王 濤（ 天津普林電路股份有限公司，天津 300250）

AOI測試機常見假點調試及個案分析

王 濤
（ 天津普林電路股份有限公司，天津 300250）

AOI全稱為自動光學檢查機，AOI是基于光學原理對電路板生產過程中遇到的常見缺陷進行檢測的設備。本文以Camtek測試機為例，敘述一些常見的假缺陷（假點）問題，及本人采取的調試措施。

1 遮蓋問題

如圖1所示，圖形中的網(wǎng)格會被當做線細報出缺陷，而且網(wǎng)格上的缺陷也不影響產品，我們將網(wǎng)格遮蓋，以便測試。此外字母，數(shù)字也會報出很多假點，影響AOI測試，也采取遮蓋的辦法進行調試。

圖1 網(wǎng)格電路圖

還有，銅面上較細的連接處，或延伸出來的較細的圖形，會以假線細的形式報出缺陷，影響AOI正常掃描，確認其不影響性能且無關網(wǎng)絡連接的情況下，將其遮蓋后測試。非金屬化孔也需要用到遮蓋的辦法，堵孔后，其周圍會報出缺陷，可以將其遮蓋，或在堵孔界面選擇需要堵的孔延伸其數(shù)值來解決此類問題。

遮蓋是AOI測試時常用的調試方法，但遮蓋前必需經(jīng)過確認，也不可遮蓋范圍過大，以免遮到檢測區(qū)域中的線路圖形。

2 孔偏問題

如圖2所示，孔偏以MIC算法報出CMTS缺陷，未破環(huán)，進一步確認若孔偏在讓步范圍之內，將孔環(huán)參數(shù)中的Find All選項改設置為Neck ONLY，只測頸部，解決此類問題。外層AOI測試常會遇到孔偏但未破環(huán)的缺陷，首枚測試不建議調試，調試孔偏會影響孔環(huán)其他缺陷的偵測，可能引起固定點缺陷。

圖2 孔偏

3 拉動灰階值

灰階值是AOI測試機中的一個重要參數(shù)，初始數(shù)據(jù)制作對灰階的調試范圍有相應的規(guī)定，初始制作不可超出范圍，對于不同類型的假點再做相應的調試。如圖3所示，掃描后以feature black nick 算法報出基材陰影（此類問題的出現(xiàn)因設備性能而異），這時我們需要上調左峰灰階，將基材陰影調掉。 此外灰階也用于調試對應算法報出的缺陷，在此不一一舉例。

圖3 灰階值

4 敏感度

經(jīng)常會遇到銅面或線路上有微小可讓步的小缺口（以線寬1/4為標準），是可以忽略的缺陷，此時，我們可以通過調節(jié)缺口的敏感度來解決此類問題，反之，微小突銅也可以通過調節(jié)此參數(shù)解決。

敏感度雖然會過濾掉小缺陷，也有漏測風險，一般情況下不建議調試。

個案分析：

（1）線細接近0.03 mm。測試0.03 mm的線路板，接近設備能力極限，以CMTS DEFECT報出缺陷，且左右灰階拉開范圍越大，報假點越多，調試次工號時，反向拉動灰階，并關閉MIC算法，只通過feature和DRC算法捕捉缺陷，可以測試。

（2）反銅箔板材。反銅箔的板材正常的參數(shù)下無法測試，報出很多假點，對于此類板材，需通過改變光的反射強度來測試，且基于不同設備能不同做不同改變。

5 小結

使用好AOI機需了解設備的能力，并配合參數(shù)的調試，保證工藝與生產的配合進行。不得不承認，在不做任何調試，用初始參數(shù)做測試，也存在漏測的風險，只是相對概率低，調整參數(shù)后，在過濾掉假點的同時也影響到了真正缺陷的偵測能力，在存在多種解決辦法和調整方案的時候，應基于選擇最低漏測風險，以最佳工藝參數(shù)配合生產的高效進行。

[1] CAMTEK AOI系統(tǒng)操作手冊, 版本B.

[2] EyeQ系統(tǒng)操作手冊,2008.

[3] Dragon Application Training Rule Edit, 2008.

王濤，AOI工序工藝工程師。

AOI testing common false defect method and individual cases analyse

WANG Tao