雷冰冰， 盧文科， 趙春鋒

(東華大學(xué) 信息科學(xué)與技術(shù)學(xué)院，上海 201620)

高靈敏度SAW紗線(xiàn)張力傳感器研究*

雷冰冰， 盧文科， 趙春鋒

(東華大學(xué) 信息科學(xué)與技術(shù)學(xué)院，上海 201620)

靈敏度是聲表面波(SAW)紗線(xiàn)張力傳感器成功檢測(cè)紗線(xiàn)張力的關(guān)鍵。通過(guò)對(duì)SAW紗線(xiàn)張力傳感器的靈敏度和基片應(yīng)變率之間關(guān)系的研究，提出了通過(guò)增加基片應(yīng)變率來(lái)提高傳感器靈敏度的理論。以該理論為指導(dǎo)，給出了通過(guò)靈活設(shè)計(jì)基片尺寸來(lái)獲得最佳基片應(yīng)變率的設(shè)計(jì)方案。為了得到最佳基片應(yīng)變率對(duì)應(yīng)的基片尺寸，建立了基片應(yīng)變率和基片尺寸之間的數(shù)學(xué)模型，提出了求解最大基片應(yīng)變率所對(duì)應(yīng)基片尺寸的線(xiàn)性規(guī)劃模型，即最佳靈敏度所對(duì)應(yīng)基片尺寸。實(shí)驗(yàn)表明：該方法可以有效提高SAW紗線(xiàn)張力傳感器的靈敏度，靈敏度達(dá)3 132.4 Hz/gf。

聲表面波; 靈敏度； 紗線(xiàn)張力傳感器； 基片應(yīng)變率； 線(xiàn)性規(guī)劃

0 引 言

聲表面波(surface acoustic wave, SAW)傳感器對(duì)其基片表面或者附近的物理、化學(xué)特性敏感[1,2]。對(duì)SAW傳感器來(lái)說(shuō)，外界的擾動(dòng)會(huì)引起其傳輸媒質(zhì)和波的傳輸特性的改變。目前，SAW傳感器已廣泛地應(yīng)用于對(duì)物理量[3,4]、化學(xué)量[5～7]的檢測(cè)。采用SAW傳感器測(cè)量紗線(xiàn)張力具有高精度、高靈敏度、響應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn)。其中，靈敏度作為衡量SAW紗線(xiàn)張力傳感器的一個(gè)重要技術(shù)指標(biāo)，是判定SAW紗線(xiàn)張力傳感器檢測(cè)紗線(xiàn)張力成功與否的關(guān)鍵。

為了提高SAW紗線(xiàn)張力傳感器的靈敏度，本文分析改變SAW紗線(xiàn)張力傳感器基片應(yīng)變率對(duì)于靈敏度產(chǎn)生的影響，提出了基于ANSYS的高靈敏度SAW紗線(xiàn)張力傳感器的設(shè)計(jì)方法。實(shí)驗(yàn)表明：該方法可以有效提高SAW紗線(xiàn)張力傳感器的靈敏度。

1 傳感器結(jié)構(gòu)與原理

SAW紗線(xiàn)張力傳感器結(jié)構(gòu)示意圖如圖1所示，主要由金屬底座、石英墊片、傳感器基片、導(dǎo)紗環(huán)、吸聲材料構(gòu)成。點(diǎn)P為導(dǎo)紗環(huán)和傳感器基片之間的粘接點(diǎn)，并且點(diǎn)P位于點(diǎn)X和點(diǎn)Z的正中。定義SAW紗線(xiàn)張力傳感器基片長(zhǎng)為L(zhǎng)、寬為W，石英墊片長(zhǎng)為L(zhǎng)s、寬為Ws，基片頂邊到叉指換能器頂端的距離為dt，基片左邊到叉指換能器最左端的距離為dl。

