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        晶硅片切割刃料加工廢水處理后的污泥處置與資源化利用工藝

        2013-11-23 07:24:40王行展
        凈水技術(shù) 2013年6期
        關(guān)鍵詞:硅酸鈣碳化硅硅片

        李 森,王 杰,王行展,張 賽

        (1.開封萬盛新材料有限公司,河南 開封 475000;2.河南新大新材料股份有限公司,河南 開封 475000)

        1 引言

        晶硅片切割刃料是一種具高硬度和高機(jī)械強(qiáng)度的碳化硅粉體材料,具有導(dǎo)熱性好、切削能力強(qiáng)的特點,應(yīng)用于太陽能晶硅片的線切割領(lǐng)域[1]。在晶硅片切割刃料生產(chǎn)過程中,需要進(jìn)行水力分級、化學(xué)萃取和提純處理[2]。生產(chǎn)過程產(chǎn)生大量的工業(yè)廢水,該工業(yè)廢水中固含量較高,SS值達(dá)到8000mg/L,其主要成分包括硅酸鹽、硅粉、游離碳以及一定量的碳化硅微粉等。廢水處理過程產(chǎn)生大量的污泥需要進(jìn)行妥善處理,以免對生態(tài)環(huán)境造成污染。該過程耗費大量的人力財力,增加了企業(yè)的生產(chǎn)運營成本和社會負(fù)擔(dān)。如何對該污泥進(jìn)行資源化回收利用處理,既避免對生態(tài)環(huán)境造成污染,又帶來經(jīng)濟(jì)收益,同時實現(xiàn)經(jīng)濟(jì)循環(huán)發(fā)展,成為晶硅片切割刃料生產(chǎn)企業(yè)亟待解決的難題。

        2 資源化回收工藝

        2.1 污泥的主要構(gòu)成及比重

        表1為晶硅片切割刃料水處理污泥的主要成分及比重。

        表1 晶硅片切割刃料水處理污泥的主要成分及比重Tab.1 Composition and Gravity of Water Treatment Sludge after Processing of Silicon Wafers Cutting Material

        該污泥中主要含有碳化硅、硅酸鈣、硅、游離碳等成分。其中碳化硅、硅酸鈣兩者所占的質(zhì)量百分比成分含量超過80%。在污泥的材料組成中,碳化硅的比重為3.2g/cm3,在污泥的各材料比重中最高,并且與其他成分如硅酸鈣、游離碳和硅的比重相差較大。

        2.2 工藝設(shè)計

        采取浮選離心分離處理的方法,根據(jù)污泥中各成分比重的不同,碳化硅的比重與其他材料的比重相差較大的情況,利用旋流器將污泥中碳化硅與其他成分分離開[3]。

        旋流分離器由進(jìn)料口、分離腔體、溢流口、底流口組成,分離腔體呈漸縮狀。污泥料漿在一定壓力下通過進(jìn)料口沿切向進(jìn)入旋流器分離腔體,在分離腔體內(nèi)向下運動的過程中,流動斷面逐漸減小,內(nèi)層漿體轉(zhuǎn)而向上運動,料漿中的固體顆粒,由于離心慣性力的作用而產(chǎn)生向外運動的趨勢,但由于漿體由外向內(nèi)的徑向流動的阻礙,使得比重較小的顆粒因受離心力太小,不足以克服液流的阻力,只能隨向上的液流一起由溢流管排出,形成溢流口料;比重較大的顆粒則借助較大的離心慣性力克服向內(nèi)流動漿體流的阻礙,向外運動隨向下的液流一起由底流口排出,形成底流口料。圖1為旋流分離器構(gòu)造示意圖。

        污泥分離后的碳化硅微粉得到資源化回收返回到生產(chǎn)線,可以繼續(xù)作為晶硅片切割刃料使用。污泥分離后的硅酸鈣因其具有保溫隔熱性、耐熱震穩(wěn)定性以及耐腐蝕性可以應(yīng)用于耐火材料原料以及建筑材料等領(lǐng)域[4,5],從而實現(xiàn)污泥的資源化回收處理目的。

