0.引言

PECVD設備研發(fā)與生產長期以來被歐美等少數發(fā)達國家的企業(yè)所壟斷。國內同行業(yè)設備廠家大都對國外設備仿制，無法有效滿足客戶的實際需求。本文將根據對不同的顧客價值構建層次結構模型，運用層次分析法[1]進行分析，為PECVD設備和同類產品的開發(fā)提供必要的參考。

1.層次分析法（AHP）及其步驟

1.1 層次分析法的基本原理

層次分析法（Analytical Hierarchy Process，簡稱AHP）是美國運籌學家T.L.Saaty教授于20世紀70年代提出的一種定性和定量相結合的系統(tǒng)化、層次化分析方法。首先把要解決的問題形成層次結構模型；其次給每一層次因素的相對重要性予定量表示；然后用數學方法確定每層次全部因素相對重要性權值；最后綜合計算各層因素相對重要性的權值，以此作為評價和選擇方案的依據。

1.2應用層次分析法解決問題一般包括以下4個步驟[3]

（1）建立多級遞階層次結構模型。第1級是目標層；第2級是準則層；第3級是措施層。

（2）構造判斷矩陣。以上一級的某一要素A作為準則，對本級的要素進行兩兩比較。任何判斷矩陣應滿足：bii=1；bij=1/bji （i，j =1， 2，...， n）（1）bij值的解釋：9（極為重要）；7（重要很多）：5（重要）；3（稍重要）；1（同樣重要），各自倒數則依次為稍次要，次要，次要很多，極為次要。

（3）層次單排序及一致性檢驗。根據判斷矩陣求出其最大特征根λmax，再求出所對應的特征向量W，本文采用“和積法”進行權重計算，步驟為[4，5]：

①將判斷矩陣每一列歸一化：