侯宏錄　崔凱　陳海濱　劉凱

摘要：提出了一種基于激光差分探測(cè)技術(shù)的懸浮物質(zhì)量濃度測(cè)量方法，用于測(cè)量煙霧、粉塵等空氣懸浮顆粒的含量。利用懸浮顆粒對(duì)光的散射，可以在不影響懸浮物顆粒特性的前提下，對(duì)其實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)。另外，借助于參考光與測(cè)試光的直接差分放大，可以消除激光能量起伏以及其他擾動(dòng)對(duì)測(cè)量的干擾。通過(guò)對(duì)激光在懸浮物顆粒中傳播時(shí)衰減原理的研究，獲取懸浮物顆粒質(zhì)量濃度與光強(qiáng)衰減的關(guān)系，搭建了一套激光差分探測(cè)懸浮物質(zhì)量濃度的實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，進(jìn)行煙霧質(zhì)量濃度的實(shí)際測(cè)量，驗(yàn)證了該測(cè)量方法的可行性。

關(guān)鍵詞：懸浮物； 差分探測(cè)； 光散射

中圖分類號(hào)： TN 249 文獻(xiàn)標(biāo)志碼： A doi： 10.3969/j.issn.10055630.2015.06.004

Abstract：A method based on laser difference detection for measuring suspended matter concentration is introduced in the paper. It can be used for the concentration measurement of suspended particles such as smog， dust and other aerosols. Based on the light scattering effect of the suspended particles， realtime monitoring of the suspended particles without changing their properties can be achieved. By means of a direct amplification of the differential signal of the test and reference light， fluctuations of the laser energy can be reduced. The measuring principles and methods are presented in detail. Through the study of the light decaying mechanism during laser propagating in the suspended particles， the relationship between the suspended matter concentration and light intensity attenuation is deduced. We also build a laser differential detection system for the measurement of the suspended matter concentration. By measuring the smog of known concentration， practical feasibility of the measurement method is verified.

Keywords： suspended matter； difference detection； light scattering

引 言

隨著工農(nóng)業(yè)的發(fā)展，大氣中懸浮物的污染越來(lái)越嚴(yán)重，極度危害著大氣環(huán)境質(zhì)量和人類健康。因此，懸浮物質(zhì)量濃度的測(cè)量在環(huán)境保護(hù)、工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究等領(lǐng)域有著十分重要的意義[1]。

目前，國(guó)內(nèi)外對(duì)于粉塵質(zhì)量濃度檢測(cè)技術(shù)的研究越來(lái)越重視，經(jīng)過(guò)對(duì)懸浮物質(zhì)量濃度檢測(cè)技術(shù)的多年研究，可將其質(zhì)量濃度的檢測(cè)方法分為兩大類：非光學(xué)分析法和光學(xué)分析法。其中非光學(xué)分析法主要有黑度法、超聲波技術(shù)、氣敏法、熱催化法等；光學(xué)分析法主要有光干涉法、差分吸收光譜技術(shù)、可調(diào)諧激光二極管激光吸收光譜技術(shù)和拉曼散射激光雷達(dá)技術(shù)等[2]。非光學(xué)分析法已經(jīng)在這一領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，但由于檢測(cè)設(shè)備響應(yīng)速度慢，處理復(fù)雜，難于對(duì)懸浮物濃度進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，也無(wú)法進(jìn)行遙感監(jiān)測(cè)，其應(yīng)用范圍受到限制。