        圖1 旋流分離器構(gòu)造示意圖Fig.1 Structure of Hydrocyclone Separation

        2.3 工藝流程

        將污泥按一定的料漿濃度進(jìn)行造漿,然后進(jìn)入旋流器機(jī)組進(jìn)行離心浮選分離。經(jīng)過浮選分離,比重較大的碳化硅料從旋流器底流口流出,比重較小的硅酸鈣、硅和游離碳從溢流口流出。分別檢測溢流口及底流口出料成分,對旋流器對污泥中各成分的分離效果進(jìn)行分析。結(jié)果表明污泥經(jīng)旋流器分離后,溢流口出料富含硅酸鈣鹽??勺鳛槟突鸩牧显弦约敖ㄖ牧鲜褂谩N勰嘟?jīng)旋流器分離后,底流口料富含碳化硅,經(jīng)檢測其碳化硅成分可達(dá)80%以上,再將該料進(jìn)行化學(xué)處理,包括酸洗處理、堿洗處理、溢流萃取等工序,對碳化硅進(jìn)行處理?;瘜W(xué)處理后的物料經(jīng)過刮刀離心機(jī)以及盤干機(jī)脫水干燥處理,除去物料中的水分,然后經(jīng)過風(fēng)力分級處理,得到不同粒度的成品碳化硅微粉[6],即得晶硅片切割刃料的成品。工藝流程如圖2所示。

        圖2 污泥資源化回收處理工藝流程Fig.2 Flow Chart of Sludge Resource Recycling Technology

        該水處理污泥經(jīng)過以上資源化回收處理,使得企業(yè)的工業(yè)廢棄物得到充分合理的利用,一部分成為晶硅片切割刃料碳化硅微粉產(chǎn)品,另一部分應(yīng)用于耐材及建筑材料領(lǐng)域。這樣既可以避免對生態(tài)環(huán)境造成污染,同時也能降低企業(yè)生產(chǎn)運營成本,達(dá)到工業(yè)廢棄物資源化回收利用的目的,保證環(huán)境安全并帶來經(jīng)濟(jì)效益,實現(xiàn)經(jīng)濟(jì)循環(huán)發(fā)展。

        3 影響因素

        3.1 溫度對浮選分離的影響

        將污泥料漿加熱50℃后再通入旋流器進(jìn)行浮選離心分離與不加熱直接進(jìn)行分離的效果進(jìn)行對比,檢驗溫度對浮選分離該污泥的影響,結(jié)果如表2所示。

        表2 溫度對浮選分離的影響Tab.2 Effect of Temperature on Flotation Separation Sludge

        分別對污泥料漿加熱50℃和不加熱兩種情況下,污泥中碳化硅的分離效果進(jìn)行檢測。試驗表明,污泥料漿經(jīng)過50℃加熱后再進(jìn)入旋流器進(jìn)行浮選離心分離,碳化硅的成分達(dá)到95.7%,相比未加熱時碳化硅成分80.2%提高了19.3%,表明溫度對浮選分離具有較大的影響。

        3.2 壓力對浮選分離的影響

        設(shè)定不同的旋流器分離壓力,分別為0.15、0.20、0.25 MPa,檢驗壓力對浮選分離該污泥的影響,結(jié)果如表3所示。

        表3 壓力對浮選分離的影響Tab.3 Effect of Pressure on Flotation Separation Sludge

        試驗表明不同的壓力對污泥浮選分離效果影響較大,隨著分離壓力增大,污泥分離回收的碳化硅成分升高。當(dāng)壓力從0.15 MPa升至0.20 MPa時,碳化硅成分從69.9%提高至88.7%,碳化硅的成分含量得到較大提升,提高了21.2%。當(dāng)壓力從0.20 MPa升至0.25 MPa時,碳化硅成分從88.7%提高至90.5%,碳化硅的成分含量略有提高,提高了2.0%,表明此時壓力的升高對碳化硅分離效果的影響有限??紤]生產(chǎn)實際情況,當(dāng)旋流器分離壓力在0.20 MPa時,即可獲得比較理想的分離效果。