SAW紗線(xiàn)張力傳感器使用42°Y-X石英基片，采用光刻法制成SAW延遲線(xiàn)型傳感器，其工作頻率為169.4 MHz。當(dāng)紗線(xiàn)張力被施加在導(dǎo)紗環(huán)時(shí)，SAW紗線(xiàn)張力傳感器基片將產(chǎn)生應(yīng)變，這會(huì)引起SAW傳播速度和叉指換能器波長(zhǎng)的變化，進(jìn)而改變SAW延遲線(xiàn)型傳感器的輸出頻率，亦即可通過(guò)檢測(cè)傳感器輸出頻率變化來(lái)測(cè)量紗線(xiàn)張力的大小。若SAW紗線(xiàn)張力傳感器的輸出頻率為f，則有

f=f0+Δf,

(1)

式中f0為在紗線(xiàn)張力為零時(shí)傳感器的輸出頻率，Δf為紗線(xiàn)張力不為零時(shí)傳感器輸出頻率的變化值。

圖1 SAW紗線(xiàn)張力傳感器結(jié)構(gòu)圖

2 傳感器設(shè)計(jì)

2.1 傳感器靈敏度和基片應(yīng)變率之間的關(guān)系

SAW紗線(xiàn)張力傳感器基片的應(yīng)力—應(yīng)變示意圖如圖2所示。在圖2中，當(dāng)紗線(xiàn)張力被施加在受力點(diǎn)P時(shí)，壓電基片將產(chǎn)生應(yīng)變，并且總有點(diǎn)Mx產(chǎn)生最大矢量位移，定義最大矢量位移為ΔL。由于ΔL/L的值總是小于0.2 %，所以,假定壓電基片是沿長(zhǎng)度方向被拉伸，且拉伸量為ΔL,于是，壓電基片的應(yīng)變可寫(xiě)為

(2)

圖2 壓電基片應(yīng)力—應(yīng)變示意圖

壓電基片的應(yīng)變會(huì)引起SAW傳播速度和叉指換能器波長(zhǎng)的變化，這樣SAW紗線(xiàn)張力傳感器輸出頻率和基片應(yīng)變之間的函數(shù)關(guān)系可表示為[8]

(3)

式中k′為材料常數(shù)，λ0,v0分別為紗線(xiàn)張力為零時(shí)叉指換能器的波長(zhǎng)、SAW傳播速度。

聯(lián)合式(1)和式(3)，可得

Δf=f-f0=f0ε(k′-1).

(4)

因?yàn)槭⒌膽?yīng)力—應(yīng)變關(guān)系是線(xiàn)性關(guān)系，式(2)可變換為

(5)

式中 ΔL′為單位力所引起的基片矢量位移。

把式(5)代入式(4)，得

(6)

(7)

式中 α為SAW紗線(xiàn)張力傳感器的靈敏度。

α=βε′,

(8)

式中β為常系數(shù)，ε′為單位力在單位長(zhǎng)度基片上所能夠引起的矢量位移，定義ε′為SAW紗線(xiàn)張力傳感器的基片應(yīng)變率。

由于f0>0，(k′-1)>0，可得β>0，所以,式(8)中參數(shù)α和參數(shù)ε是正相關(guān)的,即SAW紗線(xiàn)張力傳感器的基片應(yīng)變率越高，則其靈敏度就會(huì)越高。由此可見(jiàn)，可以通過(guò)增加SAW紗線(xiàn)張力傳感器的基片應(yīng)變率來(lái)實(shí)現(xiàn)SAW紗線(xiàn)張力傳感器靈敏度的提高。研究發(fā)現(xiàn)，在基片厚度已定的情況下，SAW紗線(xiàn)張力傳感器的基片應(yīng)變率會(huì)隨基片尺寸的改變而變化，如此，則可以通過(guò)改變基片尺寸來(lái)靈活設(shè)計(jì)傳感器的靈敏度，并且得到具有最佳靈敏度的SAW紗線(xiàn)張力傳感器。為了實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)，需要建立基片應(yīng)變率和基片尺寸之間的數(shù)學(xué)模型。

