倪云舫，李宏生，楊 波，黃麗斌，趙立業(yè)，王 攀，劉 嘉

（東南大學 儀器科學與工程學院 微慣性儀表與先進導航技術教育部重點實驗室，南京 210096）

硅微陀螺正交誤差直流校正設計與分析

倪云舫，李宏生，楊 波，黃麗斌，趙立業(yè)，王 攀，劉 嘉

（東南大學 儀器科學與工程學院 微慣性儀表與先進導航技術教育部重點實驗室，南京 210096）

為硅微陀螺設計了一種正交誤差直流校正方法，通過設計校正結構和加載直流電壓實現(xiàn)正交校正。建立了存在正交誤差時敏感質(zhì)量的運動微分方程，分析明確了正交響應的成因和對驅(qū)動運動軌跡的影響。為硅微陀螺設計了正交校正結構，實現(xiàn)構建靜電耦合彈性系數(shù)并利用驅(qū)動運動產(chǎn)生校正靜電力。校正力的頻率和相位無需電路控制，使該方法相較于傳統(tǒng)校正方法具備特殊優(yōu)勢。設計并分析了校正電壓的兩種加載方式，通過實驗測試驗證了正交響應幅值隨校正電壓的變化規(guī)律。實測校正電壓接近理論值，證明了校正結構設計的正確性。該方法在雙線振動式硅微陀螺中具有重要應用價值。

硅微陀螺；正交誤差；正交校正；直流電壓；結構設計

硅微陀螺基于硅微機械加工工藝制造，因其相較于傳統(tǒng)陀螺體積小、功耗低、可量產(chǎn)等優(yōu)勢，在商業(yè)和軍事領域均有廣泛應用[1-3]。硅微陀螺為哥氏振動陀螺的一種，利用哥氏效應使驅(qū)動振動耦合到檢測方向進行角速度檢測。然而，由于加工誤差等非理想因素的存在，驅(qū)動方向和檢測方向的運動之間還存在其他耦合機制，如彈性耦合、阻尼耦合、靜電耦合等，使得在沒有角速度輸入的情況下，硅微陀螺的檢測方向仍有振動信號輸出，直接影響其零偏穩(wěn)定性和零偏溫度穩(wěn)定性等關鍵性能。由于硅微陀螺的彈性梁對加工誤差十分敏感，彈性耦合一般最為嚴重，其造成的檢測振動與哥氏效應引起的檢測振動在相位上相差90°，故被稱為正交誤差[4]。正交誤差通常遠大于有用信號，其校正為硅微陀螺研制中的關鍵技術之一[5]。目前常用的校正方法有同步解調(diào)法和閉環(huán)抑制法兩種[6]。前者利用與有用信號同頻同相的電壓信號對輸出信號進行解調(diào)，從而消除輸出中與有用信號相位相差 90°的正交信號。后者通過設計閉環(huán)反饋控制回路，產(chǎn)生與引起正交信號的彈性耦合力同頻反相的反饋力抑制正交運動，從而從源頭上消除正交信號。采用同步解調(diào)法時，正交信號仍然存在，其相對于有用信號而言很大的幅值增加了對前端電路動態(tài)范圍的要求，限制了陀螺的分辨率和信噪比。閉環(huán)抑制法從源頭上消除了正交運動，對前端電路的限制放寬，但與同步解調(diào)法需要精確的解調(diào)電壓相位控制類似，閉環(huán)抑制法需要精確的反饋力相位控制。兩種方法都對電路的相位精度提出了很高的要求，尤其當環(huán)境變化造成陀螺結構參數(shù)和電路器件參數(shù)變化時更為困難。

針對以上問題，本文在硅微陀螺設計中采用了一種正交誤差直流校正方法[7-8]，通過設計專用的校正結構產(chǎn)生校正靜電力抵消彈性耦合力，從而抑制正交運動。校正力的幅值由加載的直流電壓控制，頻率和相位信息由驅(qū)動振動直接提供，無需專門的控制電路。該法對前端電路動態(tài)范圍和電路相位精度均無特殊要求，具備實用價值。

