國(guó)產(chǎn)300mm集成電路硅單晶制備和硅片加工設(shè)備研制單位
2015-07-04 01:41:42
電子工業(yè)專(zhuān)用設(shè)備 2015年8期
序號(hào)1234 56設(shè)備名稱(chēng)單晶生長(zhǎng)爐多線(xiàn)切割機(jī)精密磨削機(jī)雙面拋光機(jī)單面精密拋光機(jī)（CMP）高溫立式退火爐研制單位浙江晶盛機(jī)電股份有限公司、西安理工晶體科技有限公司中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所無(wú)錫機(jī)床股份有限公司蘭州瑞德設(shè)備制造有限公司（現(xiàn)更名：蘇州赫瑞德電子專(zhuān)用設(shè)備科技有限公司）中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
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