2.2 傳感器基片應(yīng)變率和基片尺寸之間的關(guān)系

改變傳感器基片尺寸會(huì)引起傳感器基片應(yīng)變率的變化，所以，可以稱(chēng)參數(shù)L,W為解釋變量，參數(shù)ε′為被解釋變量。那么，根據(jù)被解釋變量和解釋變量之間的因果關(guān)系，使用多元線(xiàn)性回歸分析方法，SAW紗線(xiàn)張力傳感器基片應(yīng)變率和基片尺寸之間的數(shù)學(xué)模型可表示為

ε′=k0+k1L+k2W+k3L2+k4LW+k5W2+k6L3+k7L2W+k8LW2+k9W3+e,

(9)

式中k0,…,k9為回歸系數(shù)，e為隨機(jī)誤差。

(10)

圖3是長(zhǎng)7mm、寬3mm的基片，在施加20gf紗線(xiàn)張力時(shí)基片應(yīng)力—應(yīng)變有限元仿真結(jié)果，可見(jiàn)基片產(chǎn)生最大矢量位移為0.001 992mm(1 992nm)，則該基片的應(yīng)變率經(jīng)計(jì)算為14.23×10-6。不同尺寸基片的應(yīng)力—應(yīng)變有限元仿真結(jié)果如表1。

圖3 基片應(yīng)力—應(yīng)變有限元模型仿真結(jié)果

表1 傳感器基片應(yīng)力—應(yīng)變有限元模型仿真結(jié)果

基于表1中的數(shù)據(jù)樣本，采用最小二乘法求解式(9)的回歸系數(shù)，得k0=49.284 7,k1=1.301 7,k2=-33.883 7,k3=0.546 6,k4=-1.225 7,k5=8.135 2,k6=-0.001 8,k7=-0.068 3,k8=0.186 8,k9=-0.659 8。將回歸系數(shù)代入式(9)，可以得到SAW紗線(xiàn)張力傳感器基片應(yīng)變率和基片尺寸之間的函數(shù)關(guān)系為

ε′=49.284 7+1.301 7L-33.883 7W+0.546 6L2- 1.225 7LW+8.135 2W2-0.001 8L3- 0.068 3L2W+0.186 8LW2-0.659 8W3.

(11)

在式(11)中，參數(shù)ε′的相關(guān)系數(shù)R2=0.999 3，其擬合曲面如圖4所示。

圖4 傳感器基片應(yīng)變率與其尺寸的關(guān)系曲線(xiàn)

2.3 SAW紗線(xiàn)張力傳感器最佳靈敏度的求解

SAW紗線(xiàn)張力傳感器靈敏度是SAW紗線(xiàn)張力傳感器基片應(yīng)變率的單調(diào)增函數(shù)，所以,可以得到SAW紗線(xiàn)張力傳感器的最佳靈敏度在傳感器基片應(yīng)變率取最大值時(shí)。根據(jù)式(11)可知，SAW紗線(xiàn)張力傳感器基片應(yīng)變率會(huì)隨傳感器基片尺寸變化而改變。那么，為了得到SAW紗線(xiàn)張力傳感器的最大基片應(yīng)變率，建立一個(gè)線(xiàn)性規(guī)劃模型來(lái)達(dá)到這一目的。同時(shí)考慮SAW紗線(xiàn)張力傳感器基片尺寸受限于實(shí)際應(yīng)用環(huán)境和叉指換能器的尺寸，選取合適的約束條件,這一線(xiàn)性規(guī)劃模型可以表示為

maxε′,

s.t. 7≤L≤19,3≤W≤6.

使用工具軟件Lingo求解線(xiàn)性規(guī)劃模型可得，在L=19 mm，W=3 mm時(shí)，基片應(yīng)變率ε′取得最大值100.85×10-6，此時(shí)SAW紗線(xiàn)張力傳感器的靈敏度可取得最大值。

3 實(shí) 驗(yàn)

制作基片長(zhǎng)19 mm、寬3 mm的SAW紗線(xiàn)張力傳感器S1來(lái)驗(yàn)證分析結(jié)果，傳感器其它設(shè)計(jì)參數(shù)為L(zhǎng)s=3 mm,Ws=2.5 mm,dl=1.2 mm,dt=0.3 mm。傳感器S1的測(cè)試結(jié)果如表2。根據(jù)式(6)，使用最小二乘法，可得傳感器S1輸出頻率變化值和紗線(xiàn)張力之間的函數(shù)關(guān)系為

Δf=206.8+3132.4F.