        3.3 旋流速度和時間對浮選分離的影響

        將污泥料漿分別以5、10、15 m/s的進(jìn)料速度打入旋流分離器對其進(jìn)行分離,檢驗進(jìn)料速度對污泥浮選分離的影響,結(jié)果如表4所示。

        表4 旋流速度和時間對浮選分離的影響Tab.4 Effect of Swirling Flow and Time on Flotation Separation Sludge

        試驗表明旋流分離器不同的進(jìn)料速度對污泥浮選分離效果的影響較大,隨著分離速度的增大,污泥分離回收的碳化硅成分逐漸升高;而速度的增加,縮短了料漿在旋流分離器內(nèi)的停留時間,使得料漿中固體顆粒獲取的離心力變大,從而獲得較好的旋流分離效果。當(dāng)進(jìn)料速度較低時,污泥經(jīng)旋流器分離后的碳化硅成分較低,僅為48.5%。當(dāng)速度從5 m/s升至10 m/s時,碳化硅成分從48.5%提高至77.3%,碳化硅的成分含量隨著分離速度的增加得到較大提升。當(dāng)速度從10 m/s升至15 m/s時碳化硅成分從77.3%提高至93.2%,碳化硅的成分提高了20%。

        3.4 料漿濃度對浮選分離的影響

        污泥料漿濃度分別為質(zhì)量比35%、25%、15%時,經(jīng)旋流器對其進(jìn)行分離,檢驗料漿濃度對污泥浮選分離的影響,結(jié)果如表5所示。

        表5 料漿濃度對浮選分離的影響Tab.5 Effect of Slurry Concentration on Flotation Separation Sludge

        試驗表明料漿濃度對污泥浮選分離具有較大影響,污泥經(jīng)浮選離心分離后,旋流器底流口得到的碳化硅成分隨著料漿濃度的降低而升高,當(dāng)料漿濃度從35%降至25%時,碳化硅成分有較大的提升,從62.7%升高至86.8%,提高了38.4%。當(dāng)料漿濃度從25%降至15%時,碳化硅成分從86.8%提高至91.3%,提高了5.1%,碳化硅成分提高幅度不大。當(dāng)料漿濃度在25%時,即可獲得比較理想的分離效果。

        4 結(jié)論

        (1)采用浮選離心分離技術(shù),利用旋流器對晶硅片切割刃料水處理污泥進(jìn)行資源化回收處理,既避免對生態(tài)環(huán)境造成污染,又變廢為寶,得到的碳化硅微粉可作為晶硅片切割刃料產(chǎn)品,得到的硅酸鈣可作為耐火材料和建筑材料,從而達(dá)到工業(yè)廢棄物資源化回收利用的目的,實現(xiàn)經(jīng)濟(jì)循環(huán)發(fā)展。

        (2)溫度、壓力、旋流速度和時間、料漿濃度均會對浮選分離資源化回收處理污泥帶來一定的影響。

        (3)資源化回收處理污泥時,當(dāng)溫度為50℃、分離壓力為0.20 MPa、分離速度為15 m/s、污泥料漿濃度質(zhì)量比25%時,浮選離心分離回收污泥可獲得較佳的處理效果。

        [1]HAHN P O.The 300mm silicon wafer:a cost and technology challenge[J].Microelectronic Engineering,2001,56(12):3-13.

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        [3]黃美玲,熊裕華,魏秀琴,等.硅片線鋸砂漿中硅粉與碳化硅粉的泡沫浮選分離回收[J].電子元件與材料,2010,4(4):74-77.

        [4]石興,李懋強(qiáng).耐高溫、低導(dǎo)熱、柔性微孔硅酸鈣材料的研究[J].稀有金屬材料與工程,2007,8:561-563.

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        [6]董祖龍,柳綺年,張緒信,等.氣流粉碎和分級系統(tǒng)在碳化硅微粉生產(chǎn)中的應(yīng)用[J].中國粉體技術(shù),2001,2(1):35-37.

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