楊 輝

（中航工業(yè)北京航空精密機械研究所，北京 100076）

光學(xué)表面制造技術(shù)，特別是中大口徑光學(xué)元件的加工，由于其材料的特性和光學(xué)本身對精度要求的嚴格性，導(dǎo)致了其幾個世紀以來發(fā)展緩慢，且嚴重依賴操作者的經(jīng)驗和技巧。傳統(tǒng)光學(xué)加工技術(shù)是在17世紀牛頓開發(fā)的平、球面鏡加工技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來的，基本原理是磨具與鏡面在全口徑范圍接觸下的相對研磨和拋光，其加工效率低、加工周期長、質(zhì)量不穩(wěn)定，且難以加工相對孔徑大于1∶2的鏡面。這種加工工藝不苛求加工設(shè)備本身的精度（此時機床只是起到運動傳遞的作用），而更多地依賴于人工經(jīng)驗，被稱為非確定性超精密加工工藝。

隨著現(xiàn)代科技的發(fā)展，由于光學(xué)元件幾何尺度的極端性、材料的多樣性、形面的復(fù)雜性使傳統(tǒng)的非確定性超精密加工工藝和設(shè)備已不能適應(yīng)現(xiàn)代光學(xué)元件加工的需求。隨著機床功能部件精度的提高以及計算機控制技術(shù)的發(fā)展，確定性超精密加工工藝和加工設(shè)備的出現(xiàn)有效地解決了上述問題。當(dāng)今主流的超精密加工設(shè)備主要是指確定性超精密加工設(shè)備，按照設(shè)備精度、加工方式和加工工藝分可以分為以下兩大類，這兩類設(shè)備采用不同的超精密工藝都能達到亞微米或更高的零件精度。

第一類是指利用軌跡可控的刀具（如單晶金剛石刀具、砂輪等），以極高的空間運動精度完成具有光學(xué)元部件的加工，典型的設(shè)備如單點金剛石超精密車床、超精密銑床、超精密磨床等，這類超精密加工設(shè)備的主軸及導(dǎo)軌均采用液體靜壓或空氣靜壓軸承，一般主軸回轉(zhuǎn)精度小于0.1μm，導(dǎo)軌運動直線度0.1～0.3μm/300mm，運動分辨率可達到1nm，此類設(shè)備也可稱為運動復(fù)印型設(shè)備，即將設(shè)備的運動精度復(fù)制到被加工工件上。需要通過控制影響部件精度的各因素才能達到超精密數(shù)控機床最終的精度，而這些影響因素通常要求做到極限：如機床的機械功能部件、機床位置檢測反饋系統(tǒng)、伺服運動控制系統(tǒng)以及設(shè)備總體等必須具有極高的精度、極好的動靜態(tài)特性、極高的數(shù)據(jù)處理和實時控制能力、極高的穩(wěn)定性、極嚴格的環(huán)境要求等。

第二類是指基于計算機控制光學(xué)表面成型技術(shù)（Computer Controlled Optical Surfacing，CCOS）的超精密加工設(shè)備，這類超精密加工設(shè)備與第一類相比精度要求較低，主軸及導(dǎo)軌一般均采用機械滾動軸承，運動精度及定位精度均在0.01mm量級，典型的基于CCOS的超精密研拋設(shè)備包括小磨頭拋光設(shè)備、應(yīng)力盤拋光設(shè)備、氣囊拋光設(shè)備、磁流變拋光設(shè)備、離子束拋光設(shè)備等[1]。在此類設(shè)備進行的超精密加工工藝是隨著測量測試、計算機控制等先進技術(shù)的發(fā)展，從20世紀70年代開始相繼發(fā)展的用數(shù)學(xué)模型描述工藝過程、以計算機數(shù)控技術(shù)為主導(dǎo)的先進光學(xué)制造技術(shù)，其原理是利用可控的去除函數(shù)，在相對確定的位置進行確定量的材料去除，從而得到高精度高表面質(zhì)量的產(chǎn)品。