相比較于非光學(xué)分析法，基于光學(xué)分析的氣體濃度檢測(cè)技術(shù)具有探測(cè)靈敏度高、選擇性強(qiáng)、可探測(cè)的氣體種類多、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，適合現(xiàn)場(chǎng)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，成本較低，必將成為未來(lái)懸浮物質(zhì)量濃度檢測(cè)的理想工具。光干涉法是利用光的折射率與被測(cè)氣體的含量來(lái)檢測(cè)氣體體積分?jǐn)?shù)，測(cè)量環(huán)境，如溫度、濕度、壓力等會(huì)對(duì)測(cè)量結(jié)果產(chǎn)生較大影響。差分吸收光譜技術(shù)是根據(jù)大氣中衡量氣體成分在紫外和可見(jiàn)光譜波段的特征吸收性質(zhì)來(lái)反演其種類和質(zhì)量濃度[34]。差分技術(shù)可消除大氣湍流對(duì)信號(hào)的影響，不同污染物之間的干擾和濕度、氣溶膠的干擾，能夠滿足連續(xù)監(jiān)測(cè)的要求，但是該方法要根據(jù)吸收光譜的變化快慢對(duì)光譜進(jìn)行分解，只適用于具有窄帶吸收結(jié)構(gòu)的氣體，對(duì)不同的氣體監(jiān)測(cè)需要安裝不同的光程和接收裝置，操作過(guò)于復(fù)雜[5]?？烧{(diào)諧激光二極管激光吸收光譜技術(shù)是最近發(fā)展起來(lái)的一種高靈敏、高分辨率的大氣衡量氣體吸收光譜檢測(cè)技術(shù)，但是該方法調(diào)諧范圍有限，限制了可探測(cè)的氣體種類。拉曼散射激光雷達(dá)是根據(jù)激光拉曼散射光頻率相對(duì)于入射光頻率發(fā)生變化，產(chǎn)生拉曼頻移，其頻移量取決于大氣中的氣體成分而實(shí)現(xiàn)測(cè)量的，該方法的檢測(cè)精度、線性度和信噪比還有待進(jìn)一步提高。

為了能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)懸浮物的實(shí)時(shí)探測(cè)，使相對(duì)誤差控制在15%之內(nèi)，根據(jù)懸浮物顆粒對(duì)光的散射信息來(lái)測(cè)量散射顆粒的質(zhì)量濃度、大小及尺寸分布情況[67]，提出一種基于激光差分探測(cè)的懸浮物質(zhì)量濃度測(cè)量方法，采用光散射的方法進(jìn)行差分檢測(cè)，將單光源分為雙光路既可消除檢測(cè)時(shí)光強(qiáng)等的干擾，又避免了使用雙光源檢測(cè)而引入的差異，同時(shí)考慮在適當(dāng)?shù)纳⑸淠Ｐ椭懈淖兗す忸l率大小來(lái)觀察測(cè)試結(jié)果的變化，以改善對(duì)懸浮物質(zhì)量濃度的測(cè)量精度。

2 激光差分懸浮顆粒質(zhì)量濃度探測(cè)系統(tǒng)與差分探測(cè)電路設(shè)計(jì)

根據(jù)激光在懸浮物顆粒中傳播的散射原理，當(dāng)光通過(guò)不均勻介質(zhì)以后，光強(qiáng)要發(fā)生衰減。當(dāng)一束單色平行光照射到懸浮物顆粒中并傳播一定長(zhǎng)度的距離時(shí)，由于微粒的散射作用，出射光強(qiáng)會(huì)有一定程度的衰減，由朗伯-比爾（LambertBeer）光透射定律可得到出射光強(qiáng)與入射光強(qiáng)的關(guān)系。

系統(tǒng)總體方案如圖2所示，采用雙光路差分探測(cè)方法。該懸浮物濃度檢測(cè)系統(tǒng)包括光源穩(wěn)定控制模塊、半導(dǎo)體激光器、λ/2波片、偏振分束器、反光鏡、光電差分探測(cè)器、濾波電路、A/D轉(zhuǎn)換模塊、單片機(jī)等。除探測(cè)光光路暴露于測(cè)試環(huán)境之中，整個(gè)懸浮物質(zhì)量濃度檢測(cè)裝置位于一個(gè)密閉腔體之內(nèi)。半導(dǎo)體激光器用于產(chǎn)生功率穩(wěn)定的線偏振激光輸出。λ/2波片用于調(diào)整激光的偏振方向，使之以適當(dāng)?shù)钠窠侨肷涞狡穹质魃稀Ｆ穹质鲗⑵窆夥譃閮善穹较蛳嗷ゴ怪钡木€偏振激光，配合λ/2波片，可以得到功率完全相等的兩束激光。一束激光作為參考光送入差分探測(cè)器的一個(gè)光電傳感器上，另一束光作為探測(cè)光經(jīng)過(guò)待測(cè)環(huán)境中的懸浮物后照射到差分探測(cè)器的另一個(gè)光電傳感器上[910]。