1 正交誤差對敏感質(zhì)量運動的影響分析

存在彈性耦合時，硅微陀螺敏感質(zhì)量的二維運動微分方程可表示為：

式中，mc為敏感質(zhì)量，cx、cy、kx、ky分別為驅(qū)動方向（X向）和檢測方向（Y向）的阻尼、彈性系數(shù)，kxy、kyx為驅(qū)動和檢測方向之間的耦合彈性系數(shù)；Fd為簡諧靜電驅(qū)動力，幅值和角頻率分別為F0和ωd；Fc為哥氏力，Ωz為輸入角速度（Z向）。

一般而言，模態(tài)不匹配時，檢測振幅遠小于驅(qū)動振幅，故kxy的影響可忽略不計。彈性耦合對敏感質(zhì)量運動的影響主要表現(xiàn)為kyx與驅(qū)動位移x結合構成作用于檢測方向的彈性耦合力Fq，其頻率和相位與x一致，故與哥氏力Fc同頻且相位相差90°，定義為正交力。

硅微陀螺工作時，敏感質(zhì)量沿驅(qū)動方向恒幅諧振，定義振幅為Ad，則x、Fq、Fc可表示為：

定義正交力Fq、哥氏力Fc引起的敏感質(zhì)量沿檢測方向的位移響應分別為正交響應yq和哥氏響應yc，有：

式中，ωy、Qy分別為檢測模態(tài)的諧振頻率和品質(zhì)因數(shù)?？梢?，yq和yc相較于Fq和Fc存在同樣的相移φ，仍為同頻且相位相差90°。正交誤差等效角速度Ωq可表示為：

假設驅(qū)動頻率為4 kHz，Qy在幾千量級，Ωz=0 (°)/s，存在Ωq=100 (°)/s時，敏感質(zhì)量質(zhì)心的運動軌跡如圖1所示。

圖1 存在正交誤差時敏感質(zhì)量質(zhì)心的運動軌跡Fig.1 Motion trajectory of the center of proof mass when quadrature error exists

可見，正交誤差的存在使得敏感質(zhì)量的驅(qū)動運動偏離理想的X向，并且由于yq和x之間相差φ的存在，呈現(xiàn)橢圓形運動軌跡。耦合彈性系數(shù)kyx不變時，一定的驅(qū)動頻率條件下，檢測與驅(qū)動模態(tài)的頻差Δf越小，正交響應yq的幅值越大，yq和x之間的相差φ也越大。yq的幅值由Y向檢測電極提取后，成為陀螺輸出中的正交信號?？梢娬恍盘柵c有用信號類似，是一個動態(tài)信號，其幅值和相位同樣受到固有頻率、Q值等結構參數(shù)的影響，因而在環(huán)境變化導致結構參數(shù)波動時，正交信號也將發(fā)生變化，從而使相位控制成為應用同步解調(diào)法和正交抑制法進行正交校正時的一個難點。正交誤差直流校正方法可以緩解這一問題。

2 正交誤差直流校正結構設計與分析

正交誤差直流校正的原理為，通過設計校正結構，構建如下作用于敏感質(zhì)量的Y向校正靜電力：

式中，keyx為靜電耦合彈性系數(shù)，其符號和大小由校正結構與所加直流電壓共同決定。驅(qū)動位移x為機械信號，由敏感質(zhì)量的驅(qū)動運動直接提供給校正結構，因此無需進行頻率和相位控制。比較式(3)(6)可見，校正力Fey與正交力Fq的形式一致，當構建的靜電耦合彈性系數(shù)keyx與結構耦合彈性系數(shù)kyx等值反號時，F(xiàn)ey實現(xiàn)對Fq的平衡，從而抑制正交運動，實現(xiàn)正交校正。

本文在自主研制的某型雙質(zhì)量硅微陀螺[9]上設計了校正結構，并完成了第一回合的制版加工。包含校正結構的硅微陀螺結構示意圖及校正結構的局部電鏡照片如圖2所示。

圖2 雙質(zhì)量硅微陀螺結構示意圖及校正結構局部照片F(xiàn)ig.2 Structure of the dual-mass silicon micro-gyroscope and a local SEM photo of the quadrature correction structure

該陀螺結構為全解耦形式，包含驅(qū)動框架、敏感質(zhì)量、檢測框架三部分質(zhì)量，驅(qū)動框架和檢測框架分別只具備X向、Y向自由度，敏感質(zhì)量具備X、Y兩向自由度，實現(xiàn)利用哥氏效應檢測Z向角速度。