上述兩類設(shè)備構(gòu)成了當(dāng)今通用超精密數(shù)控加工設(shè)備的主體，也代表了一個國家超精密加工技術(shù)研究和應(yīng)用的水平。通用精密加工設(shè)備一般由各大機床制造廠商提供貨架式商品，用戶根據(jù)加工需求進行選擇訂購。如果用戶有特殊加工需求，如加工件的規(guī)格尺寸、材料、工藝等方面的特殊要求，可以由機床廠商為之量身設(shè)計制造專用設(shè)備，對于超精密加工設(shè)備也有類似情況。與精密加工設(shè)備相比，生產(chǎn)通用性超精密加工設(shè)備的廠商較少，在全世界范圍內(nèi)僅有幾十家，大部分集中在美國、歐洲和日本。而到目前為止，國內(nèi)還沒有一家專業(yè)化超精密加工設(shè)備生產(chǎn)廠商。美國Moore公司、Precitech公司等生產(chǎn)的超精密切削設(shè)備，SatisLoh公司、Optech公司生產(chǎn)的光學(xué)銑、磨、拋設(shè)備等都屬于通用設(shè)備，這些機床具備齊全的功能和較高的精度，但價格較昂貴。而專用的超精密加工機床，如磁盤車床、KDP晶體超精密飛切加工機床、大口徑非球面反射鏡研拋機等。這種機床結(jié)構(gòu)較為簡單，價格相對便宜，但功能單一，可加工零件種類較少，而且需要單獨專門設(shè)計，研制周期長、不能快速響應(yīng)用戶的需求。

國內(nèi)超精密加工機床的發(fā)展及應(yīng)用

生產(chǎn)母機精度的不斷提高是產(chǎn)品精度與質(zhì)量提高的保證。以單點金剛石車削為例，第一代超精密車削加工技術(shù)是20世紀60年代由美國發(fā)展的金剛石刀具及氣體、液體靜壓軸承及導(dǎo)軌技術(shù)等推動發(fā)展起來的。其標(biāo)志性成果是1984年美國勞倫斯利弗摩爾國家實驗室（LLNL）研制的大型超精密金剛石車床（LODTM），以及以大型非球面光學(xué)零件超精密加工為目標(biāo)的超精密機床研究計劃——POMA（Point One Micrometer Accuracy）計劃的推進。進入21世紀，第二代的超精密單點金剛石車床采用了直線電機驅(qū)動及快刀伺服技術(shù)等，使超精密車削加工技術(shù)發(fā)展到非回轉(zhuǎn)對稱及微結(jié)構(gòu)自由曲面等加工，設(shè)備的精度也有所提高。

自20世紀80年代，國內(nèi)有關(guān)單位在研制氣體靜壓主軸及導(dǎo)軌等基礎(chǔ)上開始了單點金剛石切削加工設(shè)備的開發(fā)，90年代初北京機床研究所、北京航空精密機械研究所等陸續(xù)研制成功結(jié)構(gòu)功能簡單的超精密車床（圖1）、超精密鏜床等設(shè)備，可以進行平面、外圓及內(nèi)孔等簡單特征的超精密切削加工。

圖1 超精密車床（1992年）Fig.1 Ultra-precision lathe (1992)

圖2 非球面復(fù)合加工機床（2001年）Fig.2 Aspheric complex ultra-precision machine tool (2001)

國內(nèi)超精密加工技術(shù)發(fā)展的里程碑是非球面曲面超精密加工設(shè)備的研制成功。光學(xué)非球面零件由于具有優(yōu)越的光學(xué)性能，可以提高成像質(zhì)量并簡化光路和結(jié)構(gòu)，在軍工及民用行業(yè)得到了廣泛應(yīng)用。當(dāng)年只有歐美及日本等國能夠制造非球面超精密加工設(shè)備，而國內(nèi)引進受限且價格昂貴。于是非球面超精密加工設(shè)備的研制成為國家九五期間先進制造技術(shù)領(lǐng)域的重點任務(wù)，到九五末期，北京航空精密機械研究所、航天科技九院興華機械廠以及哈爾濱工業(yè)大學(xué)等單位陸續(xù)研制成功代表當(dāng)時國內(nèi)超精密加工最高技術(shù)水平的非球面超精密切削加工設(shè)備（圖2），打破了國外的技術(shù)封鎖，隨之國內(nèi)超精密加工技術(shù)在慣性器件、光學(xué)制造等行業(yè)得到了較快的應(yīng)用和發(fā)展，之后還陸續(xù)研制成功了中大口徑的非球面超精密車床（圖3）。由于國內(nèi)超精密加工設(shè)備的發(fā)展，英、美等國陸續(xù)解除了該類型超精密裝備對我國的禁運，并且設(shè)備價格一路下滑，這對國內(nèi)的超精密基礎(chǔ)部件研究和超精密加工裝備研制產(chǎn)生了很大的沖擊，使我國多數(shù)超精密裝備研制單位并沒有形成完整的基礎(chǔ)研究能力與工程化及產(chǎn)業(yè)化規(guī)模。

