在近日于上海新國際博覽中心閉幕的國際平板顯示展、全球最大規(guī)模的泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)SEMICON、SOLARCON展上，法國液化空氣集團(tuán) (以下簡稱液空)展示的高純度大宗氣體、硅烷 (SiH4)、高純氨等電子特氣產(chǎn)品以及新一代的反應(yīng)腔清洗解決方案，受到廣大客戶和專業(yè)觀眾的好評。

硅烷是半導(dǎo)體、平板顯示器和光伏產(chǎn)業(yè)廣泛并大量使用的電子特氣，液空是目前全球唯一能自主生產(chǎn)硅烷的工業(yè)氣體公司;液空領(lǐng)先的現(xiàn)場制氟技術(shù)可替代 NF3，清洗高效且安全環(huán)保;液空的ALOHATM先進(jìn)材料應(yīng)用于化學(xué)氣相沉積與原子層沉積等半導(dǎo)體制程，曾數(shù)度榮獲國際集成電路行業(yè)大獎。

據(jù)悉，液空在南通的高純氨工廠，可滿足國內(nèi)LED、光伏、平板顯示器等行業(yè)用戶需要，緩解了該產(chǎn)品長期依賴進(jìn)口，且成本高、供貨期長的矛盾。