李 娜，程繼紅，楊繼全

（1. 南京師范大學(xué) 電氣與自動(dòng)化工程學(xué)院，南京 210042； 2. 江蘇省三維打印裝備與制造重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，南京 210042）

個(gè)人導(dǎo)航用壓力傳感器的三維打印制備數(shù)字模型

李 娜1,2，程繼紅1,2，楊繼全1,2

（1. 南京師范大學(xué) 電氣與自動(dòng)化工程學(xué)院，南京 210042； 2. 江蘇省三維打印裝備與制造重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，南京 210042）

基于微噴三維打印機(jī)制造壓力傳感器，用于可穿戴的個(gè)人導(dǎo)航系統(tǒng)中。在基底表面不規(guī)則或者使用中經(jīng)常被折彎的情況下，微噴打印工藝制備的MEMS器件精度更高，性能更好。研究了器件的可打印模型和工藝，給出壓力傳感器可打印的分層物理結(jié)構(gòu)；研究了平面結(jié)構(gòu)投影到三維基底上的投影空間，基于Terzopoulos彈性模型使用材料彈性度和結(jié)構(gòu)彈性度模型給出投影空間；使用射線投影NURBS曲線來(lái)擬合邊界輪廓，給出分層切片模型。為驗(yàn)證打印PZT膜的壓電性能以及設(shè)計(jì)的壓力傳感器件的功能，使用不同的機(jī)械負(fù)荷測(cè)試其剛度，使用不同的直流偏置來(lái)測(cè)試耗損因數(shù)、品質(zhì)因數(shù)等。通過比較實(shí)驗(yàn)對(duì)象的測(cè)量值和理論預(yù)測(cè)值之間的關(guān)系可以看出，打印的壓力傳感器薄膜具有很好的機(jī)械和電氣性能。

三維打印機(jī)；微機(jī)電系統(tǒng)制造；定點(diǎn)制備；彈性模型；個(gè)人導(dǎo)航系統(tǒng)

個(gè)人導(dǎo)航設(shè)備是科技化可穿戴產(chǎn)品，最早源于20世紀(jì)60年代?，F(xiàn)在可穿戴設(shè)備被定義為直接穿在身上，或是可整合到用戶的衣服或配件[1-2]上的任何便攜式設(shè)備。在2006年耐克公司推出內(nèi)植芯片球鞋，配上iPod和iPhone監(jiān)控軟件，使得此技術(shù)開始大眾化應(yīng)用。可穿戴的要求之一就是產(chǎn)品的體積小，重量輕，制備的工藝和材料都有很高的要求。壓電薄膜技術(shù)的出現(xiàn)使得可穿戴電子設(shè)備成為可能?？梢杂脡弘姾衲?lái)制造多種微型器件[3,6]，如微泵、超聲馬達(dá)、諧振器、熱釋電厚膜傳感器、厚膜執(zhí)行器、微能量拾取器等。目前，壓電膜的應(yīng)用主要集中在PZT膜的應(yīng)用上。PZT壓電膜可以用于MESM、壓電加速度轉(zhuǎn)換器等上面，其性能優(yōu)異，是應(yīng)用中廣受青睞的材料之一。制備工藝常見的有化學(xué)氣相沉積法、化學(xué)溶液沉積法、離子束濺射法、激光等離子體沉積和激光燒蝕等制備方法都可以得到較好的PTZ薄膜，這些方法基本上是在準(zhǔn)二維平面上工作。結(jié)合3-3型壓電材料的三維特性，使用三維微噴系統(tǒng)，可以制備精度更高，性能更好的壓電功能器件，也適合在物體表面不規(guī)則，或者在彎曲狀態(tài)下使用的情況。

本文研究使用復(fù)合壓電PZT材料和微噴式三維打印機(jī)（3DP）工藝，定點(diǎn)制備個(gè)人導(dǎo)航用壓力傳感器，研究制備打印過程的數(shù)字制造，實(shí)現(xiàn)精確定點(diǎn)制備儀器。使用Terzopoulos提出的彈性模型，建立薄膜器件的平面二維結(jié)構(gòu)到三維實(shí)體打印模型的映射關(guān)系，使得一個(gè)平面設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)器件可映射打印到多個(gè)外形不同的基底上，建立平面結(jié)構(gòu)薄膜三維制造的數(shù)學(xué)模型，并應(yīng)用于個(gè)人用導(dǎo)航系統(tǒng)（PNS）中壓力傳感器的設(shè)計(jì)制造。

