亚洲免费av电影一区二区三区,日韩爱爱视频,51精品视频一区二区三区,91视频爱爱,日韩欧美在线播放视频,中文字幕少妇AV,亚洲电影中文字幕,久久久久亚洲av成人网址,久久综合视频网站,国产在线不卡免费播放

        ?

        光罩清洗的流程以及優(yōu)化

        2017-04-20 10:55:57肖林峰
        科技創(chuàng)新導(dǎo)報(bào) 2016年36期

        肖林峰

        摘 要:光罩清洗的流程以及優(yōu)化,需要在實(shí)際生產(chǎn)運(yùn)用中來(lái)完善,要保證在不影響清洗能力的情況下來(lái)優(yōu)化各個(gè)工藝參數(shù),在各種工藝清洗時(shí)的時(shí)間和MASK Stage的轉(zhuǎn)速來(lái)縮短清洗光罩的時(shí)間,而這個(gè)參數(shù)需要在不斷地實(shí)驗(yàn)中完善。該文針對(duì)目前液晶面板在正常生產(chǎn)的過(guò)程中光罩(MASK)日常清洗的流程及工藝,介紹了目前光罩清洗機(jī)中使用的幾種主要的清洗工藝,清洗光罩時(shí)需根據(jù)不同原因來(lái)選擇所需要的工藝來(lái)清洗,以及對(duì)清洗工藝的優(yōu)化。

        關(guān)鍵詞:光罩 光罩清洗機(jī) 曝光機(jī)

        中圖分類(lèi)號(hào):TB490 文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼:A 文章編號(hào):1674-098X(2016)12(c)-0091-02

        1 清洗MASK的類(lèi)別

        1.1 拆包清洗

        在首次光罩到廠(chǎng)后進(jìn)行,要將光罩從光罩盒中取出,并進(jìn)行檢查確認(rèn),若檢查沒(méi)有問(wèn)題再使用正常的清洗工藝清洗,清洗后放置于MASK Stocker內(nèi),以備使用。

        1.2 日常清洗

        在產(chǎn)線(xiàn)切換產(chǎn)品或者連續(xù)生產(chǎn)達(dá)到一定數(shù)量時(shí),為了防止光罩被污染而產(chǎn)生MASK共通缺陷,需要對(duì)光罩進(jìn)行清洗。主要是因?yàn)橐壕a(chǎn)中所使用的光阻特性,有的光阻比較容易揮發(fā)產(chǎn)生升華物滴落在基板的表面,在基板進(jìn)入曝光機(jī)曝光時(shí)由于曝光的GAP較小,從而部分升華物會(huì)接觸到光罩表面,產(chǎn)生MASK共通缺陷,而使生產(chǎn)出的產(chǎn)品在相同的位置有著同樣的不良缺陷。

        1.3 出現(xiàn)MASK共通時(shí)清洗

        特別是接近式曝光機(jī),曝光時(shí)光罩與玻璃基板的GAP較小,曝光時(shí)的GAP可能只有100~200 μm(如圖1所示)。如果基板上有光阻或其他異物,有可能在曝光時(shí)將異物粘到光罩上或者異物有可能會(huì)刮傷光罩,從而導(dǎo)致生產(chǎn)的產(chǎn)品在每個(gè)panel的相同位置產(chǎn)生同樣的缺陷;潔凈房的潔凈度和人員出入設(shè)備也有可能會(huì)引起發(fā)塵而污染光罩。

        2 MASK清洗的流程

        在從曝光機(jī)卸載下MASK之后,通過(guò)MASK臺(tái)車(chē)送至光罩清洗室準(zhǔn)備進(jìn)行清洗。首先需要確認(rèn)光罩清洗機(jī)的工作狀態(tài),確認(rèn)藥劑Tank的溫度以及藥劑是否足夠等,然后再將MASK CASE從臺(tái)車(chē)送入光罩清洗機(jī),選擇適當(dāng)?shù)那逑垂に囘M(jìn)行清洗作業(yè)。

        光罩在光罩清洗機(jī)內(nèi)清洗主要流程:正面清洗、背面清洗(膜面)以及檢查3個(gè)步驟,可以根據(jù)清洗的不同原因通過(guò)工藝編輯更改清洗的順序。

        光罩的正面和背面清洗主要包括純水沖洗、毛刷和洗劑清洗、毛刷和純水清洗、超聲波清洗以及氮?dú)飧稍镞@幾個(gè)步驟,每個(gè)步驟MASK Stage都會(huì)按照設(shè)定的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)(如圖2所示)。而且為了防止在清洗時(shí),正面洗過(guò)的液體流向背面,在清洗時(shí)所有步驟都會(huì)使用位于MASK Stage下方的噴淋口,使用純水對(duì)光罩的下面進(jìn)行純水的噴淋作業(yè)。

        3 MASK清洗的工藝

        光罩在光罩清洗機(jī)內(nèi)清洗時(shí),主要流程是純水沖洗、毛刷和洗劑清洗、毛刷和純水清洗、超聲波清洗以及氮?dú)飧稍?,在這清洗的每道工序進(jìn)行的時(shí)候,MASK Stage都會(huì)按照設(shè)定的轉(zhuǎn)速一直旋轉(zhuǎn),以達(dá)到可以整面清洗的目的,下面分別介紹主要清洗的工藝。

        3.1 毛刷清洗(純水、藥液)

