傳感器以及傳感器系統(tǒng)可以使我們對周圍環(huán)境有足夠的了解和警覺,也可以對我們的健康和環(huán)境進行持續(xù)監(jiān)控,并帶來平安。傳感技術領域中的一個變革性進展是智能傳感器系統(tǒng)的開發(fā)。智能傳感器的定義可以各不相同,但最基本的特征是將一個敏感元件與由微處理器所提供的數(shù)據(jù)處理功能相結(jié)合。換言之,智能傳感器是作為基礎部件的敏感元件與植入的人工智能的結(jié)合。傳感器的信號被輸入到微處理器后,后者對所輸入的數(shù)據(jù)進行處理后再將信息傳送到外部的使用者。本文所指的智能傳感器系統(tǒng)的更全面描述可參見圖1:一個完整的智能傳感器系統(tǒng)必須包括對傳感器的響應數(shù)據(jù)和其它數(shù)據(jù)的模式進行登錄和處理的能力以及自備能源,同時有能力將富含信息的數(shù)據(jù)傳輸或顯示給外部使用者。最基本的概念是將硅微處理器和傳感技術集成在一起的智能傳感器系統(tǒng)不僅能提供數(shù)據(jù)解析和個性化的輸出,并且可以大大改進傳感器系統(tǒng)的特性和功能。
圖1 智能傳感器系統(tǒng)。一個性能優(yōu)異的智能傳感器系統(tǒng)的核心部分包括傳感器、能源、通訊和信號處理等
智能傳感器系統(tǒng)通常包含若干功能層:具有不同感知功能的信號檢測層、信號處理層、數(shù)據(jù)驗證和解析層以及信號傳輸和顯示層等。單個智能傳感器系統(tǒng)中可包含多個傳感器,每個傳感器的操作參數(shù)如偏置電位及溫度等可由系統(tǒng)的微處理器來設定。傳感器元件與信號控制及調(diào)節(jié)平臺之間的界面可同時提供激勵信號和進行信號記錄及調(diào)節(jié)。數(shù)據(jù)采集層可將模擬信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號,也可采集額外的必需參數(shù)以進行諸如溫度漂移及時間漂移的信號補償。所植入的人工智能可對不同傳感器進行連續(xù)監(jiān)控,對所采集的工程數(shù)據(jù)進行驗證,并定期進行傳感器標定和檢測傳感器是否工作正常。處理后的數(shù)據(jù)成為所需信息并傳輸?shù)酵獠坑脩簟S脩艨蓪鬏攣淼臄?shù)據(jù)進行選擇:僅讀取單一數(shù)據(jù)或下載傳感器系統(tǒng)的完整參數(shù)。
智能傳感器系統(tǒng)的一個主要特色是所提供的重要數(shù)據(jù)更為可靠和完整。智能化性能可以建立于傳感器層次包括自標定、工作狀態(tài)自評估和故障自修復以及補償測量(自動調(diào)零、標定、溫度和壓力以及相對濕度校正等),當然也不限于此。智能傳感器可進行內(nèi)部處理的特性使得系統(tǒng)不僅能向使用者提供處理后的數(shù)據(jù),并可對傳感器系統(tǒng)自身性能或運轉(zhuǎn)狀況進行自我評估,也可對處理后數(shù)據(jù)的可信度進行自我評價。智能傳感器系統(tǒng)可以對系統(tǒng)內(nèi)各個傳感器的運行進行優(yōu)化,并對數(shù)據(jù)、測量直至測量的環(huán)境有更深入的了解。總之,微處理器與傳感器的結(jié)合允許我們對核心系統(tǒng)的設計進行優(yōu)化,在特定應用中適應測試環(huán)境的變化,以便滿足種類繁多的不同應用的特殊需求。
