摘 要：半導體激光器是目前使用頻率最高的一種激光器，隨著其應用的不斷擴展，對其光束質(zhì)量的要求也越來越高，而其光束的發(fā)散角是評價光束質(zhì)量的一個重要指標。文章提出的利用雙探頭測量激光發(fā)散角的方法，基于目前國內(nèi)外一些測量方法的基礎上做出改進，經(jīng)實際試驗驗證，測試精度有了很大的提高。

關鍵詞：遠場發(fā)散角；雙探頭；高斯光束

1 概述

半導體激光器發(fā)散角的測量一直是國內(nèi)外科研工作者關注的重點，并取得了一定的成就。文章提出的雙探頭激光發(fā)散角的測量方法，是通過直接檢測光斑邊界點的方法測量發(fā)散角，步進電機帶動光電探測器進行光強檢測，找出光斑的最大光強值作為中心點，光強降低到中心點的1/e2定義確定光斑截面邊界點，以此為標準檢測出光斑邊界點，通過對邊界點的擬合得到光斑橢圓方程，進而計算出發(fā)散角。