1 可打印傳感器結(jié)構(gòu)和模型

在個(gè)人導(dǎo)航系統(tǒng)中，行人位于的高度可以靠壓力傳感器的信息計(jì)算出來(lái)的，其工作原理是將輸入信號(hào)（壓力）轉(zhuǎn)換為電阻變化，即通過惠斯登電橋架構(gòu)的壓阻式壓力傳感器感應(yīng)施加在薄隔膜上的壓力。在PNS的應(yīng)用中[10]，壓力傳感器的一個(gè)重要參數(shù)是靈敏度，高分辨率的小型壓力傳感器能夠準(zhǔn)確判斷出目標(biāo)位置是在橋上還是橋下，實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確定位。

1.1 個(gè)人導(dǎo)航用壓力傳感器可打印結(jié)構(gòu)

一般壓電材料具有較低的最大應(yīng)力范圍（典型值0.1%），較高的工作頻率[4]。通常情況下，應(yīng)力正比于外加電場(chǎng)。電場(chǎng)和應(yīng)力關(guān)系可由以下方程描述：

矩陣D和ES包含了材料的壓電常數(shù)和常規(guī)參數(shù)。相對(duì)來(lái)說較高的x=a/r和d31具有較好的壓電性能。機(jī)電耦合系數(shù)K是一個(gè)綜合反映壓電材料的機(jī)械能與電能之間耦合關(guān)系的物理量，是壓電材料進(jìn)行機(jī)-電能量轉(zhuǎn)換能力的反映。機(jī)電耦合系數(shù)的定義是：

K2=電壓效能轉(zhuǎn)換所得的機(jī)械能/總機(jī)械能 (3)

壓電振子的機(jī)械能與其形狀和振動(dòng)模式有關(guān)，不同的振動(dòng)模式將有相應(yīng)的機(jī)電耦合系數(shù)。平面耦合系數(shù)K12；橫向耦合系數(shù)K31；縱向耦合系數(shù)K33等。由振動(dòng)產(chǎn)生的電信號(hào)為：

圖1 壓力傳感器電路圖Fig.1 Circuit of pressure sensor

壓力傳感器中測(cè)量的重要部分是惠斯通電橋，輸出測(cè)量電壓和輸入源電壓的比值為：

由壓力的變化導(dǎo)致電阻的變化，使得輸出電壓也會(huì)產(chǎn)生變化，設(shè)計(jì)的平衡條件是R1R3=R2R4，可選擇R1=R2=R3=R4=R0, 此時(shí)，輸出vo=0，

在有壓力的作用下，電阻改變?yōu)椋?/p>

這可作為壓力傳感器的靈敏度指標(biāo)。設(shè)計(jì)單位面積內(nèi)膜片上傳感器結(jié)構(gòu)如圖2。理論上，壓力作用下，膜片上產(chǎn)生相應(yīng)的應(yīng)力，應(yīng)力最大點(diǎn)在邊的中心點(diǎn)。相對(duì)于電阻長(zhǎng)度的縱向l和橫向t的壓力，π是壓電系數(shù)，δ是壓力。相對(duì)阻抗值變換率為：

在垂直方向上：

在平行方向上：

因此平行于邊方向的邊中心的壓力為：

制備過程中采用分層打印策略，如圖2(b)。壓力傳感器使用PZT薄膜耦合在兩個(gè)電極間的硅，電極間使用AC驅(qū)動(dòng)信號(hào)，PZT層受壓產(chǎn)生周期振動(dòng)信號(hào)，依據(jù)此信號(hào)來(lái)計(jì)算壓力。頂部和底部的電極設(shè)計(jì)為金屬覆蓋全部硅膜[8]。結(jié)合微噴打印工藝，一般PZT層打印可分層按需打印20層以上。

