【摘要】本文簡要介紹了硅基微加工技術、LIGA技術、超精密機械加工技術、微注射成形技術、微鑄造成形技術五種微成型加工技術，對其最新研究成果做出了總結，并對微成型技術的發(fā)展趨勢進行了展望。

【關鍵詞】微成形技術；展望

1.引言

二十年來微型機電系統(tǒng)有了飛速的發(fā)展，而微成形技術是微型機電系統(tǒng)的靈魂，世界上各工業(yè)先進國家對微機械的研究重點都放在了微成形技術的研發(fā)上。到目前為止，涌現(xiàn)出了多種成熟的微成形技術，如以美國為代表的硅基表面加工及體加工技術、以德國為代表LIGA技術和以日本為代表的超精密機械加工技術，此外還有高能束加工技術、微注塑成形技術、微粉末注射成形技術及微鑄造技術等一些方興未艾的微成形技術，下面就幾種常用的微成型技術進行簡單介紹。

2.硅基微加工技術

硅基微加工技術由美國的科學家率先提出，是微電子技術飛速發(fā)展的延伸。硅基微加工技術目前主要有表面微機械加工和體微機械加工兩種方式。

硅基微加工技術首先是在硅基表面上沉積薄膜，再用光刻技術在薄膜上顯影出微結構，最后用各種腐蝕工藝（等離子腐蝕、化學腐蝕等）去除掉多余的部分，從而得到預先想要的微結構。Sandia國家實驗室開發(fā)的五層多晶硅表面犧牲層工藝代表了這一方向的最高水平。

體微機械加工技術是將整塊材料如單晶硅基片加工成微機械結構的生產(chǎn)工藝，即按照設計圖形在硅片上有選擇地去除一部分硅材料，形成微機械結構。通常，微機械結構的形成要經(jīng)歷選擇摻雜和結晶濕化學腐蝕兩道工序。和微電子生產(chǎn)中的亞微米光刻工藝比較，這些工藝尺度相對大而粗糙，線度變化在幾微米到幾百微米之間。體微加工技術的關鍵技術主要包括濕法刻蝕和干法刻蝕兩種方法。濕法刻蝕主要是根據(jù)材料的性能在刻蝕溶液中進行；干法刻蝕主要是采用物理法（濺射、離子銑）和化學等離子刻蝕，適用于各向同性及各向異性刻蝕。體微機械加工的一個主要優(yōu)點是它可以相對容易地制造出大質量的零部件，缺點是它很難制造精細靈敏的懸掛系統(tǒng)。另外，由于體微機械加工工藝無法做到零部件的平面化布局，因此它不能夠和微電子線路直接兼容。

復合微機械加工技術是體微機械加工技術和表面微機械加工技術的綜合。它是在體微機械加工技術和表面微機械加工技術的基礎上發(fā)展起來的新興技術，具有體微機械加工技術和表面微機械加工技術的優(yōu)點，同時也避免了它們的缺點。

3.LIGA技術

起源于德國的LIGA技術被認為是微型機電系統(tǒng)技術中的極有發(fā)展前途的一種技術，受到各國的高度重視。LIGA是利用X射線深層光刻、電鑄成型和微復制三種工藝手段有機結合的一種技術，可在二維平面內加工任意幾何形狀的微結構，且適用于多種材料，加工精度高，是有望實現(xiàn)三維加工的技術[1]。LIGA技術制造的微結構的高度可達數(shù)百微米，其深寬比可達100以上，而厚度只有2～3μm。同時在全高度內的尺寸精度可控制在亞微米級。

由于LIGA技術需要掩模，其精確度和靈活性受到了限制。不同的圖形必須更換不同的掩模板，加工工藝不夠靈活，同時LIGA技術需要昂貴的同步輻射光源，使得成本較高，推廣困難。在此情況下，近年來發(fā)展了準LIGA技術，即在微米級分辨率前提下，將常規(guī)的近紫外光和激光擴展應用到厚層光刻膠的成形，大大降低了加工設備的投資。采用UV-LIGA和LASER-LIGA工藝不需要制作X光掩模板，紫外和激光光源的經(jīng)濟性和使用的廣泛性又大大優(yōu)于同步輻射X光光源，從而可以大大降低LIGA工藝的制作成本，有利于廣泛使用。與LIGA技術相比，準LIGA技術雖然能簡化操作、大大降低成本費用，但卻是以犧牲高準確度、大深寬比為代價的，因此準LIGA技術只適用于對垂直度和深度要求不太高的微結構的加工。

4.超精密機械加工技術

超精密加工技術是在六十年代初美國用單刃金剛石車刀鏡面切削鋁合金和無氧銅開始的，而日本人最早提出將之應用到微機械加工中，其思想是用大機器造小機器，再用小機器來制造微機器，然后用微機器來制造微機械用微構件。超精密機械加工技術在多樣化材料加工方面具有獨特優(yōu)勢，成為微米和中間尺度機械制造領域的一種重要的加工技術。