探測(cè)光光強(qiáng)經(jīng)過(guò)測(cè)試環(huán)境中的懸浮物時(shí)會(huì)發(fā)生衰減，與未經(jīng)過(guò)測(cè)試環(huán)境的參考光光強(qiáng)產(chǎn)生差分信號(hào)。光電差分探測(cè)器接收到這兩路光信號(hào)后輸出相應(yīng)電壓信號(hào)，經(jīng)過(guò)放大、濾波、采樣后，獲得懸浮物質(zhì)量濃度的觀測(cè)數(shù)據(jù)。

在物質(zhì)擴(kuò)散之前，首先對(duì)大氣環(huán)境進(jìn)行測(cè)量，通過(guò)調(diào)節(jié)半波片使差分探測(cè)器輸出信號(hào)為零。再在此基礎(chǔ)上將待測(cè)物質(zhì)釋放并進(jìn)行測(cè)量，從而可以獲得懸浮物的實(shí)際質(zhì)量濃度。

參考光路的作用是補(bǔ)償大氣環(huán)境與探測(cè)光路參數(shù)不對(duì)稱、溫度變化對(duì)測(cè)量精度的影響。一方面用來(lái)作為未衰減光束的參考標(biāo)準(zhǔn)，另一方面可以消除激光器輸出功率波動(dòng)造成的測(cè)量誤差。

圖3所示的是三運(yùn)放高共模抑制比光電差分放大電路，經(jīng)過(guò)此電路可將光電轉(zhuǎn)換后得到的兩路電壓信號(hào)進(jìn)行差分放大，使其達(dá)到可檢測(cè)范圍。它由五個(gè)集成運(yùn)算放大器組成，其中AR21、AR22為性能一致（主要指輸入阻抗、共模抑制比和增益）的同相輸入的通用集成運(yùn)放器，構(gòu)成平衡對(duì)稱差動(dòng)放大輸入級(jí)，AR23構(gòu)成雙端輸入單端輸出的輸出級(jí)，用來(lái)進(jìn)一步抑制AR21、AR22的共模信號(hào)。由于該電路具有高共模抑制比，所以差分電路對(duì)溫漂具有很強(qiáng)的抑制能力，測(cè)量結(jié)果準(zhǔn)確度較高。電路中光電二極管輸出電流約為幾毫安，為了便于觀測(cè)，將光電差分放大電路的放大倍數(shù)設(shè)定為500倍，其中光電轉(zhuǎn)換模塊放大50倍，差分放大模塊放大10倍。

由于激光器脈寬可調(diào)，實(shí)驗(yàn)中所采用的調(diào)制頻率為100 Hz，即激光信號(hào)脈沖寬度最小為10 ms，由式（6）可得放大電路帶寬應(yīng)大于89 Hz。光電轉(zhuǎn)換電路中AR21、AR22單位增益帶寬為1.6 MHz，為了獲得50倍的閉環(huán)增益，則運(yùn)放在理論上可處理矩形脈沖信號(hào)的最大頻率為1.6 MHz/50=32 kHz。又由于差分放大模塊中AR23增益帶寬為0.5 MHz，因此放大電路的設(shè)計(jì)滿足帶寬限制。