隨著產(chǎn)品功能和性能的進一步提高，從21世紀初開始對光學(xué)自由曲面、微小精密零件以及微結(jié)構(gòu)功能表面等需求日益迫切，例如光學(xué)自由曲面能改善校正像差、改善像質(zhì)、擴大視場等系統(tǒng)性能，同時能簡化光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、減輕重量，因而已成為新一代光學(xué)系統(tǒng)的核心關(guān)鍵器件，特別在光學(xué)成像系統(tǒng)中在軍工和民用領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用背景；微結(jié)構(gòu)功能表面的微結(jié)構(gòu)具有紋理結(jié)構(gòu)規(guī)則、高深寬比、幾何特性確定等特點，由于這些呈特定的拓撲結(jié)構(gòu)分布的表面微結(jié)構(gòu)使得元件具有某些特定的功能，如粘附性、摩擦性、潤滑性、耐磨損性等物理、化學(xué)性能等。例如，在航空、航天飛行器宏觀表面加工出微納結(jié)構(gòu)形成功能性表面[2]，不僅可以減小飛行器的風(fēng)阻、摩阻，減小摩擦，同時可避免結(jié)冰層形成，提高空氣動力學(xué)、熱力學(xué)功能以及突防能力，從而達到增速、增程、降噪、隱身等目的[3]。隨著高精度傳感器等器件結(jié)構(gòu)的微小型化、工作部位尺寸及形位精度等級的亞微米化，以及新型材料的應(yīng)用，微小結(jié)構(gòu)零組件裝夾、定位、找正的精細化，刀具的小型化和加工進給量的微量化、非接觸面型和尺寸測量顯微化等一系列技術(shù)難題對傳統(tǒng)精密超精密加工設(shè)備及工藝也提出了嚴峻挑戰(zhàn)。

原有的第一代超精密加工設(shè)備已經(jīng)無法滿足復(fù)雜結(jié)構(gòu)特征的超精密加工需求，國內(nèi)從事超精密加工技術(shù)研究的多家高校和研究所緊密跟蹤國外的先進技術(shù)，在研究基于直線電機驅(qū)動的液體靜壓導(dǎo)軌、超精密位置伺服控制主軸、超精密數(shù)控系統(tǒng)及復(fù)雜曲面軌跡規(guī)劃及編程等關(guān)鍵技術(shù)的基礎(chǔ)上，研發(fā)了多軸超精密數(shù)控切削加工設(shè)備（圖4），并開發(fā)了快速刀具伺服及慢拖板伺服超精密切削加工等工藝，完成了太赫茲束控賦值曲面、微透鏡陣列、雙正弦曲面等典型復(fù)雜曲面和微結(jié)構(gòu)特征的超精密加工，進一步縮小了與國外在超精密數(shù)控加工設(shè)備和工藝方面的差距。同時，針對典型產(chǎn)品的工程化應(yīng)用，國內(nèi)開發(fā)了超精密數(shù)控磨床、微結(jié)構(gòu)特征大尺寸模輥超精密加工設(shè)備、振動切削刀架等，實現(xiàn)了典型模具材料的超精密加工，從而為實現(xiàn)光學(xué)功能元件的確定性、經(jīng)濟性與柔性大批量復(fù)制生產(chǎn)奠定了基礎(chǔ)。

隨著光學(xué)探測、空間遙感以及極大規(guī)模集成電路等領(lǐng)域的需求牽引，對大口徑光學(xué)透鏡及反射鏡的高效超精密加工提出了要求。大口徑高精度光學(xué)元件的制造一直是超精密加工技術(shù)的重要研究方向之一，確定性超精密研拋是其工藝原理。確定性超精密研拋技術(shù)也稱為可控柔性加工技術(shù)，其基本原理是通過改變?nèi)嵝匝袙侇^的形狀、壓力、運動形式等參數(shù)，得到研拋頭的去除函數(shù)，同時通過駐留時間的控制達到工件面型誤差的收斂，最終提高工件面型精度和表面質(zhì)量。確定量超精密研拋加工工藝技術(shù)的研究熱點包括可控性良好的研拋新原理新方法、殘余誤差的定量去除算法、中高頻誤差控制和抑制技術(shù)等。高精度非球面光學(xué)零件(包括大型非球面鏡、高陡度非球面鏡、離軸非球面鏡和拼接子鏡、自由曲面鏡等)的確定性超精密研拋工藝及加工設(shè)備已成為超精密加工技術(shù)發(fā)展的重點之一。

