MEMS微傳感器應(yīng)用基礎(chǔ)研究專欄組稿專家簡介(一)

馬炳和(1972-)，男，河北辛集人，西北工業(yè)大學(xué)教授、博士生導(dǎo)師，中青年科技創(chuàng)新領(lǐng)軍人才(科技部)?，F(xiàn)任陜西省微/納米系統(tǒng)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室副主任、機(jī)電學(xué)院副院長。主要從事微納機(jī)電系統(tǒng)與特種微傳感器技術(shù)研究。馬炳和主持承擔(dān)了國家自然科學(xué)基金、863計(jì)劃重點(diǎn)項(xiàng)目、國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)任務(wù)、中航產(chǎn)學(xué)研創(chuàng)新工程、陜西省創(chuàng)新戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)重大新產(chǎn)品等科研項(xiàng)目。馬炳和及團(tuán)隊(duì)在微型傳感器設(shè)計(jì)制造、先進(jìn)流動(dòng)測控微系統(tǒng)領(lǐng)域作出了重要?jiǎng)?chuàng)新貢獻(xiàn)。研究開發(fā)出全柔性熱膜傳感器、浮動(dòng)電容式剪應(yīng)力傳感器、底層隔板、高溫溫度及剪應(yīng)力傳感器等，研制出國際首臺(tái)流體壁面剪應(yīng)力(摩阻應(yīng)力)測試儀。獲得國家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)2項(xiàng)，發(fā)表論文90多篇，授權(quán)專利十幾項(xiàng)。

馬炳和所在的微/納米系統(tǒng)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室是我國起步較早的微機(jī)電系統(tǒng)研究與人才培養(yǎng)的重要基地。以面向航空、航天、航海國家重大需求的微納系統(tǒng)及相關(guān)科學(xué)技術(shù)研究為特色，主要包括航空航天微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)、微納器件設(shè)計(jì)制造、微納功能結(jié)構(gòu)等研究方向。實(shí)驗(yàn)室具備一流研究條件，在微納機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計(jì)、制造和自主研發(fā)方面有雄厚實(shí)力。