當(dāng)AR21、AR22性能一致時(shí)，輸入級(jí)的差動(dòng)輸出及其差模增益只與差模輸入電壓相關(guān)，而其共模輸出、失調(diào)及漂移均在R205兩端相互抵消，因此電路具有良好的共模抑制能力，同時(shí)不要求外部電阻匹配。為了消除AR21、AR22偏置電流等的影響，通常取R201=R2011。另外，本電路還具有增益調(diào)節(jié)功能，調(diào)節(jié)R205可以改變?cè)鲆娑挥绊戨娐返膶?duì)稱性。通過(guò)Multisim對(duì)光電差分放大電路進(jìn)行仿真，仿真結(jié)果如圖4～6所示。

由仿真結(jié)果可知V1out處電壓脈沖值為76.6 mV，V2out處電壓脈沖值為153.1 mV，經(jīng)過(guò)差分放大后輸出電壓脈沖值為1.515 V，則認(rèn)為光電差分放大電路可實(shí)現(xiàn)對(duì)差分光路的探測(cè)。

3 激光器調(diào)制頻率和探測(cè)波長(zhǎng)選擇

3.1 激光調(diào)制頻率選擇

為了便于在示波器中觀測(cè)并有利于后續(xù)電路處理，對(duì)半導(dǎo)體激光器的頻率進(jìn)行調(diào)制，使其輸出方波信號(hào)，即利用信號(hào)發(fā)生器產(chǎn)生的調(diào)制信號(hào)去改變激光器的振蕩參數(shù)，從而改變其輸出特性。

在待測(cè)懸浮物顆粒質(zhì)量濃度一定的情況下，隨著激光光源調(diào)制頻率的變化，會(huì)引起光信號(hào)接收裝置（光電差分探測(cè)器）接收到的光信號(hào)改變，從而使光電差分探測(cè)器輸出的電壓信號(hào)發(fā)生變化。為了得到理想的探測(cè)信號(hào)，在實(shí)驗(yàn)之前，首先需要確定激光光源的調(diào)制頻率。分析激光光源頻率與光電差分探測(cè)器輸出信號(hào)之間關(guān)系時(shí)，將探測(cè)光完全遮擋，通過(guò)改變激光光源的輸出頻率，得到光電差分探測(cè)器電壓輸出信號(hào)與頻率的關(guān)系如圖7所示。

由圖可知，隨著激光光源頻率的升高，光電差分探測(cè)器輸出信號(hào)會(huì)逐漸降低，在0～50 kHz范圍內(nèi)輸出信號(hào)與光源頻率呈線性關(guān)系，當(dāng)激光頻率達(dá)到50 kHz或者更大時(shí)，光電差分探測(cè)器輸出的電信號(hào)發(fā)生驟降，因此50 kHz認(rèn)為是探測(cè)器所能檢測(cè)到激光信號(hào)的截止頻率。最終實(shí)驗(yàn)中選擇調(diào)制頻率為100 Hz。

3.2 最佳探測(cè)波長(zhǎng)選取

圖8為BPX65光電二極管光譜響應(yīng)曲線。BPX65作為光電探測(cè)器，具有光譜靈敏度高，響應(yīng)速度快，頻響范圍寬的特點(diǎn)。為了獲得較高的檢測(cè)靈敏度，提高檢測(cè)精度，分別針對(duì)405 nm、658 nm、780 nm這三種波長(zhǎng)的可調(diào)制半導(dǎo)體激光器輸出光通過(guò)物質(zhì)后的散射特性做了測(cè)試。由于在絕大多數(shù)情況下，實(shí)驗(yàn)產(chǎn)生煙霧粒度成分及大小與實(shí)際測(cè)量時(shí)的煙霧顆粒成分及大小都是不相同的。不過(guò)一些典型應(yīng)用場(chǎng)合下的煙霧顆粒成分及大小都會(huì)表現(xiàn)出共同的特征，因此可針對(duì)這些典型應(yīng)用場(chǎng)合，分別進(jìn)行標(biāo)定，并將標(biāo)定結(jié)果預(yù)置于測(cè)量電路之中。實(shí)驗(yàn)時(shí)選擇對(duì)粒徑為0.1～2 μm的煙霧粒子進(jìn)行標(biāo)定，經(jīng)過(guò)后續(xù)檢測(cè)可得出激光通過(guò)煙霧后所顯現(xiàn)的共同特征。測(cè)試中物質(zhì)的標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量濃度由質(zhì)量濃度標(biāo)定儀給出。標(biāo)定儀測(cè)量范圍為0～500 mg/m3，測(cè)量精度為±1%。經(jīng)過(guò)對(duì)煙霧質(zhì)量濃度檢測(cè)，分別得到了輸出電壓隨質(zhì)量濃度變化的關(guān)系，并對(duì)測(cè)試結(jié)果做了非線性擬合，如圖9所示。