圖3 中大口徑非球面超精密加工機床（2012年）Fig.3 Medium and large optic diamond turning machine tool (2012)

圖4 多軸聯(lián)動超精密加工機床（2013年）Fig.4 Multi-axis ultra-precision machine tool (2013)

近年來國內(nèi)以空間遙感衛(wèi)星相機的大口徑光學(xué)透鏡、激光核聚變楔形透鏡、極大規(guī)模集成電路紫外/極紫外光刻機物鏡等重大需求為牽引，高校、中科院及各軍工集團的專業(yè)研究所等在小磨頭拋光的基礎(chǔ)上，研發(fā)了一系列超精密數(shù)控研拋加工工藝及設(shè)備，例如磁流變拋光[4]、離子束拋光、射流拋光、應(yīng)力盤拋光和氣囊拋光等，這些設(shè)備有的已接近國際先進水平，并得到了較好的工程化應(yīng)用。

此外，在一些特殊的專業(yè)領(lǐng)域?qū)Τ芗庸ぴO(shè)備及工藝也提出了新的要求，例如近年來發(fā)展的抗疲勞制造技術(shù)與第一代成形制造技術(shù)及第二代表面完整性制造技術(shù)相比，可用于航空發(fā)動機主承力件、運動件以及連接件等關(guān)鍵構(gòu)件（如齒輪、軸承、葉片、盤軸類零件、對接螺栓等）的制造，將會顯著提高航空武器裝備的使用壽命?？蛊谥圃旒夹g(shù)的核心技術(shù)之一是精密超精密加工工藝，提高關(guān)鍵構(gòu)件的加工精度及表面質(zhì)量、控制加工工件表面完整性，提高構(gòu)件的疲勞強度，改善表面應(yīng)力狀態(tài)及疲勞性能，最終提高零件的疲勞壽命[5]。普通精密數(shù)控加工設(shè)備已經(jīng)無法滿足航空關(guān)鍵構(gòu)件的抗疲勞制造需求，針對不同材料、不同結(jié)構(gòu)的航空構(gòu)件需要采用超精密數(shù)控磨床、超精密數(shù)控加工中心等通用超精密加工設(shè)備，同時還需研發(fā)一些專用超精密加工設(shè)備，才能最終達到航空關(guān)鍵構(gòu)件抗疲勞制造技術(shù)的要求。

超精密加工設(shè)備研發(fā)和生產(chǎn)現(xiàn)狀及對策

通過多年來國內(nèi)相關(guān)研發(fā)機構(gòu)的努力，我國超精密加工設(shè)備的水平與國外相比，已經(jīng)從20多年前的望塵莫及到目前的望其項背，少數(shù)設(shè)備甚至能并駕齊驅(qū)。但是，也應(yīng)看到我國在超精密數(shù)控機床領(lǐng)域尚未形成產(chǎn)業(yè)化，研制的專用機床或設(shè)備樣機還無法大規(guī)模推廣使用。我國數(shù)控超精密加工設(shè)備產(chǎn)業(yè)化方面存在以下不足：各單位各自為戰(zhàn)，自主研發(fā)能力相對薄弱；功能部件發(fā)展滯后，對外依存度高，尚未形成較為齊全的專業(yè)化配套體系；缺乏超精密基礎(chǔ)元部件及加工設(shè)備設(shè)計、制造專業(yè)化標(biāo)準(zhǔn)；設(shè)備精度保持性、運行可靠性及可操作性較差；設(shè)備的控制軟件及系統(tǒng)開發(fā)能力較弱等[6]。為此，在今后超精密加工設(shè)備的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)中，應(yīng)從以下方面加以關(guān)注：

