李華豐，朱振宇，王霽，李強，高珊

(中航工業(yè)北京長城計量測試技術研究所，北京100095)

0 引言

氣體激光器的蘭姆凹陷現(xiàn)象，是當激光器的輸出頻率與工作物質的中心頻率重合時，由于燒孔效應而出現(xiàn)的激光器輸出功率達到某一極小值的現(xiàn)象，該頻率點稱為激光器的蘭姆凹陷點［1］。

氣體激光器的蘭姆凹陷穩(wěn)頻技術以工作物質的原子躍遷譜線中心頻率ν0作為參考標準頻率［2］，以蘭姆凹陷現(xiàn)象為控制依據(jù)，利用壓電陶瓷調節(jié)激光諧振腔腔長，使激光器始終工作在其蘭姆凹陷點，從而保持激光器輸出波長穩(wěn)定的激光穩(wěn)頻技術。

蘭姆凹陷穩(wěn)頻激光器以原子躍遷譜線頻率為參考頻率，波長長期穩(wěn)定度高、復現(xiàn)性好、互換性高;以壓電陶瓷調節(jié)激光諧振腔長，響應速度快，跟蹤迅速。這些優(yōu)勢使蘭姆凹陷穩(wěn)頻技術在激光干涉測量等科學研究領域受到青睞。

在工業(yè)現(xiàn)場環(huán)境中，環(huán)境溫度變化較大，通常在15～35℃間，引起激光器外腔溫度變化，往往導致激光器腔長的熱膨脹變化幅度超出壓電陶瓷的調整范圍，從而發(fā)生穩(wěn)頻激光器失鎖的現(xiàn)象。這反映出蘭姆凹陷穩(wěn)頻激光器環(huán)境適應性較差的弱點，這一弱點限制了蘭姆凹陷穩(wěn)頻技術在工業(yè)生產中的應用。

1 環(huán)境溫度變化對激光器的影響

從激光器的發(fā)熱與散熱角度分析，激光器處于一種熱平衡狀態(tài)。

以裸露于空氣中的氦氖激光器為例進行分析，激光器管壁與空氣的換熱形式主要是對流換熱［3］。根據(jù)牛頓冷卻公式，有

式中:Q為熱流量;α為導熱系數(shù);F為散熱面積;Δt為激光管與環(huán)境溫度差。

在工作過程中激光器的工作電流保持不變，所消耗功率除極少部分以激光形式發(fā)出外，其他部分均以熱量形式散失，當達到平衡狀態(tài)后，激光器的發(fā)熱功率與管壁的對流散熱功率一致，可以認為激光器的熱流量Q不變。

在通常工作條件下，環(huán)境空間尺寸遠大于激光器尺寸，激光器無強制制冷措施，可以看作工作于大空間自然對流換熱模式，假設空氣溫度均勻、激光器管壁各部分溫度一致，當激光器水平放置時，根據(jù)自然對流換熱理論，在20℃附近時，有

式中:l為激光器長度。

將公式 (2)代入公式 (1)中整理得

選用長度200 mm，直徑5.4 cm，輸入功率8 W的蘭姆凹陷氦氖激光器作為試驗對象，將參數(shù)代入公式 (3)，有

激光器輸入功率基本都用于發(fā)熱，Q≈8 W，則有

式中:T管為激光器管壁溫度，℃;T環(huán)境為環(huán)境溫度，℃。

可知管壁溫度T管與環(huán)境溫度T環(huán)境呈線性關系，即隨著環(huán)境溫度變化，激光器管壁溫度也線性變化。

圖1是實驗用的氦氖激光器管壁溫度隨環(huán)境溫度變化的理論計算曲線和實測曲線。

圖1 激光器管壁溫度隨環(huán)境溫度變化曲線

從曲線可以看出，試驗用的激光器管壁溫度的理論分析結果與實測結果基本一致，偏差主要是由于理論推導過程中忽略了激光器端面散熱、空氣導熱參數(shù)隨溫度變化而變化等因素造成的。

從圖1可以得到:當環(huán)境溫度從10℃變化到40℃時，氦氖激光器管壁溫度變化約為30℃，對于試驗中用到的由石英玻璃制作的腔長200 mm的激光器，由于管壁溫度變化造成的腔長變化約為3 μm［4］，而通常蘭姆凹陷穩(wěn)頻激光器中壓電陶瓷的腔長調整范圍約1 μm，由于環(huán)境溫度變化造成的激光諧振腔長變化超出了壓電陶瓷的調整范圍，這就是基于蘭姆凹陷穩(wěn)頻的氦氖激光器環(huán)境適應性差的原因。

其他散熱形式的激光器與之類似，也存在環(huán)境溫度變化導致激光器諧振腔長變化較大的現(xiàn)象。

要實現(xiàn)蘭姆凹陷穩(wěn)頻氦氖激光器的波形掃描與穩(wěn)定鎖頻，必須保證壓電陶瓷有至少1個激光波長的調整余量 (約0.63 μm)，因此激光器管壁腔長變化應小于0.4 μm，對于上述試驗用的激光器，其管壁溫度變化應小于3℃。

2 雙閉環(huán)蘭姆凹陷激光穩(wěn)頻方法

從前面的分析可知，要提高蘭姆凹陷穩(wěn)頻激光器的環(huán)境適應能力，需要補償環(huán)境溫度變化造成的激光器諧振腔長變化。

圖2是采用雙閉環(huán)控制方式實現(xiàn)激光器諧振腔長補償?shù)脑砜驁D。在傳統(tǒng)蘭姆凹陷穩(wěn)頻激光器基礎上，增加了激光器管壁溫度檢測與控制系統(tǒng)，在激光器管壁外包裹了電加熱層，并粘貼溫度傳感器，通過溫度控制環(huán)實現(xiàn)激光器管壁溫度的穩(wěn)定，即實現(xiàn)激光器管壁長度基本不變。環(huán)境溫度的殘余影響以及由于其他因素導致的激光器諧振腔長變化，則通過蘭姆凹陷控制環(huán)驅動壓電陶瓷管實現(xiàn)補償。