超精密機械加工技術中的常用刀具為單晶金剛石，其微小尺寸如圖1所示。目前，單晶金剛石超精密加工技術已成功應用于隱形眼鏡、棱鏡、非球面透鏡、微透鏡陣列、金字塔微結構表面、減反射光柵等結構的加工。圖2所示即是用單晶金剛石車床加工的微結構[3]。

在近十幾年內，隨著計算機技術的高速發(fā)展，超精密機床的一些關鍵技術，如控制技術、反饋系統(tǒng)、伺服驅動裝置等方面有了很大的進步，提高了超精密機床的加工精度，目前，超精密加工已能夠直接加工出粗糙度達1nm的表面。

5.微注射成形技術

微注射成形技術按照使用材料對象可分為兩類，一類是以塑料為注射材料的微注塑成形技術，一類是以金屬粉末為注射材料的粉末微注射成形技術。

微注塑成形技術實際上就是傳統(tǒng)注塑技術的微型化，最早出現(xiàn)在20世紀80年代，主要應用在手表和相機行業(yè)。德國注塑機制造巨頭Battenfeld公司制造了第一臺全電子驅動的注塑機Microsystem50，其適用于手表、微機電系統(tǒng)和生物機械制造業(yè)，成形塑件質量小于0.1g，注射柱塞直徑只有5mm。德國亞琛理工大學的塑料加工學院）設計制造了一種新型微注塑成型概念機，注射量比Microsystem50更小，可小于0.01g[4]。微注塑成形技術方面我國與國外的還有很大的差距。

粉末微注射成形技術要求所用的材料為粉末狀，這就限制了其材料的種類，因為并不是所有的金屬都能獲得粉末，而且對金屬粉末的顆粒度也有要求，要盡可能得到細的顆粒。此外，微型模具的制造是該技術的關鍵，而為了獲得好的填充效果，也需對鑄型抽真空和預熱，這些都關系到能否獲得低表面粗糙度、小壁厚、形狀復雜的微構件。

德國在粉末微注射成形方面進行了相關的基礎性和應用性研究。美國賓夕法尼亞州立大學的N.Koseski等研究了粉末粒度對粉末微注射成形產(chǎn)品的性能，尤其是表面粗糙度和結構分辨度的影響。北京科技大學自行研制開發(fā)了具有自主知識產(chǎn)權的適用于傳統(tǒng)注射成形機的粉末微注射成形用模具，同時以羰基鐵粉和鐵鎳合金粉為原料，在傳統(tǒng)注射成形機上成功實現(xiàn)了粉末微注射成形齒頂圓直徑小于1mm的微型齒輪的制備，齒頂圓直徑為400μm，齒輪中心孔為60μm，齒輪高度為200μm[5]。

6.微鑄造成形

微精密鑄造工藝依托于傳統(tǒng)鑄造工藝，可加工復雜三維形狀，有效的彌補了現(xiàn)有微成形工藝的缺陷。韓國LG研發(fā)中心用微鑄造工藝制備的螺旋微齒輪，其最大的外徑為1mm，整個齒高約為600μm。國內哈工大李邦盛率先成功研發(fā)了微加壓鑄造工藝，成功制造了外徑只有580μm的三維復雜微齒輪，其齒輪軸直徑僅為300μm[6]。有關微鑄造成形工藝的研究，國外尚屬起步階段，國內除哈工大外，尚屬空白，因此，深入研究微鑄造成形工藝及相關理論具有重要的學術價值和創(chuàng)新性。

7.展望

上述微成型技術外，還有微擠壓成形、激光微沖擊成形等新型微成形技術。隨著微成形技術的發(fā)展，某些微型零部件因材質的限制，在成形過程中往往需要幾種微成形技術，微成形技術的綜合應用應當是今后微成形技術應用的發(fā)展趨勢。

參考文獻

[1]張永華，丁桂甫，彭軍等.LIGA相關技術及應用[J].傳感器應用，2003，22（3）：60-64.

[2]郭麗麗，森田升.機械加工的超精密化和加工機械的微型化[J].現(xiàn)代制造工程，2006（11）：66-68.

[3]楊元華，陳時錦，程凱等.超精密機械加工技術在微光學元件制造中的應用[J].航空精密制造技術，2005（4）：10-12.

[4]宋滿倉，王敏杰.微成形技術的現(xiàn)狀與發(fā)展[J].中國機械工程，2003，14（15）：1345-1346.

[5]尹海清，賈成廠，曲選輝.粉末微注射成形技術現(xiàn)狀[J].粉末冶金技術，2007，25（25）：382-386.

[6]李邦盛，任明星，傅恒志.微精密鑄造工藝研究進展[J].鑄造，2007，56（7）：673-678.