康東紅, 唐有根, 羅玉良, 黃遠(yuǎn)提
(1.中南大學(xué) 化學(xué)化工學(xué)院 化學(xué)電源與材料研究所,湖南 長沙410083;2.中羅電子材料有限公司,廣東 東莞523050)
甲醛是目前化學(xué)鍍銅工藝中應(yīng)用最為廣泛的還原劑。然而,甲醛是一種致癌物質(zhì),易揮發(fā),接觸過多會(huì)對(duì)人體產(chǎn)生不良影響。隨著人們環(huán)保意識(shí)的提高,取代甲醛的環(huán)保型還原劑的開發(fā)成為研究的熱點(diǎn)。目前對(duì)還原劑的研究主要集中在醛糖類(甲醛加成物、乙醛酸、丙酮醛、糖類)、硼類及無機(jī)鹽(低價(jià)金屬鹽、二甲基胺硼烷、次磷酸鹽)等還原劑上[1-2]。其中次磷酸鹽還原劑因具有成本低、工藝參數(shù)范圍寬等優(yōu)點(diǎn),從而得到了研究者的青睞。
通過加入不同添加劑來提高沉積速率及鍍液穩(wěn)定性[3-4],改善鍍銅形貌的研究已成為當(dāng)前熱點(diǎn),而在催化劑方面卻研究較少。
由于次磷酸鈉在銅表面的催化活性較?。?],需要催化劑才能保證反應(yīng)的持續(xù)進(jìn)行。通常使用的催化劑為鎳鹽,但是用鎳鹽會(huì)使沉積的銅層中含有鎳,從而降低銅層質(zhì)量。
本文使用公司自制的添加劑YL-343A(中羅電子材料有限公司,以下帶有YL的均為此公司原料,避免重復(fù)將不再注明)和YL-343B,降低了鎳鹽的使用量。并與2,2’-聯(lián)吡啶作對(duì)比,用化學(xué)法、高分辨率掃描電子顯微鏡和電化學(xué)方法來檢測這兩種添加劑對(duì)化學(xué)鍍銅的影響。
以40mm×40mm的環(huán)氧樹脂作為基材。
(1)堿性除油
YL-303 100mL/L,57℃,6min,機(jī)械攪拌。
(2)微蝕
Na2S2O8150g/L,濃H2SO440mL/L,室溫,1min,機(jī)械搖擺或空氣攪拌。
(3)預(yù)浸
YL-313 200g/L,濃HCl 50mL/L,室 溫,2min,機(jī)械搖擺。
(4)膠體鈀活化
YL-313 200g/L,濃HCl 50mL/L,YL-323 10mL/L,30℃,6min,機(jī)械搖擺(禁用空氣攪拌)。
(5)堿性加速
YL-333 100mL/L,49℃,2min,機(jī)械搖擺。
氫氧化鈉10g/L,檸檬酸三鈉18g/L,硼酸30 g/L,硫酸銅6g/L,硫酸鎳0.5g/L,次磷酸鈉30 g/L,pH值9.2,65℃,30min。
(1)沉積速率
取一片厚度為1mm的光板隨沉銅流程走完,放入500mL燒杯中,加入質(zhì)量分?jǐn)?shù)為20%的H2SO45mL和質(zhì)量分?jǐn)?shù)為30%的H2O21.5mL,待銅完全溶解后,用pH值為10的氨水中和至深藍(lán)色,再加入幾滴1-(2-吡啶偶氮)-2-萘酚(PAN)指示劑,用0.1mol/L的乙二胺四乙酸二鈉滴定至綠色。假定鍍層密度為8.9g/cm3,且鍍層厚度均勻。沉積速率的計(jì)算公式為:
式中:v為沉積速率,μm·h-1;V為滴定體積,mL。
(2)表面形貌
采用JSM-6360型高分辨率掃描電子顯微鏡(SEM)觀察鍍層的表面形貌。
(3)電化學(xué)測試
電化學(xué)測試系統(tǒng)由CHI 660型電化學(xué)工作站及其配套軟件組成。采用三電極體系,工作電極為純度為99.9%、暴露直徑為1.0cm的銅箔片,輔助電極為鉑片電極,參比電極為飽和甘汞電極(SCE)。掃描速率為10mV/s,掃描電位為0~-1.0V。每次實(shí)驗(yàn)用量50mL。每次測量前需將電極在工作液中浸泡足夠時(shí)間,從而使開路電壓穩(wěn)定。
2.1.1 2,2’-聯(lián)吡啶對(duì)沉積速率的影響
圖1為2,2’-聯(lián)吡啶的質(zhì)量濃度對(duì)沉積速率的影響。未加入2,2’-聯(lián)吡啶時(shí),沉積速率很高,反應(yīng)劇烈,有大量氣體逸出,鍍層呈棕褐色。由圖1可知:隨著2,2’-聯(lián)吡啶的質(zhì)量濃度從5mg/L增加到20mg/L,沉積速率從117.52μm/h下降到14.24 μm/h;此后,繼續(xù)升高2,2’-聯(lián)吡啶的質(zhì)量濃度對(duì)沉積速率影響不大。鍍層顏色也從暗棕色變?yōu)楣饬恋姆凵砻娴闹旅芏忍岣摺?,2’-聯(lián)吡啶吸附在鍍層表面,使得遷移到板面的電子和反應(yīng)面的接觸面積減小,晶粒形成速率減慢,從而使沉積速率降低。進(jìn)一步提高2,2’-聯(lián)吡啶的質(zhì)量濃度,使得其在反應(yīng)面的吸附達(dá)到飽和。因此,2,2’-聯(lián)吡啶的最佳質(zhì)量濃度為15mg/L。
