AIXTRON憑硅基氮化鎵系統(tǒng)AIX G5+C獲頒商業(yè)雜志榮譽(yù)獎(jiǎng)項(xiàng)

全球半導(dǎo)體行業(yè)沉積設(shè)備供應(yīng)商AIXTRON憑借其全自動(dòng)新產(chǎn)品——金屬氧化物化學(xué)汽相沉積（MOCVD）系統(tǒng)AIX G5+C，獲商業(yè)雜志Compound Semiconductor頒授2016 年CS High-Volume Manufacturing Award獎(jiǎng)項(xiàng)。該獎(jiǎng)項(xiàng)是業(yè)界對(duì)國(guó)際化合物半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)的關(guān)鍵創(chuàng)新領(lǐng)域進(jìn)行評(píng)判，圍繞芯片制造工藝流程，強(qiáng)調(diào)對(duì)業(yè)界發(fā)展所作出的貢獻(xiàn)。

AIXTRON方面表示，AIX G5+C是全球首套完備的MOCVD系統(tǒng)解決方案，可以滿足硅基氮化鎵LED和功率器件領(lǐng)域的外延類(lèi)產(chǎn)品需求。該產(chǎn)品融合兩項(xiàng)關(guān)鍵性創(chuàng)新，在針對(duì)大容量的150 mm和200 mm晶圓的批量處理系統(tǒng)中，AIXTRON實(shí)現(xiàn)連續(xù)的LED或HEMTMOCVD工藝流程，無(wú)需進(jìn)行傳統(tǒng)的交互操作。這是首個(gè)關(guān)于硅CMOS生產(chǎn)線MOCVD操作的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)方案，將晶圓匣盒間轉(zhuǎn)運(yùn)處理自動(dòng)化方法加入到MOCVD批量處理技術(shù)中。AIX G5+C簡(jiǎn)化了硅晶圓廠的硅晶圓處理方式和工藝流程，同時(shí)保證最高效的產(chǎn)出。AIXTRON獨(dú)有的器內(nèi)清潔程序可全面控制室內(nèi)條件，無(wú)需再進(jìn)行外部清潔，也無(wú)需在清潔完畢后對(duì)MOCVD反應(yīng)器進(jìn)行重新調(diào)試。整個(gè)清潔過(guò)程自動(dòng)進(jìn)行，無(wú)組件拆卸等器外清潔或調(diào)試操作。

（編譯：李星悅，審校：張禮懌，趙博）

來(lái)源：http://www.compoundsemiconductor.net/article/ 98865-aixtron-receives-cs-high-volume-manufacturing-award.html