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        射頻磁控濺射制備MoS2薄膜及其儲鋰性能研究

        2014-02-28 17:32:56王麗秀,魏林,陶占良
        無機(jī)化學(xué)學(xué)報 2014年9期
        關(guān)鍵詞:磁控濺射射頻薄膜

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