智能傳感器的第二個主要特色是新一代智能傳感器可以通過通訊界面進行聯(lián)網(wǎng),因而可對個別網(wǎng)絡進行自我識別和通信,在必要時還可對智能傳感器的程序進行調(diào)整。進一步說,可以對某一區(qū)域內(nèi)的多個傳感器系統(tǒng)所得到的數(shù)據(jù)進行關聯(lián)性處理,而不局限于驗證個別傳感器的數(shù)據(jù),從而對該區(qū)域內(nèi)的狀況有所了解。傳感器系統(tǒng)之間的通信可以通過單一傳感器和通訊樞紐之間來進行,也可以在單一傳感器之間直接來進行。這種優(yōu)異性能可以造就更可靠和更優(yōu)越的系統(tǒng),使得它們能構(gòu)成傳感器測試網(wǎng)絡,為用戶提供足夠重現(xiàn)而且互相關聯(lián)的傳感器數(shù)據(jù)。進一步來說,傳感系統(tǒng)自身所具有的通訊功能使得在測試現(xiàn)場就可以通過更快速、可靠和高效的模式進行信息共享。
開發(fā)智能傳感器系統(tǒng)的目標是實現(xiàn)系統(tǒng)的非擾動模式,所提供的信息可以滿足使用者無論何時、何地以及以何種方式提出的應用需求。實際上,智能傳感器的研究目標是開發(fā)這樣一種新型的智能系統(tǒng),它可以告知用戶,為了作出某種正確決策他們需要知曉什么。本文并不是關于智能傳感器系統(tǒng)研發(fā)工作的完整評述,只是舉例說明某些可采用的技術,包括兩個智能系統(tǒng)實例和這一技術的可能發(fā)展方向的探討。
智能傳感器系統(tǒng)的構(gòu)成部件如圖1所示,包括傳感器、能源、通信以及由微處理器提供的信號處理等部分。對微處理器技術進展的描述超出了本文的范圍,但是芯片技術的進展使得遙控功能只需極低的能源消耗。可以列舉出許多有關傳感器、能源和通信技術進展用于智能傳感器系統(tǒng)的實例。智能傳感器系統(tǒng)開發(fā)的理想目標是低成本、可靠、自我監(jiān)控、可重新配置和長期運行。如同微加工技術(MEMs)導致微處理器技術和微型傳感器[1]的革命性變革那樣,微加工技術和納米技術在智能傳感器系統(tǒng)[2]開發(fā)中起著關鍵作用。以下介紹一些有望用于智能傳感器系統(tǒng)開發(fā)的新技術。
微加工技術使得制造極小的低能耗傳感器成為可能。集成在智能傳感器系統(tǒng)上的微型傳感器的一個實例是安裝在微型加溫板上的傳感器。微型加溫板為基于高溫金屬氧化物的電導型氣體傳感器提供了一個低能耗平臺。Shirke等[3]成功地進行了加熱速度高達106℃/s的飛摩爾級等溫吸附實驗。極低的能耗源自微型加溫板極小的熱當量。圖2是在多晶硅表面以微機械加工技術制作的超低能耗橋的掃描電鏡照片。這一氣體傳感器對周圍氣體在納秒數(shù)量級內(nèi)的變化產(chǎn)生響應,進行氦氣測定時的暫態(tài)響應時間常數(shù)為12微秒。在恒定外加電壓下,橋臂的溫度以及相應的電阻是周圍的環(huán)境氣體熱導的函數(shù)。對一個長50微米,寬1微米的橋臂而言,在3.6伏的操作電壓下,氦氣的測定靈敏度為2.05毫歐姆/ppm,甲烷的測定靈敏度為0.71歐姆/ppm。圖2所示的微型傳感器只需極低的能耗,連續(xù)測定時的能耗為4毫瓦,每微秒讀數(shù)一次時的能耗小于4微瓦。原則上說,小型干電池的工作壽命可達數(shù)月甚至以年計[2]。微型傳感器的微加工技術與CMOS加工技術是兼容的,因而將電子界面和微型傳感器集成在同一基體上是極易完成的。
為了優(yōu)化傳感性能和數(shù)據(jù)處理,不少傳感器需要多個芯片共同工作。當然,不同的傳感器需要不同的設計,只需極低能耗的微型傳感器使得具有長運行壽命的智能傳感器系統(tǒng)得以成為現(xiàn)實。