圖1 2,2’-聯(lián)吡啶對(duì)沉積速率的影響
2.1.2 YL-343A對(duì)沉積速率的影響
固定2,2’-聯(lián)吡啶的質(zhì)量濃度為15mg/L,研究了YL-343A的體積分?jǐn)?shù)對(duì)沉積速率的影響,實(shí)驗(yàn)結(jié)果,如圖2所示。由圖2可知:隨著YL-343A的體積分?jǐn)?shù)的增加,沉積速率逐漸加快;當(dāng)YL-343A的體積分?jǐn)?shù)為0.4mL/L時(shí),鍍層表面細(xì)膩光滑,微粒均勻;繼續(xù)增加YL-343A的體積分?jǐn)?shù),沉積速率先升高后降低,且鍍層發(fā)暗。造成這一現(xiàn)象的原因?yàn)椋篩L-343A的體積分?jǐn)?shù)較低時(shí),有利于氫氣的析出,減小鍍層的氫脆性;進(jìn)一步增大其體積分?jǐn)?shù)時(shí),反應(yīng)速率加快,從而使鍍層疏松、發(fā)暗。因此,YL-343A的最佳體積分?jǐn)?shù)為0.4mL/L。
圖2 YL-343A對(duì)沉積速率的影響
2.1.3 YL-343B對(duì)沉積速率的影響
固定2,2’-聯(lián)吡啶的質(zhì)量濃度為15mg/L,研究了YL-343B的質(zhì)量濃度對(duì)沉積速率的影響,實(shí)驗(yàn)結(jié)果,如圖3所示。由圖3可知:隨著YL-343B的質(zhì)量濃度從0g/L增加到0.12g/L,沉積速率略有加快;此后,繼續(xù)增加YL-343B的質(zhì)量濃度,沉積速率先加快后減慢。YL-343B的質(zhì)量濃度較低時(shí),有利于穩(wěn)定鍍液;其質(zhì)量濃度增加時(shí),反應(yīng)加快,從而使鍍層發(fā)暗。因此,YL-343B的最佳質(zhì)量濃度為0.12 g/L。
圖3 YL-343B對(duì)沉積速率的影響
圖4 不同添加劑下所得鍍層的表面形貌
不同添加劑下所得鍍層的表面形貌,如圖4所示。由圖4(a)可知:不添加任何添加劑時(shí),鍍層表面的孔隙較大,微粒較大且不均勻,鍍層疏松。這應(yīng)該是造成板面顏色棕黑的原因,從而會(huì)導(dǎo)致電阻率升高。由圖4(c),(e)可知:隨著YL-343A的加入,鍍層變得致密、均勻、光滑,鍍層的外觀顏色也變?yōu)榱朔奂t色;但是隨著YL-343A的體積分?jǐn)?shù)的增加,反應(yīng)加快,孔隙變大。由圖4(b),(d),(f)可知:當(dāng)YL-343B的質(zhì)量濃度較低時(shí),雖然鍍層表面致密,但反應(yīng)速率慢,鍍層的外觀顏色為粉紅色;隨著其質(zhì)量濃度的增加,反應(yīng)速率加快,鍍層顏色仍為粉紅色;但是當(dāng)YL-343B的質(zhì)量濃度較高時(shí),反應(yīng)速率較快,孔隙增大,鍍層疏松。
根據(jù)化學(xué)鍍混合電位理論,化學(xué)鍍過程的總反應(yīng)決定于發(fā)生在同一個(gè)電極表面的兩個(gè)半反應(yīng)[5]。下面分別探討了不同添加劑對(duì)次磷酸鈉陽極氧化和銅離子陰極還原的影響。
2.3.1 2,2’-聯(lián)吡啶對(duì)陰極還原和陽極氧化的影響
圖5為2,2’-聯(lián)吡啶對(duì)化學(xué)鍍銅陰極反應(yīng)的影響。由圖5可知:隨著2,2’-聯(lián)吡啶的質(zhì)量濃度的增加,陰極還原峰電勢負(fù)移,而還原峰電流逐漸增大;當(dāng)2,2’-聯(lián)吡啶的質(zhì)量濃度大于10mg/L時(shí),還原峰電流和電勢基本不變。這說明2,2’-聯(lián)吡啶對(duì)銅離子的還原有一定的阻化作用。圖6為2,2’-聯(lián)吡啶對(duì)化學(xué)鍍銅陽極反應(yīng)的影響。由圖6可知:隨著2,2’-聯(lián)吡啶的質(zhì)量濃度的增加,次磷酸鈉的氧化峰電勢負(fù)移,但其氧化峰電流卻相應(yīng)地減小。這表明2,2’-聯(lián)吡啶吸附在電極表面,降低了次磷酸鈉的氧化作用。
