三維納米結(jié)構(gòu)既可具有納米材料與結(jié)構(gòu)所賦予的量子效應(yīng)、尺寸效應(yīng)與表面效應(yīng)等新奇物性，又可通過三維幾何結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)電聲子輸運(yùn)與耦合、自旋極化、激子行為、波陣面調(diào)控等物性的協(xié)同調(diào)制，獲得平面器件不具有的功能。目前，三維納米結(jié)構(gòu)的可控加工方法明顯不足，阻礙了三維納米器件的發(fā)展，并制約著高端納米產(chǎn)業(yè)化技術(shù)的形成。為獲得性能優(yōu)異的三維納米結(jié)構(gòu)與器件，國內(nèi)外展開了多種三維納米加工技術(shù)研究，主要包括自組裝生長、納米印刷、飛秒激光加工以及載能粒子束加工技術(shù)等，但如何實(shí)現(xiàn)三維空間的可控加工和三維納米結(jié)構(gòu)的功能化，仍是具有極大挑戰(zhàn)性的課題。

近年來，中國科學(xué)院物理研究所/北京凝聚態(tài)國家實(shí)驗(yàn)室(籌)微加工實(shí)驗(yàn)室的工程師劉哲、副主任工程師李無瑕、主任工程師李俊杰和博士生崔阿娟及研究員顧長志等人系統(tǒng)地開展了基于聚焦離子束技術(shù)的三維納米結(jié)構(gòu)與器件的可控加工技術(shù)研究，并取得了一系列的進(jìn)展。他們發(fā)明了一種基于聚焦離子束的應(yīng)變誘導(dǎo)三維納米結(jié)構(gòu)加工新方法，即利用離子束輻照產(chǎn)生的注入效應(yīng)以及由入射粒子能量轉(zhuǎn)換與傳遞產(chǎn)生的溫度效應(yīng)，在納米材料中產(chǎn)生局域化表面再構(gòu)、缺陷、晶體結(jié)構(gòu)變化，實(shí)現(xiàn)了三維空間誘導(dǎo)的納米材料形變，以此構(gòu)建三維功能納米結(jié)構(gòu)與器件。這種基于聚焦離子束的應(yīng)變加工方法可兼有高精度、多維度、跨尺度、可設(shè)計以及可控等特點(diǎn)。他們首先利用這一技術(shù)構(gòu)筑了一維金屬W的自支撐納米間隙、納米接觸以及納米多肢體等多種三維納米結(jié)構(gòu)，證實(shí)了這些結(jié)構(gòu)可具有高達(dá)5.2K的超導(dǎo)臨界轉(zhuǎn)變溫度以及較好的機(jī)械性能與熱穩(wěn)定性。之后，他們利用這一技術(shù)實(shí)現(xiàn)了自支撐鉑納米線沿徑向的組分與微結(jié)構(gòu)的非均勻生長，并通過熱致應(yīng)變規(guī)律的探索與量化處理，掌握了形變的可控手段，獲得了硅錐頂部的自支撐納米點(diǎn)接觸以及將ZnO雙層納米浴盆進(jìn)行固定的微籠結(jié)構(gòu)，顯示了該方法在三維納米電學(xué)、光學(xué)、磁學(xué)以及生物分子學(xué)等領(lǐng)域的應(yīng)用潛力。

最近，他們與物理所光物理實(shí)驗(yàn)室的副研究員李家方、研究員李志遠(yuǎn)，英國索爾福德大學(xué)教授沈鐵漢以及同濟(jì)大學(xué)教授李宏強(qiáng)等合作，將聚焦離子束應(yīng)變誘導(dǎo)三維納米結(jié)構(gòu)的加工方法推廣到了二維薄膜材料體系，發(fā)展了一種基于離子束輻照的折疊應(yīng)變加工方法，可將平面內(nèi)的結(jié)構(gòu)多次有序折疊，實(shí)現(xiàn)納米結(jié)構(gòu)單元在空間、尺寸、周期與幾何形貌可調(diào)制的大面積可控加工。該方法可在金屬、介質(zhì)以及復(fù)合納米薄膜上進(jìn)行三維結(jié)構(gòu)的構(gòu)建。利用這一技術(shù)，他們設(shè)計并構(gòu)建了一系列基于金納米薄膜的孔洞-垂直開口諧振環(huán)(MH-VSRR)三維等離激元微納結(jié)構(gòu)。這些結(jié)構(gòu)在紅外-近紅外波段具有明顯的異常法諾共振現(xiàn)象，并可用于高靈敏度的光折射率傳感，在近紅外波段的靈敏度高達(dá)2 040 nm/RIU，是目前該波段同類結(jié)構(gòu)已報道的最高值。顯示了這種三維納米加工技術(shù)在制作高靈敏度的納米光學(xué)器件以及生物傳感的應(yīng)用前景【Light:Science＆ Applications，2015，4，e308】。