摘 要：高純安全系統(tǒng)特氣柜主要用于電子、化工、制藥等生產(chǎn)線上。文章對高純安全系統(tǒng)特氣柜進(jìn)行了設(shè)計(jì)，主要包括氣路主系統(tǒng)、抽真空系統(tǒng)、吹掃供氣系統(tǒng)、柜體設(shè)計(jì)等。

關(guān)鍵詞：高純安全系統(tǒng)；特氣柜機(jī)械系統(tǒng)；設(shè)計(jì)