（1）重視超精密加工設(shè)備功能部件的研發(fā)，形成專業(yè)化的配套體系。

超精密車床、超精密磨床等超精密加工設(shè)備是利用主軸、導(dǎo)軌以及控制系統(tǒng)等超精密基礎(chǔ)元部件的精度保證零件的加工精度，對于此類設(shè)備研發(fā)的關(guān)鍵是超精密基礎(chǔ)元部件及其集成技術(shù)。國外超精密基礎(chǔ)元部件都有專業(yè)的生產(chǎn)廠商，如英國Loadpoint公司專業(yè)生產(chǎn)超精密主軸、超精密導(dǎo)軌，德國Hyprostatik公司專業(yè)生產(chǎn)液體靜壓主軸、液體靜壓導(dǎo)軌以及液體靜壓絲杠等基礎(chǔ)元部件，這些產(chǎn)品已經(jīng)形成系列化、標(biāo)準(zhǔn)化。國內(nèi)雖然具備了超精密基礎(chǔ)元部件研制和生產(chǎn)能力，精度指標(biāo)也達到了國外產(chǎn)品的水平，但在模塊化、系列化、標(biāo)準(zhǔn)化等方面還存在差距，目前國內(nèi)沒有一家專業(yè)化生產(chǎn)廠家。國內(nèi)生產(chǎn)的電機、編碼器、光柵及多軸運動控制卡等在性能及可靠性等方面與國外存在較大差距，目前國內(nèi)研制的超精密加工設(shè)備，檢測及電控元器件基本依賴進口。

應(yīng)繼續(xù)加強超精密基礎(chǔ)元部件的研發(fā)和生產(chǎn)能力建設(shè)，建立模塊化設(shè)計及生產(chǎn)的標(biāo)準(zhǔn)，在國內(nèi)形成超精密基礎(chǔ)元部件專業(yè)配套生產(chǎn)廠家，為超精密加工設(shè)備的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)提供支撐。

（2）注重超精密加工設(shè)備的設(shè)計、建立制造及檢驗標(biāo)準(zhǔn)，提高工程化水平。

除了關(guān)注超精密加工設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)的攻關(guān)，也應(yīng)重視設(shè)備的可使用性設(shè)計，例如超精密車床的金剛石刀具對刀系統(tǒng)、在線動平衡系統(tǒng)，確定性研拋設(shè)備的工件誤差在位測量系統(tǒng)等，這些部件除了有利于設(shè)備精度的提高，更多的是提高超精密加工設(shè)備的效率及增加操作的便利性。此外在設(shè)備的外觀造型設(shè)計及設(shè)備噪音控制等人性化設(shè)計方面更應(yīng)符合滿足操作者的舒適性需求。

在目前技術(shù)水平下，超精密加工設(shè)備尚存在制造誤差、驅(qū)動誤差、聯(lián)動誤差、伺服匹配誤差、受熱變形、受力變形、非對稱剛度、數(shù)控精度等誤差來源，使零件加工輪廓不能完全與設(shè)計輪廓重合，表面粗糙度也體現(xiàn)各類頻率誤差的存在。隨著超精密機床軸系的增多和精度的提高，一方面需要新的設(shè)備精度測量表征方法和檢測檢驗手段；另一方面也可以逆向進行超精密加工設(shè)備的精度表征。為此，必須有一整套超精密設(shè)備制造技術(shù)規(guī)范與檢驗檢測標(biāo)準(zhǔn)等，這樣才能正確評價超精密加工設(shè)備的精度，實現(xiàn)對超精密加工設(shè)備的各類需求。

此外，建立超精密機床制造行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)也是實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化推廣的一個重要因素[7]，這些標(biāo)準(zhǔn)包括超精密部件靜態(tài)及動態(tài)檢測、部件間位置關(guān)系的檢測與調(diào)整、超精密機床總體驗收標(biāo)準(zhǔn)等。

（3）將超精密加工工藝與設(shè)備相結(jié)合，為用戶提供一體化的解決方案。

國外超精密加工設(shè)備解禁以后，國內(nèi)高校、民企和相關(guān)國防領(lǐng)域各工業(yè)部門陸續(xù)引進了大量的各類超精密加工設(shè)備，但是真正能充分發(fā)揮設(shè)備性能、應(yīng)用效果良好的單位很少，主要原因是設(shè)備可以從國外引進，而用戶需求的相關(guān)工藝卻無法引進。國內(nèi)生產(chǎn)廠家則可以通過為用戶提供超精密加工設(shè)備與工藝一體化的解決方案，提高國產(chǎn)超精密加工設(shè)備的市場競爭力。