校正結構主要由布置于敏感質(zhì)量中軸線兩側(cè)的不等間隙梳齒構成，初始的大、小間隙分別為pd0和d0?？蓜邮猃X位于敏感質(zhì)量上，左右梳齒對稱布置。固定梳齒連接于兩組校正電極A和B上，分別施加有直流電壓VA和VB，左右梳齒根據(jù)大、小間隙的Y向位置反對稱布置。單組校正結構由4個可動梳齒和相應的固定梳齒構成，此種組合方式的設計目的在于消除伴隨校正靜電力同時出現(xiàn)的附加干擾靜電力。敏感質(zhì)量的Y向位移很?。▂<

式中，F(xiàn)ex、Fey分別為X、Y向靜電力，kexx、keyy分別為X、Y向靜電彈性系數(shù)，kexy、keyx為兩個方向之間的靜電耦合彈性系數(shù)。

校正結構對敏感質(zhì)量運動的影響主要表現(xiàn)為構建靜電耦合彈性系數(shù)keyx，結合位于敏感質(zhì)量上的可動梳齒的驅(qū)動運動x，形成作用于Y向的校正靜電力Fey，用于平衡引起正交誤差的正交力Fq。keyx的大小由校正結構參數(shù)n、h、d0、p和所加直流電壓VA、VB的平方差決定，正、負符號由VA、VB的相對大小決定。結合式(3)(5)(7)可知，校正等效角速度為Ωq的正交誤差所需的直流電壓加載條件為：

另外，由式(8)可見，校正結構同時也產(chǎn)生Y向靜電彈性系數(shù)keyy，影響檢測模態(tài)的諧振頻率。根據(jù)目的不同，可對keyy的大小進行相應設計上的調(diào)節(jié)。對照keyx和keyy的表達式可見：若希望正交校正對檢測模態(tài)諧振頻率的影響最小化，可在設計中令校正結構梳齒的交疊長度l0盡可能小，并在結構模態(tài)設計中將正交校正引起的頻差變化納入考量；若希望利用keyy進行檢測頻率調(diào)節(jié)，則可適當增大l0的設計值，并對直流電壓VA、VB的加載方式進行相應的優(yōu)化設計。

3 校正電壓加載方式設計與分析

正交校正過程中，校正電壓的調(diào)節(jié)依賴于正交響應yq與所加直流電壓VA、VB的相對變化規(guī)律。校正結構對敏感質(zhì)量檢測方向運動微分方程的影響主要表現(xiàn)為引入靜電彈性系數(shù)keyx和keyy，即有：

求解該式可得此時的正交響應yq為：

對于圖2所示的校正結構，若記：

則靜電彈性系數(shù)keyx和keyy可表示為：

校正電壓的加載方式主要有兩種：（a）只在單個電極上施加電壓，根據(jù)正交信號的相位，判斷校正所需keyx的正、負符號，在校正電極A、B中選擇一個施加直流電壓，調(diào)節(jié)該電壓使正交信號最小化。該加載方式實現(xiàn)簡單，但需要手動選擇校正電極，在模擬電路中僅適用于開環(huán)校正。（b）在兩個電極上施加電壓，分別為VA、VB，通過調(diào)節(jié)其平方差使正交信號最小化，一般將二者取為VA=VD+Vq，VB=VD-Vq，有：

式中，VD為預置直流電壓，Vq為調(diào)節(jié)電壓。VD一定時，調(diào)節(jié)Vq既可控制keyx的大小也可改變其正、負符號，因而該加載方式適用于對正交幅值進行閉環(huán)控制。

選擇加載方式（a）時，假設校正所需的keyx為負，正交響應幅值|yq|與VA的關系為：

選擇加載方式（b）時，取VD為固定值，正交響應幅值|yq|與Vq的關系為：

可見，采用加載方式（a）時，|yq|與VA為非線性關系，且在調(diào)節(jié)VA的過程中，檢測模態(tài)諧振頻率受到直接影響，變化較大。采用加載方式（b）時，若取VD>>Vq，則調(diào)節(jié)Vq對檢測諧振頻率的影響可以降至很小，且|yq|與Vq為近似線性關系。若希望正交校正對檢測諧振頻率的影響最小化，加載方式（b）具備優(yōu)勢。