圖2 器件可打印結(jié)構(gòu)Fig.2 Printable structure of the device

1.2 打印模型

使用3DP打印制備MEMS器件時(shí)使用的是數(shù)字模型[5]。為了實(shí)現(xiàn)器件從二維設(shè)計(jì)平面映射到基底上的三維空間，需要建立平面二維模型到三維實(shí)體打印模型的映射關(guān)系。使用Terzopoulos[7]等提出的彈性模型，建立彈性映射空間，可滿足不同基底形狀的要求。目前使用STL模型來(lái)表示三維打印的模型輪廓最為常見，也就是用三角形切片來(lái)表示。三角形的三個(gè)點(diǎn)可看為質(zhì)點(diǎn)，三角形按序連接，形成二維或三維結(jié)構(gòu)。點(diǎn)與點(diǎn)之間的關(guān)系分為兩種：材料彈性關(guān)系和結(jié)構(gòu)彈性關(guān)系。材料彈性體現(xiàn)點(diǎn)與點(diǎn)在制備材料上的差異，結(jié)構(gòu)彈性體現(xiàn)上下層點(diǎn)與點(diǎn)在結(jié)構(gòu)上的差異，彈性度代表了投影的空間范圍。

用Hook定律來(lái)描述材料的變形力?？紤]P0點(diǎn)及與其相連的n個(gè)質(zhì)點(diǎn)：p1,p2,...,pn∈IR3，則P0點(diǎn)的彈性變形力和彈性變形能為：

式中：ci是材料的變形系數(shù)，表示的質(zhì)點(diǎn)間的距離，di表示p0與pi之間的初始距離，NPi-P0表示從p0指向pi的單位矢量。彈性系數(shù)依據(jù)可打印成型材料的特性參數(shù)給出。不同材料具有不同的彈性變形系數(shù)。

彈性質(zhì)點(diǎn)作為測(cè)量壓力的關(guān)鍵點(diǎn)，而質(zhì)點(diǎn)的信息包含可映射的范圍。在打印到不同形狀的基底上時(shí)，質(zhì)點(diǎn)映射位置是保證實(shí)現(xiàn)傳感器功能的重要參數(shù)。

本文設(shè)計(jì)一種模型，此模型是以質(zhì)點(diǎn)彈性信息來(lái)建立投影空間，使得這個(gè)空間內(nèi)的基底形狀都可以得到相應(yīng)的映射。以彈性質(zhì)點(diǎn)為關(guān)鍵點(diǎn)，彈性質(zhì)點(diǎn)，其中，fi是pi點(diǎn)的彈性變形力，Ei是彈性變形能，mi是材料變形系數(shù)，mi∈M，cj是結(jié)構(gòu)彈性系數(shù)，ci∈C。

假定薄膜受壓力在由初始l0變形為l過程中，絕對(duì)變形量為Δl=l-l0，相對(duì)變形量為軸上的分量ui為某點(diǎn)受力作用發(fā)生的位移，

應(yīng)變張量為：

正應(yīng)變?yōu)?ε11,ε22,ε33)，切應(yīng)變?yōu)棣脁y=ε12+ε21=2ε12，體積變換為

則材料的變形系數(shù)M為：

由M可得到材料彈性變形范圍，可由材料彈性度ψ來(lái)描述：

式中：li∈L，ijε∈ε。

使用3DP分層打印過程中，層與層之間彈性關(guān)系的描述使用結(jié)構(gòu)彈性系數(shù)C。層與層之間如果使用的是相同材料，那么彈性相同，用1來(lái)表示；如果材料不同，那么相當(dāng)于彈簧結(jié)構(gòu)中各項(xiàng)異性的彈性關(guān)系，用其彈性系數(shù)A來(lái)描述。廣義胡克定律為：