圖2 由4個多晶硅氣體傳感器組成的陣列器件的掃描電子顯微鏡圖像。連接橋的尺寸是50×1微米。該器件由KWJ公司設計,喬治亞理工學院加工制作
一個智能傳感器系統(tǒng)需要能源來支撐所有部件(包括傳感器本身)的運行。假如傳感器元件和通信系統(tǒng)都設計成低能耗的部件而且互相兼容,系統(tǒng)的總能耗一定很低。這樣便降低了安裝成本和更適合實際應用。各類電池和能源收集器通常被選作智能傳感器系統(tǒng)所需的小型能源系統(tǒng),具體則視各種應用體系而定。一次電池或可充電電池對于智能傳感器系統(tǒng)的未來發(fā)展是至關重要的。鋰離子電池、鋰高聚物電池和金屬-空氣可充電電池適宜用作智能傳感器系統(tǒng)的電源。例如,鋰離子電池和鋰高聚物電池的開路電壓大約是3.6伏,能量密度分別是160和130~200瓦時/公斤。這樣的性能可滿足許多智能傳感器系統(tǒng)的要求[4]。
能量收集裝置是通過外部來源來收集和儲存能量的一種工藝。壓電晶體或壓電纖維,熱電發(fā)生器、太陽能電池、靜電和磁能捕集器件都可以滿足局部的能源需求[5]。當壓電能源裝置發(fā)生物理變形時,可以產(chǎn)生微小位差。這種物理變形可以來自機械振動,例如將智能傳感器系統(tǒng)安裝于合適的位置和合適的操作環(huán)境 (例如機械振動)[6]。熱電發(fā)生器由兩種不同金屬的接界構(gòu)成,當熱梯度存在時,就會產(chǎn)生一個小的電位差。典型的情況是每一個接界的電位差可以達到100~200微伏/℃。取決于智能傳感器系統(tǒng)的位置和能源需求,小型能量收集裝置可以從周圍環(huán)境收集到足夠的能量來支持智能傳感器的運行。以上是支持智能傳感器系統(tǒng)運行的小型能源裝置的兩個實例。
智能傳感器系統(tǒng)需要通過一個電界面來將傳感器的輸出信號傳輸?shù)竭h端的數(shù)據(jù)收集、記錄和采集系統(tǒng)。理想情況下,這一界面不需要連線而是通過無線遙測方法進行通信。一個實用的可集成到智能傳感器的遙測系統(tǒng)必須是相對小而且具備所有必需的操作功能。微電子設計和加工工藝的進展,也就是熟知的MEMS技術提供了無線通信系統(tǒng)必需的先進技術。作為一個實例,圖3介紹了一個集成在智能傳感器系統(tǒng)上的多通道遙測系統(tǒng)[7]。
在這個遙測系統(tǒng)中,設計了四個輸入通道,再加上一個標定通道,以確保遙測系統(tǒng)不至于誤操作。該系統(tǒng)的封裝尺寸大約是1厘米×1厘米×0.5厘米(包括一個小的手表電池),總重量約為1克。為了滿足小尺寸的要求,加工制作了一個單片集成電路芯片。這一集成電路芯片是一個尺寸為2毫米×2毫米的低能耗BiCMOS信號處理器芯片。這一信號處理器芯片可以對信號進行放大、濾波和時間分隔多路調(diào)制,并將處理后的信號通過安裝在芯片封裝層以內(nèi)的無線電波段傳輸系統(tǒng)輸送到外部無線電波接收器。外部的無線電波接收器再通過外接解調(diào)器重現(xiàn)單一信號,用于顯示或通過波形采集軟件進行分析。該芯片系統(tǒng)中的霍爾效應傳感器可以提供遠距離開關功能,以節(jié)省能源,也可以用來支持交互處理。這一實例描述了集成在智能傳感器系統(tǒng)中的無線多通道遙測系統(tǒng)的應用需求和應具備的功能。用于生物體系界面的超低能耗的無線遙測系統(tǒng)正在進行設計,以實施傳感器數(shù)據(jù)的采集和傳輸[8]。