        MASK在光罩清洗機(jī)內(nèi)清洗時(shí),主要是依靠毛刷進(jìn)行清潔光罩表面的臟污。毛刷需要采用吸水性、恢復(fù)性、耐磨性、耐腐蝕性等方面都較出色的材料制成的盤(pán)刷,在毛刷回轉(zhuǎn)速時(shí),毛刷外周的接觸面積較大,可以有效提高清洗效果。在清洗光罩時(shí),可以通過(guò)設(shè)定毛刷的轉(zhuǎn)速以及毛刷的壓入量來(lái)改善清洗效果。

        3.2 超聲波清洗(MS清洗)

        正常清洗時(shí),毛刷配合藥液清洗之后會(huì)使用超聲波和純水共同清洗來(lái)去除微細(xì)顆粒。超聲波Shower通過(guò)設(shè)定輸出功率來(lái)變更清洗能力。在MS清洗模塊固定不動(dòng)的情況下,有效的清洗面積比較小,但通過(guò)MASK Stage的自旋轉(zhuǎn),以及MS清洗模塊的來(lái)回移動(dòng)可以將光罩的整面都覆蓋。

        3.3 氮?dú)猓∟2)干燥

        在光罩清洗結(jié)束之后,MASK Stage會(huì)慢慢加速旋轉(zhuǎn),當(dāng)達(dá)到一定速度時(shí)會(huì)保持一個(gè)恒定的轉(zhuǎn)速,同時(shí),氮?dú)飧稍锕軙?huì)慢慢移動(dòng)到光罩中心位置正上方,與光罩下方的氮?dú)鈿夤芡瑫r(shí)向光罩吹氣,通過(guò)離心力的作用,將光罩表面的液體吹出表面以達(dá)到干燥效果。

        4 MASK清洗的流程優(yōu)化

        在初次清洗光罩建立清洗工藝的時(shí)候,清洗光罩順序的選擇:先清洗光罩的反面再清洗光罩的正面,清洗完畢后進(jìn)行檢查確認(rèn);但在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中發(fā)現(xiàn)這樣的清洗步驟會(huì)多一次光罩翻轉(zhuǎn),而光罩翻轉(zhuǎn)是不必要的時(shí)間,所以清洗光罩時(shí)將清洗光罩的順序變更為先清洗光罩的正面再清洗光罩的反面,可以節(jié)約一次翻轉(zhuǎn)光罩的時(shí)間。

        正常清洗時(shí),還可以通過(guò)提高毛刷的轉(zhuǎn)速和毛刷的壓入量、MASK Stage的轉(zhuǎn)速來(lái)達(dá)到提高清洗效果的目的。光罩污染主要是針對(duì)與生產(chǎn)基板接近的膜面(光罩的反面),所以,在清洗光罩時(shí)使用的清洗工藝可以大大減少對(duì)于光罩正面的清洗時(shí)間而稍微增加光罩(光罩的反面)膜面的清洗時(shí)間。

        5 結(jié)語(yǔ)

        當(dāng)然,采用接近式曝光機(jī),產(chǎn)生MASK共通的幾率要遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于掃描式曝光機(jī),而曝光機(jī)整體的潔凈度更是可以影響清洗光罩的頻度,所以液晶生產(chǎn)中清洗光罩的時(shí)間,不僅僅要對(duì)清洗的工藝進(jìn)行優(yōu)化,也要對(duì)潔凈室的環(huán)境進(jìn)行定期檢測(cè),以保證潔凈度可以達(dá)到相應(yīng)的要求。

        參考文獻(xiàn)

        [1] 翁壽松.下一代光刻技術(shù)的設(shè)備[J].電子工業(yè)專(zhuān)用設(shè)備,2004,33(10):35-38.

        [2] 吳洋洋,倪俊芳.玻璃微流路芯片加工工藝研究[J].蘇州大學(xué)學(xué)報(bào):工科版,2009,29(1):45-48.

        五月综合激情婷婷六月| av蓝导航精品导航| 热久久这里只有| 亚洲两性视频一三区| 99国产精品无码专区| 亚洲国产免费一区二区| 青青视频在线播放免费的| 日本办公室三级在线观看| 激情久久黄色免费网站| 中文字幕漂亮人妻在线| 国产精品无码无卡无需播放器 | 国产真实强被迫伦姧女在线观看| 国产亚洲av手机在线观看| 久久精品国产99久久丝袜| 亚洲中文字幕乱码一二三区| 青青草视频在线播放81| 中文字幕成人精品久久不卡91| 手机久草视频福利在线观看 | 亚洲中文字幕高清在线视频一区 | 亚洲桃色视频在线观看一区| 国产精品无码无在线观看| 国产成人无码免费视频在线 | 全免费a级毛片免费看无码| 五月综合激情婷婷六月色窝| 一本到无码AV专区无码| 99久久亚洲精品加勒比| 国产一区二区亚洲一区| 日本精品一区二区三区福利视频| 人妻少妇乱子伦无码视频专区| 亚洲人成影院在线观看| 波多野结衣中文字幕久久| 国产啪精品视频网站免| 麻豆成人久久精品二区三区免费| 18禁在线永久免费观看| 亚洲愉拍99热成人精品热久久| 人妻精品无码一区二区三区| 亚洲成AV人片在一线观看| 亚洲女同性恋第二区av| 无码人妻精品中文字幕| 亚洲国产成人精品无码区二本| 成人激情四射网|