層與層之間的連接模型如圖3(b)。上下兩層之間的正變彈性模量為：

等效為各向異性的系數(shù)為：

圖3 三角形網(wǎng)格的彈簧質(zhì)點(diǎn)模型Fig.3 Elastic mass point in triangle mesh

則結(jié)構(gòu)彈性變形系數(shù)為：

二維結(jié)構(gòu)薄膜到三維成型的變形求解問題可描述為：尋找二維平面上彈性質(zhì)點(diǎn)在投影到三維基底上時(shí)，每層打印的質(zhì)點(diǎn)坐標(biāo)在保證上下層之間結(jié)構(gòu)彈性范圍ψ和材料彈性范圍η的基礎(chǔ)上，使分辨率符合設(shè)計(jì)要求。分辨率與結(jié)構(gòu)彈性度和材料彈性度有負(fù)向相關(guān)性。

確定映射空間，二維到三維變形模型的求解主要以下幾點(diǎn)：

① 邊界擬合。薄膜壓力傳感器的設(shè)計(jì)是平面的，在打印到不同的物體表面時(shí)是三維立體的；在擬合的過程中，從邊界開始，先給出基底的周長(zhǎng)，然后計(jì)算質(zhì)點(diǎn)平均距離，保證在彈性力范圍ψ內(nèi)。

② 中心點(diǎn)擬合。在第三維度上（Z軸）上找到最大最小值，把薄膜器件的彈性能較大的中心點(diǎn)投影到最大/最小Z軸上，層數(shù)估算并保證結(jié)構(gòu)彈性范圍η內(nèi)。

③ 按彈性力和彈性能，依次投影模型質(zhì)點(diǎn)，擬合三角形平面，并計(jì)算分辨率。

④ 分辨率符合要求，則得到的三角形平面按序排列形成打印需要的STL文件；如果分辨率不符合要求，則重新選擇中心點(diǎn)，然后返回第②步重新開始執(zhí)行。

⑤ 使用分層算法獲得每層打印的數(shù)字模型[9]。

2 制備過程模型

使用分層算法獲得每層打印的模型。掃描基底形狀，按層厚分層。第一層即基底，其中心作為第一層的原點(diǎn)。使用射線投影NURBS邊線法[9]確定每一層的打印高度和邊界，實(shí)現(xiàn)對(duì)質(zhì)點(diǎn)的點(diǎn)云模型分層。射線法是以原點(diǎn)為中心，以初始角度ε為位移位置，依次照射分割整個(gè)圖形邊線點(diǎn)云，確定邊界盒子，遍歷后得到模型邊界盒子。盒子的入口點(diǎn)和出口點(diǎn)作為NURBS的控制點(diǎn)，可得到邊界輪廓曲線。

由第i個(gè)分層截面特征點(diǎn)云數(shù)據(jù)構(gòu)建K次NURBS曲線為Ci，則Ci是由分段有理B樣條多項(xiàng)式基函數(shù)定義的，即：

式中：Ci(u)為曲線的參數(shù)化表示形式，u∈U，U為節(jié)點(diǎn)矢量；Ni,k(u)為U定義的k次B樣條基函數(shù)；dj為控制點(diǎn)，k為基函數(shù)的次數(shù)，ωj為響應(yīng)控制點(diǎn)的權(quán)因子。階次一般按合理性選擇[10]。

圖4 Ray-NURBS 法確定擬合輪廓線Fig.4 Contour fitting using Ray-NURBS

在射線所覆蓋的每一片內(nèi)的點(diǎn)遍歷，求解變量u，遵守的準(zhǔn)則是：由此方向確定的曲線與射線θ盒內(nèi)最遠(yuǎn)點(diǎn)的距離小于系統(tǒng)公差ε。

計(jì)算分層打印模型的步驟為：

① 將彈性質(zhì)點(diǎn)的點(diǎn)云數(shù)據(jù)根據(jù)指定分層厚度和分層方向，得到每層內(nèi)的點(diǎn)；② 將一層內(nèi)的點(diǎn)排序并連接，得到初始截面輪廓；③ 初始截面輪廓的均勻化處理[9]；④ 進(jìn)入下一層，尋找截面輪廓，直到最后一層。

3 性能研究

制備的壓力傳感器是面積約為15 mm2的MEMS器件，設(shè)計(jì)的器件結(jié)構(gòu)如圖5所示。重要的機(jī)械和電氣特性參數(shù)包括壓電耦合系數(shù)d31、介電常數(shù)ε33、耗散因數(shù)δ等。制備的實(shí)驗(yàn)樣品模型如圖5所示。需要進(jìn)行測(cè)量的性能包括電阻值、彎曲度、壓力響應(yīng)等。