圖3 用于多通道無線通訊微系統(tǒng)的ASIC(Application-Specific Integrated Circuit)芯片
典型的智能傳感器遠非單一的傳感器元件所能比擬,它是一個完整的功能系統(tǒng)。這樣的系統(tǒng)中包含了一個用于管理和控制能源的模擬電路以及與數(shù)字世界溝通的接口。在數(shù)字世界中,傳感器輸入信號經(jīng)過處理以降低噪聲,同時與別的傳感元件信息結(jié)合在一起以改進補償功能和提供重復測量,也可提高可靠性。再將改善后的信息變成所需的輸出信號,例如簡單的傳感器輸出顯示,也可進行無線傳輸和儲存,再反饋到傳感元件或傳輸?shù)胶线m部件來進行恰當?shù)南到y(tǒng)控制。圖4是一個先進的智能傳感器系統(tǒng)的實例。其中的較大部件是由若干個電子單元依據(jù)需要來構(gòu)成,以獲得所希望的特殊和優(yōu)越性能。圖4中右側(cè)所示的第二代智能系統(tǒng)將所有功能集成到一個微小的、智能化的更復雜系統(tǒng)中。智能傳感器系統(tǒng)的一個特殊之處是應用了微處理技術來實現(xiàn)復雜功能的集成,其成本遠小于那些用手工組裝的尺寸較大的系統(tǒng)。
圖4 從分離的大尺寸部件到小尺寸的集成化智能傳感系統(tǒng)
圖5所顯示的是一組智能傳感器系統(tǒng)的實例。所顯示的一組袋裝型氣體檢測器可選擇性地測定如下氣體:氫氣、硫化氫、一氧化碳和臭氧。所用的手表電池可使用一年或更長久些。這一傳感器系列的特殊設計滿足了低成本、低能耗和長電池壽命的需求。傳感器系統(tǒng)中包含了有聲警報器(LED顯示、85分貝的蜂鳴器和振動功能)和數(shù)字顯示,同時還具有如下計算功能,例如溫度補償信號、時間權(quán)重平均計量、數(shù)據(jù)/現(xiàn)場實況登錄以及無線數(shù)據(jù)下載功能。其重量小于1盎司。之所以能在單一的超小型系統(tǒng)中實現(xiàn)所有上述功能,應該歸功于傳感器和微處理器的集成和電池壽命的延長。在多長時間間隔內(nèi)提供報警功能則受限于電池特性。一般來說,對樣品的測定僅需消耗數(shù)微瓦能量。
圖5 用于各種氣體檢測的袋裝型智能傳感器系統(tǒng)(經(jīng)KWJ Engineering,Inc.同意引用)
第二個智能傳感器系統(tǒng)實例是粘附型燃氣泄漏傳感器系統(tǒng)[9]。這是一個包含了以微電子加工技術制作的微型傳感器陣列的多功能系統(tǒng),可用來進行燃氣泄漏毒性的檢測。整個系統(tǒng)包含三個傳感器、信號調(diào)節(jié)電子線路、能源、數(shù)據(jù)儲存、校正表以及自檢測、遙測等部分,有時還包括自供電裝置。整個系統(tǒng)的表面積如同郵票大小。有望根據(jù)需要將這一傳感器系統(tǒng)如黏貼郵票那樣安放在汽車之中,不必通過線路連接到汽車或從汽車取得電源。電子部件中的程序可為使用者提供所需的某些常規(guī)信息,或許還可進一步提供用戶所需的其它檢測信息。圖6a顯示了一個泄漏檢測器的樣機。單一傳感器系統(tǒng)可通過遙測功能傳輸檢測信息,多個傳感器系統(tǒng)還可同時傳送檢測信息到中央信息處理樞紐。圖6b介紹了三個傳感器系統(tǒng)通過遙測功能同時傳送數(shù)據(jù)的情況。應用此類傳感器系統(tǒng)作為核心部件組成的智能傳感器系統(tǒng)可廣泛應用于火警檢測、呼吸監(jiān)控、環(huán)境監(jiān)控和在火箭發(fā)動機測試平臺上運行[10]。
