥克風的出現(xiàn)和規(guī)模化生產(chǎn)應用，傳統(tǒng)的駐極體麥克風企業(yè)80%以上倒閉，全行業(yè)岌岌可危。

在他看來，進入“無人區(qū)”的產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新是逐步積累的過程，需要漫長的沉淀。從歷程來看，需要經(jīng)歷緩慢起步和快速增長的過程，對于蘇州來說，如果要在戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新方面有所作為，特別是在市場還不能充分發(fā)揮資源支配作用的戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)，離不開政府的大力支持和引導。一定要認準方向、科學布局、持續(xù)投入、有所作為，快速構建完善的產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新支撐體系，聚集產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新諸要素，形成產(chǎn)業(yè)技術創(chuàng)新鏈、產(chǎn)業(yè)鏈和生態(tài)圈，加快實現(xiàn)戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)的突破性發(fā)展。