圖5 薄膜器件設(shè)計(jì)圖Fig.5 Thin film design of MEMS device

3.1 可彎曲度測(cè)量

在一定負(fù)載壓力下，彎曲度的公式為：

所以，在r=0時(shí)，

當(dāng)電路半徑為400 μm時(shí)，理論預(yù)測(cè)的彎曲度為22.8 μnm，中心距為18.6 nm/kPa，而實(shí)驗(yàn)曲線斜率為18.2 nm/kPa，計(jì)算彎曲度為22.3 μnm，測(cè)量值和預(yù)測(cè)值誤差近似為1%。剛度如圖6所示。

圖6 剛度測(cè)試Fig.6 Stiffness measurement

3.2 壓力響應(yīng)測(cè)量

不同尺度的器件具有不同的頻率響應(yīng)，一般研究所關(guān)心頻率范圍內(nèi)的數(shù)據(jù)點(diǎn)的性能。膜片的頻率響應(yīng)與其動(dòng)力回復(fù)力的類型有關(guān)，而回復(fù)力與其結(jié)構(gòu)有關(guān)。薄膜結(jié)構(gòu)的和金屬結(jié)構(gòu)的回復(fù)力分別來(lái)自于張力和剛度。N層夾薄膜的抗彎剛度的計(jì)算公式為[4]：

式中，Yn是彈性系數(shù)，vn是相對(duì)位置，hn是最上一層的高度，zs是中和平面的高度。使用抗彎度兩個(gè)相對(duì)重要的回復(fù)力可計(jì)算為：

式中：T是薄膜張力；a是薄膜電路膜片半徑，如果β＞1，則表現(xiàn)為類似于薄膜式的；如果β＜1，則表現(xiàn)于類似于金屬片式的。傳統(tǒng)儀器設(shè)計(jì)中，依據(jù)幾何外形和壓力精確地給出兩種形式的振動(dòng)頻率，然而這里β的變化范圍為0.53，意味著張力和剛度都需要考慮。Muralt[8]估計(jì)了振動(dòng)頻率：

由壓力響應(yīng)由幅值和變形函數(shù)乘積得到：

式中：w是薄片垂直方向的壓力響應(yīng)；A是變形幅度；J0是0階Bessel函數(shù)；λ0和α是與振動(dòng)模式有關(guān)的常數(shù)；x=a/r，是無(wú)量綱徑向位置，r是徑向位置，a是電路圖半徑。式(26)稱為位移方程。

一定電壓值下位于電路圖中心位置的位移函數(shù)等效于的壓力響應(yīng)，把d31作為已知參數(shù)，取值為d31=-75pC/N。位移測(cè)試如圖7所示。

圖7 壓力響應(yīng)測(cè)量Fig.7 Measurement of tension response

3.3 器件的電氣性能測(cè)試

PZT膜的介電屬性、固有頻率、品質(zhì)因數(shù)等都與電阻參數(shù)有關(guān)。電容率與電路消耗與頻率相關(guān)，變化范圍很大。實(shí)驗(yàn)中，在1 kHz頻率下測(cè)量介電常數(shù)。

損耗因數(shù)計(jì)算為：

式中：ω是測(cè)量頻率，A是電極面積，ε0是初始空間內(nèi)電容率ε0=8.85·10-12。三組樣品N 次實(shí)驗(yàn)結(jié)果的測(cè)量值如表 1所示，電容率變化范圍是750890 F/m，相對(duì)較小。損耗因數(shù)范圍為2.4%2.8%，在合理范圍內(nèi)。對(duì)于給定參數(shù)，利用C1、R1、L1、C0可計(jì)算出器件的品質(zhì)因數(shù)、共振頻率。在表1所示的三個(gè)樣品中，d1是膜片半徑，d2是電極半徑。