4 實(shí)驗(yàn)測(cè)量與分析

比較標(biāo)定后激光差分探測(cè)系統(tǒng)的輸出結(jié)果與標(biāo)定儀器的輸出結(jié)果，如圖11所示，可以看到在較小質(zhì)量濃度條件下，兩曲線有明顯偏離，而標(biāo)準(zhǔn)濃度超過(guò)6.95 mg/m3后，實(shí)測(cè)值與參考值非常接近。對(duì)于較小質(zhì)量濃度條件下的偏離，應(yīng)是較稀薄質(zhì)量濃度與較高質(zhì)量濃度對(duì)激光的不同散射規(guī)律所致。

其中，實(shí)線對(duì)應(yīng)激光差分探測(cè)系統(tǒng)標(biāo)定后的實(shí)測(cè)擬合結(jié)果，圓點(diǎn)對(duì)應(yīng)標(biāo)定儀器的結(jié)果以作參考。標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量濃度超過(guò)6.95 mg/m3之后，激光差分探測(cè)系統(tǒng)輸出相對(duì)于標(biāo)定探測(cè)儀器輸出的相對(duì)誤差，如圖12所示。

由實(shí)驗(yàn)結(jié)果可知，將粉塵儀測(cè)得的質(zhì)量濃度值作為標(biāo)準(zhǔn)值，由光電差分探測(cè)器輸出信號(hào)計(jì)算得到的質(zhì)量濃度值作為實(shí)際測(cè)量值，實(shí)測(cè)質(zhì)量濃度值與標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量濃度值的相對(duì)誤差可維持在12%之內(nèi)。

因此，經(jīng)過(guò)標(biāo)定之后，激光差分探測(cè)系統(tǒng)可以對(duì)超過(guò)30 mg/m3的較高質(zhì)量濃度的煙霧類氣溶膠懸浮物實(shí)現(xiàn)相對(duì)誤差在12%以內(nèi)的質(zhì)量濃度測(cè)量。

5 結(jié) 論

本文提出了一種基于激光差分探測(cè)技術(shù)的懸浮物質(zhì)量濃度測(cè)量方法。通過(guò)對(duì)激光在懸浮物顆粒中傳播時(shí)衰減原理的研究，獲取了懸浮物顆粒質(zhì)量濃度與光強(qiáng)衰減的關(guān)系，激光光源頻率與響應(yīng)度的關(guān)系以及激光器波長(zhǎng)與探測(cè)器響應(yīng)度的關(guān)系。通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)氣溶膠質(zhì)量濃度測(cè)試儀對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行了標(biāo)定，并以人工方式產(chǎn)生煙霧為實(shí)驗(yàn)媒質(zhì)使用該系統(tǒng)進(jìn)行懸浮物質(zhì)量濃度測(cè)量，對(duì)超過(guò)30 mg/m3的較高質(zhì)量濃度的煙霧類氣溶膠懸浮物實(shí)現(xiàn)了相對(duì)誤差在12%以內(nèi)的質(zhì)量濃度測(cè)量。經(jīng)過(guò)適當(dāng)?shù)母倪M(jìn)，該測(cè)量系統(tǒng)可用于煙霧、粉塵等空氣懸浮顆粒含量的實(shí)時(shí)測(cè)量。

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（編輯：張 磊）