無論哪種加載方式，使正交響應幅值為零的電壓值為所需的正交校正電壓，電壓小于該值或大于該值時正交響應均不為零，處于欠校正或過校正狀態(tài)。

4 實驗測試

加工得到帶正交校正結構的雙質(zhì)量硅微陀螺芯片，以陶瓷管殼進行真空封裝。安裝在PCB電路板上的硅微陀螺表頭如圖3所示。

圖3 硅微陀螺表頭及測試電路Fig.3 Vacuum packaged gyroscope on PCB with test circuits

圖4 無角速度輸入時的驅(qū)動速度信號與輸出信號Fig.4 Waveform comparison between the drive velocity signal and the zero-rate output one

選擇正交誤差較大的某硅微陀螺表頭進行正交校正實驗。無角速度輸入條件下，令驅(qū)動回路正常工作，表頭輸出信號與驅(qū)動速度信號的波形比較如圖4所示，圖中上方波形為驅(qū)動速度信號，下方波形為輸出信號，可見輸出信號在相位上滯后驅(qū)動速度信號大約90°，主要為正交信號，且結構耦合彈性系數(shù)kyx為正。由輸出信號幅值結合相關電路參數(shù)折算可得該表頭的正交誤差等效角速度約為354 (°)/s。采用兩種校正電壓加載方式對該表頭進行正交校正，記錄輸出信號幅值隨校正電壓的變化情況。同時，由式(15)(16)計算正交響應幅值與校正電壓相對變化關系的理論曲線。選擇加載方式(a)(b)時，理論曲線與實測數(shù)據(jù)的比較分別如圖5、圖6所示。

圖5 在單個電極上施加電壓時正交信號隨VA的變化Fig.5 Relative relationship between quadrature signal and correction voltage when only one electrode is in use

可見，兩種電壓加載方式下，實測數(shù)據(jù)的變化趨勢與理論曲線基本一致，證明了理論分析的正確性。設計的校正結構參數(shù)為：n= 45，d0= 4，p= 2.4。敏感質(zhì)量mc≈ 0.5 mg，驅(qū)動頻率為3.8 kHz。由式（9）計算可得，理論上校正354 (°)/s正交誤差所需的VA、VB平方差約為119.5 V2。在單個電極上加載時，所需理論校正電壓VA約為10.9 V，實測值為12 V，略大于理論值。在兩個電極上加載時，若取VD為10 V，則所需理論校正電壓Vq約為2.9 V，實測值為3 V，與理論值吻合良好。

實際測試中，調(diào)節(jié)校正電壓使輸出信號幅值最小化時，仍然存在100 mV左右的殘余信號，將其與驅(qū)動速度信號對比可以發(fā)現(xiàn)，殘余信號為與有用信號同頻同相的偏移誤差部分，正交信號已被完全消除。

圖6 在兩個電極上施加電壓時正交信號隨Vq的變化(VD= 10 V)Fig.6 Relative relationship between quadrature signal and correction voltage when both electrodes are in use(VD= 10 V)

5 結 論

本文設計并分析了硅微陀螺的一種正交誤差直流校正方法。對敏感質(zhì)量的運動分析表明，正交誤差主要由結構耦合彈性系數(shù)結合驅(qū)動運動形成的正交力作用于檢測方向引起正交響應產(chǎn)生。合理設計正交校正結構，可實現(xiàn)構建靜電耦合彈性系數(shù)，并利用敏感質(zhì)量的驅(qū)動運動產(chǎn)生校正靜電力，用以平衡正交力。校正力的頻率和相位與正交力自然匹配，無需電路控制。校正電壓可由結構參數(shù)和正交誤差等效角速度進行估計。相較于單電極加載方式，校正電壓的雙電極加載方式適用于對正交幅值進行閉環(huán)控制，并且可使校正電壓調(diào)節(jié)對檢測諧振頻率的影響最小化。實驗測試驗證了正交信號隨校正電壓的變化規(guī)律，實際校正電壓接近理論值，證明了校正結構設計的正確性。該方法在雙線振動式硅微陀螺中具備通用性和實用價值。

（References）：

[1]Shkel A M,Horowitz R,Seshia A A,et al.Dynamics and control of micromachined gyroscopes[C]// Proceedings of the American Control Conference.San Diego,USA,1999:2119-2124．

[2]Geiger W,Bartholomeyczik J,Breng U,et al.MEMS IMU for AHRS applications[C]//IEEE/ION Position Location and Navigation Symposium.Monterey,USA,2008:225-231.

