低真空掃描電鏡在質(zhì)檢和計(jì)量中的應(yīng)用及發(fā)展
2012-12-31 00:00:00王紅姜艷婧蔣兵
【摘要】詳細(xì)介紹了低真空掃描電子顯微鏡的發(fā)展及其在質(zhì)檢和計(jì)量等工作中的應(yīng)用情況，并對國家泵類產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心引進(jìn)的德國蔡司EVO 18型掃描電子顯微鏡的放大倍率進(jìn)行了校正，結(jié)果表明，其放大倍率的誤差小于0.5%，在質(zhì)檢及計(jì)量等工作中將發(fā)揮重大的作用。
【關(guān)鍵詞】低真空掃描電鏡；國家泵類產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心；質(zhì)檢；計(jì)量