圖3為雙閉環(huán)蘭姆凹陷穩(wěn)頻激光器控制系統(tǒng)框圖，其包括兩個閉環(huán)控制回路，分別實現(xiàn)蘭姆凹陷穩(wěn)頻控制與激光器管壁溫度控制。

圖2 雙閉環(huán)蘭姆凹陷穩(wěn)頻激光器原理框圖

蘭姆凹陷穩(wěn)頻控制回路，通過控制壓電陶瓷管的驅動電壓實現(xiàn)激光器諧振腔長的調整，并在其上附加一載波，實現(xiàn)激光器諧振腔長的微小調制，諧振腔長調制導致激光器輸出功率存在微小的交流波動，通過交流檢波與相敏檢測可以得到功率波動的相位信息，該相位信息代表了激光器在蘭姆凹陷波形上的位置，通過將相位期望值設定為零，可以使激光器工作于蘭姆凹陷點上［1］。

圖3 雙閉環(huán)蘭姆凹陷穩(wěn)頻激光器控制系統(tǒng)框圖

激光器管壁溫度控制回路通過粘貼在激光器管壁上的溫度傳感器監(jiān)測管壁溫度，并通過調節(jié)加熱層的驅動電流實現(xiàn)管壁溫度的穩(wěn)定，以抵消環(huán)境溫度變化對管壁溫度的影響。

由圖3可以看出，激光器諧振腔長由兩個控制回路聯(lián)合調節(jié)，其中環(huán)境溫度對諧振腔長的影響主要由管壁溫度控制回路補償，而其他因素造成的激光器失穩(wěn)則由蘭姆凹陷穩(wěn)頻控制回路補償。

由圖2所示的原理框圖可知，雙閉環(huán)蘭姆凹陷穩(wěn)頻激光器系統(tǒng)中的散熱是通過自然對流散熱實現(xiàn)的，無強制制冷措施，即系統(tǒng)無法實現(xiàn)主動降溫，因此要實現(xiàn)激光器管壁溫度控制回路的正常工作，需要使管壁溫度設定值高于自然對流散熱狀態(tài)下的最高工作溫度。

圖4 雙閉環(huán)激光器管壁溫度與溫度環(huán)境關系

圖4為雙閉環(huán)蘭姆凹陷穩(wěn)頻激光器的激光器管壁溫度與環(huán)境溫度關系曲線。從實測結果可以看出，管壁溫度變化可以控制在0.6℃范圍內，系統(tǒng)有效補償了環(huán)境溫度變化對激光器管壁溫度的影響，即可以保持激光器管壁長度相對穩(wěn)定。

3 試驗結果

雙閉環(huán)蘭姆凹陷穩(wěn)頻激光器與0.633 μm波長副基準裝置進行拍頻試驗，試驗持續(xù)9 h，期間被測激光器的工作環(huán)境從10℃勻速升至40℃再降至10℃，依據(jù)JJG353-2006《633 nm穩(wěn)頻激光器檢定規(guī)程》，得到的9 h頻率穩(wěn)定度曲線如圖5所示。

圖5 頻率穩(wěn)定度曲線

從圖5可以看出，雙閉環(huán)蘭姆凹陷穩(wěn)頻激光器在環(huán)境溫度變化較大情況下，9 h頻率穩(wěn)定度達到2×10-9，完全可以滿足工業(yè)現(xiàn)場對激光干涉儀光源頻率穩(wěn)定度的要求。

4 結論

雙閉環(huán)蘭姆凹陷激光穩(wěn)頻方法在傳統(tǒng)蘭姆凹陷激光穩(wěn)頻方法的基礎上，增加了溫度控制環(huán)節(jié)，通過調解激光器管壁溫度抵消環(huán)境溫度變化對激光器諧振腔長的影響，使穩(wěn)頻激光器可以在環(huán)境溫度波動較大的工業(yè)現(xiàn)場正常使用。

雙閉環(huán)蘭姆凹陷激光穩(wěn)頻方法不僅提高了蘭姆凹陷穩(wěn)頻激光器的環(huán)境適應能力，而且由于激光器的工作氣體溫度相對穩(wěn)定，其吸收光譜變化也比較?。?］，利于提高激光器的波長穩(wěn)定度。同時，由于對壓電陶瓷調整范圍的要求減小，激光器中可以選用長度較短的壓電陶瓷管，這對提高激光器的諧振腔質量、降低加工難度非常有利。

［1］苑丹丹，胡姝玲，劉宏海，等.激光器穩(wěn)頻技術研究［J］.激光與光電子學進展，2011，48(8):081401.

［2］北京交通大學.穩(wěn)頻技術［EB/OL］.［2013-12-20］.http://wenku.baidu.com/view/5f7708fc4693daef5ef73de8.html.

［3］蘇亞欣 .傳熱學 ［M］.武漢:華中科技大學出版社，2009.

［4］維基百科學.熱膨脹系數(shù) ［EB/OL］.［2014-01-22］.http://zh.wikipedia.org/zh-cn/熱膨脹系數(shù).html.

［5］馬維光，尹王保，黃濤，等.氣體峰值吸收系數(shù)隨壓強變化關系的理論分析 ［J］.光譜學與光譜分析，2004，24(2):135-137.