對于超精密研磨拋光設(shè)備這點尤為重要，由于此類設(shè)備是通過可控的去除函數(shù)保證零件的加工精度，因此設(shè)備研發(fā)廠家可以將設(shè)備工藝參數(shù)、不同工具及磨料、不同材料及不同形狀零件的去除函數(shù)等超精密加工工藝參數(shù)以專家系統(tǒng)或數(shù)據(jù)庫的形式集成到設(shè)備中供用戶選擇使用，同時跟蹤用戶對設(shè)備的使用效果，對設(shè)備的硬件及軟件不斷改進和升級，從而提升國產(chǎn)超精密研拋設(shè)備的水平。

（4）以國家重大項目需求為牽引，優(yōu)先發(fā)展專用超精密加工設(shè)備。

專用超精密加工設(shè)備結(jié)構(gòu)功能相對簡單，從國外定制價格及周期用戶可能無法承受，這也是國產(chǎn)設(shè)備實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化的一條捷徑。例如我國激光核聚變點火工程（神光III工程）48路激光所需的二千多塊KDP 晶體材料采用單點金剛石飛切加工，其專用設(shè)備全部由國內(nèi)研制[8]，性能指標(biāo)達到了國際先進水平，并形成了很好的批量化生產(chǎn)能力，保證了國家重點任務(wù)的需求。

從“十一五”開始國家根據(jù)產(chǎn)業(yè)和技術(shù)的發(fā)展需求，設(shè)立了包括“高檔數(shù)控機床與基礎(chǔ)制造裝備重大專項”在內(nèi)的16個國家科技重大專項，這也為高檔功能部件和超精密加工設(shè)備整機的研制和發(fā)展提供了契機，相關(guān)成果已應(yīng)用于航空航天領(lǐng)域復(fù)雜零部件的加工。此外“高分辨率對地觀測系統(tǒng)”、“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”等重大專項的啟動對大口徑及超高精度光學(xué)元件的產(chǎn)業(yè)化提出了需求，國內(nèi)相關(guān)單位研制成功了磁流變拋光設(shè)備、離子束拋光設(shè)備等，從而為專項的實施提供了有力技術(shù)保障和裝備支撐，提升了我國先進裝備制造水平。即將啟動的發(fā)動機專項也將為軸承、葉片、噴嘴等發(fā)動機關(guān)鍵元部件的國產(chǎn)精密超精密專用加工和檢測設(shè)備的研制和產(chǎn)業(yè)化提供有力的保障。

（5）聯(lián)合國內(nèi)從事超精密加工技術(shù)研究的單位、優(yōu)勢互補，組建超精密加工設(shè)備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)基地。

目前，國內(nèi)從事超精密加工技術(shù)研究的單位眾多，其中包括高校、中科院和各個軍工集團研究所以及應(yīng)用單位等，但大部分單位均各自為戰(zhàn)，研究內(nèi)容雷同、條件建設(shè)重復(fù)，從宏觀戰(zhàn)略層面缺乏統(tǒng)一的規(guī)劃，有時甚至存在惡意競爭，而且主要目標(biāo)都是為了解決行業(yè)內(nèi)的任務(wù)或型號難題。國內(nèi)目前雖然也設(shè)立了國家超精密機床工程技術(shù)研究中心（科技部）、國防超精密機械加工技術(shù)研究應(yīng)用中心（國防科工局）等機構(gòu)，但成員單位覆蓋面有限，且管理松散，從體制和機制上很難真正做到各成員單位優(yōu)勢聯(lián)合。

聯(lián)合國內(nèi)技術(shù)優(yōu)勢單位，打破行業(yè)壁壘，建立超精密加工設(shè)備研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化實體，同時可考慮吸收民間資本，實現(xiàn)超精密加工設(shè)備的產(chǎn)業(yè)化，滿足國內(nèi)各行業(yè)的需求。

結(jié)論

超精密加工機床的特點是超高精度、高剛度、高穩(wěn)定性、高自動化等，與普通精密機床相比其應(yīng)用范圍較窄，但主要是面向國家重點任務(wù)和型號的尖端科技領(lǐng)域，同時超精密加工技術(shù)也是體現(xiàn)一個國家制造技術(shù)水平的重要標(biāo)志，是實現(xiàn)從制造大國向制造強國轉(zhuǎn)變的基礎(chǔ)技術(shù)。為此必須充分重視超精密加工技術(shù)的研究，建立我國超精密加工設(shè)備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化基地，形成產(chǎn)業(yè)化能力和商品化系列。

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