(12)

在式(12)中，參數(shù)Δf的相關(guān)系數(shù)R2=0.999 9，其擬合曲線(xiàn)如圖5所示。

表2 傳感器S1測(cè)試結(jié)果

圖5 傳感器頻率變化量與紗線(xiàn)張力的關(guān)系曲線(xiàn)

如式(12)所示，SAW紗線(xiàn)張力傳感器S1的靈敏度可達(dá)3 132.4 Hz/gf。為了驗(yàn)證分析結(jié)果的正確性，隨機(jī)制作尺寸區(qū)間范圍內(nèi)5個(gè)不同尺寸基片的傳感器，它們的設(shè)計(jì)參數(shù)和靈敏度如表3，其中參數(shù)Ws,dl,dt同傳感器S1。在表3，可以看到5個(gè)不同基片尺寸的傳感器靈敏度均小于傳感器S1的靈敏度，由此可知基于ANSYS的高靈敏度SAW紗線(xiàn)張力傳感器設(shè)計(jì)方法是有效的。同時(shí)證明通過(guò)靈活設(shè)計(jì)SAW紗線(xiàn)張力傳感器基片尺寸來(lái)提高SAW紗線(xiàn)張力傳感器靈敏度的方法是可行的。

表3 傳感器S2～S6設(shè)計(jì)參數(shù)和靈敏度

4 結(jié) 論

本文通過(guò)對(duì)SAW紗線(xiàn)張力傳感器靈敏度和SAW紗線(xiàn)張力傳感器基片應(yīng)變率之間關(guān)系的研究，提出了通過(guò)增加基片應(yīng)變率來(lái)提高傳感器靈敏度的理論，即通過(guò)調(diào)整基片尺寸，使得傳感器的壓電基片取得最大應(yīng)變率，此時(shí)對(duì)應(yīng)基片尺寸的SAW紗線(xiàn)張力傳感器能夠獲得最佳靈敏度。本方法基于有限元仿真軟件ANSYS實(shí)現(xiàn)，能夠有效提高SAW紗線(xiàn)張力傳感器的靈敏度，也可用于其它基于懸臂梁結(jié)構(gòu)SAW力敏傳感器的設(shè)計(jì)中，并且高效、成本低廉。

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Research on high-sensitivity SAW yarn tension sensor*

LEI Bing-bing, LU Wen-ke, ZHAO Chun-feng

(School of Information Science and Technology,Donghua University,Shanghai 201620,China)

Sensitivity is the key in process of successful detection on yarn tension using SAW yarn tension sensor.By studying relationship between sensitivity of SAW yarn tension sensor and substrate strain rate of SAW yarn tension sensor,propose a theory,which can improve sensor sensitivity through increasing substrate strain rate.Based on the theory,a scheme is given to obtain the optimal substrate strain rate through flexibly design substrate size.In order to obtain substrate size corresponding to the optimal substrate strain rate,mathematical model between substrate strain rate and substrate size is established;a linear programming model is proposed to solve the substrate size corresponding to the maximum substrate strain rate,that is the substrate size corresponding to the optimal sensitivity.Experimental results confirm that the method can significantly increase SAW yarn tension sensor sensitivity up to 3 132.4 Hz/gf.

SAW; sensitivity; yarn tension sensor; substrate strain rate; linear programming

10.13873/J.1000—9787(2015)04—0045—04

2014—08—21

國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(61274078)；教育部博士點(diǎn)基金資助項(xiàng)目(20120075110006)；上海市教育委員會(huì)科研創(chuàng)新項(xiàng)目(13ZZ049)；中央高?；究蒲袠I(yè)務(wù)費(fèi)專(zhuān)項(xiàng)資金資助項(xiàng)目(CUSF—DH—D—2014056)

TP 212

A

1000—9787(2015)04—0045—04

雷冰冰(1985-)，男，河南偃師人，博士研究生，研究方向?yàn)楸砻娌ㄆ骷?、傳感器?/p>