表1 性能測(cè)試表Tab.1 Performance tests

3.4 結(jié) 論

為了驗(yàn)證打印PZT膜的壓電性能及設(shè)計(jì)的壓力傳感器件的功能，通過實(shí)驗(yàn)，使用不同的機(jī)械負(fù)荷測(cè)試其剛度，通過不同的直流偏置來(lái)測(cè)試耗損因數(shù)、品質(zhì)因數(shù)等。打印PZT壓力耦合系數(shù)d31在-74pC/N到-96pC/N之間，用1 kHz 下測(cè)得的電阻計(jì)算出的電容率在760880 F/m。介電消耗因數(shù)為2.5% 2.9%。進(jìn)一步，用共振頻率上測(cè)量的電阻來(lái)計(jì)算器件的性能，研究空氣質(zhì)量負(fù)荷和阻尼對(duì)性能的影響。最后通過測(cè)量值和理論預(yù)測(cè)值之間的關(guān)系可以看出，所制備的三維器件具有很好的性能，并且制備過程簡(jiǎn)單?？梢钥闯?，使用3DP打印制備MEMS具有廣闊的應(yīng)用前景。

[6] Virtanen J, Ukkonen L, Bj?rninen T. Inkjet-Printed Humidity Sensor for Passive UHF RFID Systems[J]. IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement, 2011, 60: 2768-2777.

[7] Terzopoulos D, Waters K. Analysis and synthesis of facial image sequences using physical and anatomical models[J]. IEEE Trans. on Pattern Analysis and Machine Intelligence, 1993, 15(6): 569-579.

[8] Bathurst S P. Inkjet printing of PZT Thin Films for MEMS [D]. Massachusetts Institute of Technology, 2012: 83-95.

[9] Li Na, Yang Ji Quan, Cheng Ji Hong. Slicing method from data cloud for 3DP based on ray-NURBS[J]. International Journal of Advancements in Computing Technology, 2013, 5(14): 196-202.

[10] 張金亮, 秦永元, 梅春波. 基于MEMS慣性技術(shù)的鞋式個(gè)人導(dǎo)航系統(tǒng)[J]. 中國(guó)慣性技術(shù)學(xué)報(bào), 2011, 19(3)：253-256. Zhang Jin-Liang, Qin Yong-Yuan, Mei Chun-bo. Shoemounted personal navigation system based on MEMS inertial technology[J]. Journal of Chinese Inertial Technology, 2011, 19(3): 253-256.

Digital model of pressure sensor used in PNS for 3DP manufacture

LI Na1,2, CHENG Ji-hong1,2, YANG Ji-quan1,2
(1. School of Electrical and Automation Engineering, Nanjing Normal University, Nanjing 210042, China; 2. Laboratory of 3DP Equipment and Manufacturing of Jiangsu Province, Nanjing 210042, China)

The manufacture of MEMS pressure sensor in personal navigation system was studied based on a 3D micro-jet printer since MEMS devices with micro-jet printing have higher performance and precision on uneven and bending surface. The printable device model and technique were studied, and the printable layered physical structure was given. 2D-to-3D projection model and space are studied, and the material elastic degree and structure elastic degree models were given to get projection space based on Terzopoulos elastic model. NURBS curves were used to match the contour and get a layered slicing model. In the test, the stiffness was examined with different mechanical loads, and the dissipation factor and quality factor were obtained from different DC biases. The differences between theory prediction values and measurement values were in a reasonable range. The function of printable pressure sensor was achieved, and the electrical and mechanical performances were great. It is a useful model for device fabrication using electric paste based on 3D printing.

3D print; MEMS manufacture; fixed-point print; elastic model; personal navigate system

TP391

A

1005-6734(2015)02-0252-06

10.13695/j.cnki.12-1222/o3.2015.02.020

2014-11-29；

2015-03-24

國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目（61273243、51407095）；江蘇省高校自然科學(xué)研究項(xiàng)目（13KJB460011）；江蘇省科技成果轉(zhuǎn)化專項(xiàng)資金項(xiàng)目（BA2013058）；江蘇省科技基礎(chǔ)設(shè)施重點(diǎn)項(xiàng)目（BM2013006）

李娜（1977—），女，博士，講師，三維打印制備柔性器件。E-mail：linananjing@163.com