[3]Lapadatu D,Blixhavn B,Holm R,et al．SAR500 - A high-precision high-stability butterfly gyroscope with north seeking capability[C]// IEEE/ION Position Location and Navigation Symposium.Indian Wells,USA,2010:6-13.

[4]YANG Bo,WANG Shou-rong,LI Hong-sheng,et al.The coupling error analysis of the decoupled silicon micro-gyroscope[C]// 5th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems.Xiamen,China,2010:356-361.

[5]羅兵，張輝，吳美平.硅微陀螺正交誤差及其對信號檢測的影響[J].中國慣性技術學報，2009，17(5)：604-607， 613．LUO Bing,ZHANG Hui,WU Mei-ping.Quadrature signal of microgyroscope and its effect on signal detection [J].Journal of Chinese Inertial Technology,2009,17(5):604-607,613.

[6]Saukoski M,Aaltonen L,Halonen K A I.Zero-rate output and quadrature compensation in vibratory MEMS gyroscopes [J].IEEE Sensors Journal,2007,7(12):1639-1652.

[7]Sharma A,Zaman M F,Ayazi F.A sub-0.2°/hr bias drift micromechanical silicon gyroscope with automatic CMOS mode-matching[J].IEEE Journal of Solid-State Circuits,2009,44(5):1593-1608.

[8]Tatar E,Alper S E,Akin T．Effect of quadrature error on the performance of a fully-decoupled MEMS gyroscope [C]//IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems.Cancun,Mexico,2011:569-572.

[9]殷勇，王壽榮，王存超，等.一種雙質(zhì)量硅微陀螺儀[J].中國慣性技術學報，2008，16(6)：703-706，711.YIN Yong,WANG Shou-rong，WANG Cun-chao,et al．Dual-mass silicon micro-gyroscope[J].Journal of Chinese Inertial Technology,2008,16(6)：703-706,711.

Design and analysis of a quadrature correction method using DC voltages for silicon micro-gyroscope

NI Yun-fang,LI Hong-sheng,YANG Bo,HUANG Li-bin,ZHAO Li-ye,WANG Pan,LIU Jia
(Key Laboratory of Micro-Inertial Instrument and Advanced Navigation Technology of Ministry of Education,School of Instrument Science and Engineering,Southeast University,Nanjing 210096,China)

A quadrature correction method using DC voltages for silicon micro-gyroscope was designed.The quadrature correction was accomplished by a specially designed correction structure in combination with DC voltages.The differential equations of the proof mass’s motion were established in consideration of quadrature error.The causes of the quadrature response and how it affects the drive motion trajectory were then derived.The quadrature correction structure was designed for silicon micro-gyroscope,through which a correction electrostatic force can be generated by using the created electrostatic coupling elastic coefficient and the drive motion.Comparied with traditional quadrature correction methods,this method has the advantage of eliminating the need of frequency and phase control.Two voltage loading methods were designed and analyzed,and the relative relationship between the quadrature response and the correction voltage was verified through experimental test.The actual values of correction voltage are close to the theoretical ones,proving the correctness of the structure design.This method has important application value in linear vibration silicon micro-gyroscope.

silicon micro-gyroscope;quadrature error;quadrature correction;DC voltage;structure design

TH824+.3

：A

1005-6734(2014)01-0104-05

10.13695/j.cnki.12-1222/o3.2014.01.021

2013-08-06；

：2013-11-10

國家自然科學基金項目（61101021）；中央高?；究蒲袠I(yè)務費專項資金資助（3222003102）

倪云舫（1986—），女，博士研究生，從事MEMS微慣性儀表研究。E-mail：niyunfang@126.com

聯(lián) 系 人：李宏生（1964—），男，教授，博士生導師。E-mail：hsli@seu.edu.cn