圖5 2,2’-聯(lián)吡啶對(duì)化學(xué)鍍銅陰極反應(yīng)的影響
圖6 2,2’-聯(lián)吡啶對(duì)化學(xué)鍍銅陽極反應(yīng)的影響
2.3.2 YL-343A對(duì)陰極還原和陽極氧化的影響
圖7為YL-343A對(duì)化學(xué)鍍銅陰極反應(yīng)的影響。由圖7可知:隨著YL-343A的體積分?jǐn)?shù)的增加,陰極還原峰電勢基本不變,而還原峰電流逐漸增大。這說明YL-343A的加入加快了銅離子的還原。圖8為YL-343A對(duì)化學(xué)鍍銅陽極反應(yīng)的影響。由圖8可知:隨著YL-343A的體積分?jǐn)?shù)的增加,次磷酸鈉的氧化峰電勢負(fù)移,氧化峰電流升高;當(dāng)YL-343A的體積分?jǐn)?shù)大于0.4mL/L時(shí),對(duì)氧化峰電流影響不大。這與YL-343A可以加快化學(xué)反應(yīng)速率一致。
圖7 YL-343A對(duì)化學(xué)鍍銅陰極反應(yīng)的影響
圖8 YL-343A對(duì)化學(xué)鍍銅陽極反應(yīng)的影響
2.3.3 YL-343B對(duì)陰極還原和陽極氧化的影響
圖9為YL-343B對(duì)化學(xué)鍍銅陰極反應(yīng)的影響。由圖9可知:隨著YL-343B的質(zhì)量濃度的增加,陰極還原峰電勢負(fù)移;進(jìn)一步增加YL-343B的質(zhì)量濃度,還原峰電勢正移,還原峰電流則逐漸增大。這說明YL-343B對(duì)銅離子的還原有一定的阻化作用。圖10為YL-343B對(duì)化學(xué)鍍銅陽極反應(yīng)的影響。由圖10可知:YL-343B的加入對(duì)次磷酸鈉的氧化峰電流影響不大;但隨著YL-343B的質(zhì)量濃度的增加,氧化峰電勢逐漸負(fù)移。這表明YL-343B有助于次磷酸鈉的氧化。
圖9 YL-343B對(duì)化學(xué)鍍銅陰極反應(yīng)的影響
圖10 YL-343B對(duì)化學(xué)鍍銅陽極反應(yīng)的影響
采用次磷酸鈉作為還原劑進(jìn)行化學(xué)鍍銅,降低硫酸鎳的質(zhì)量濃度,探討了不同添加劑對(duì)化學(xué)鍍銅的影響。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:2,2’-聯(lián)吡啶,YL-343A和YL-343B均能改善鍍層形貌,且不同的添加劑所起的作用不同。其中,2,2’-聯(lián)吡啶起到穩(wěn)定反應(yīng)的作用,而YL-343A和YL-343B則能加快沉積速率。通過實(shí)驗(yàn)研究,進(jìn)一步優(yōu)選出不同添加劑的最佳添加量。
[1]HONMA H,F(xiàn)UJINAMI T,EBINA N.Microporous copper film and electroless copper plating solution for obtaining the same:US,6 329 072[P].2001-12-11.
[2]GRUNWALD J.Method for electroless copper deposition using a hypophosphite reducing agent:US,6 524 490[P].2003-02-25.
[3]趙金花,李志新,王劭南,等.馬來酸對(duì)次磷酸鈉化學(xué)鍍銅沉積行為的影響[J].電鍍與環(huán)保,2009,29(2):35-38.
[4]甘雪萍.亞鐵氰化鉀對(duì)以次磷酸鈉為還原劑化學(xué)鍍銅的影響[J].材料工程,2009(4):39-44.
[5]OHNO I,WAKABAYASHI O,HARUYAMA S.Anodic oxidation of reductants in electroless plating[J].Journal of the Electrochemical Society,1985,132(10):2 323-2 330.