智能傳感器系統(tǒng)是未來智能系統(tǒng)的基本構(gòu)成部分,它代表著新一代傳感器和具有自我檢測能力的未來系統(tǒng)。通過設計將人工智能下載于構(gòu)件層次的智能傳感器系統(tǒng)將在各種應用領域中產(chǎn)生深刻影響,諸如食品安全、生物毒物檢測、安全毒物檢測和報警、在本地和全球范圍內(nèi)進行環(huán)境監(jiān)控、健康監(jiān)控和醫(yī)學檢測[11]以及工業(yè)和太空應用等。智能傳感器系統(tǒng)可以使能進行自我監(jiān)控和對外部環(huán)境變化產(chǎn)生響應的人工智能系統(tǒng)的安全性能和運行得以優(yōu)化。將傳感器[12]和計算方法合成在一起的設計可用于火警的早期報警[13]或者各種基于傳感器的應用領域[14]。智能傳感器系統(tǒng)的發(fā)展將從分散于不同地域的各種傳感器系統(tǒng)得到信息,并改善對所監(jiān)控的整個體系的了解。嵌入人工智能的新一代傳感器將使終端用戶可以通過更快速、可靠、耐用、經(jīng)濟和高效的模式接收重要數(shù)據(jù)并通過無縫界面與應用體系連接起來。
圖6 a)黏附型燃氣泄漏傳感器系統(tǒng)的樣機,系統(tǒng)包含傳感器和微電子支持部件。b)顯示了在恒定背景條件下三個傳感器對不同濃度碳氫化合物的響應。傳感器信號由信號處理微電子部件對所測得電流響應進行處理后通過無線傳輸向外輸出[10]。(經(jīng)Makel Engineering,Inc.同意引用)
本文的目的只是試圖對與智能傳感器系統(tǒng)有關的技術開發(fā)的廣闊領域進行初步掃描。為了使傳感器系統(tǒng)得以更有效地開發(fā),微/納米技術的未來進展以及與傳感器算法軟件的結(jié)合是必需的。關于納米技術和智能傳感器系統(tǒng)如何在廣泛的應用領域中得到革命性的發(fā)展已經(jīng)有專著論述[2]。我們正關注著集成化智能傳感器系統(tǒng)的新穎和創(chuàng)造性設計的未來進展。
Gary W.Hunter是美國宇航局Glenn研究中心傳感器和電子器件分部智能系統(tǒng)硬件組負責人和化學成分氣體傳感器組的技術負責人。他參與多種用途的傳感器設計、加工和測試工作近20年。其中包括微/納技術的應用和將傳感器技術集成于智能系統(tǒng)的研發(fā)。他曾經(jīng)獲得R&D 100年度獎中最具價值的發(fā)明/產(chǎn)品獎項,兩次獲得美國宇航局的目標到成果獎和一次Nano 50獎??赏ㄟ^如下地址聯(lián)系:ghunter@grc.nasa.gov
Joseph R.Stetter是KWJ工程公司的總裁和首席技術執(zhí)行官,也是Illinois技術學院和Oakland大學的化學學科研究教授以及喬治亞理工學院機械工程研究助理。在從事化學和生物傳感器開發(fā)的KWJ公司,Stetter博士持續(xù)地關注測量科學以及與社會密切相關領域的應用。由他設計的傳感器和相關儀器產(chǎn)品在保障人體健康和環(huán)境保護方面一直被使用。由于他在傳感器研究、儀器開發(fā)和技術轉(zhuǎn)移等方面的卓越貢獻,Stetter博士多次獲得過各種榮譽,例如由芝加哥技術管理協(xié)會頒發(fā)的2002年度企業(yè)家獎,多次被授予IR100獎,以及被選為美國電化學會的Fellow(2008)。他發(fā)表了200多篇學術刊物論文和出版了多本書籍,主編了許多冊學術會議錄,擁有40多件專利。Stetter博士擔任過刊物編輯和主持國際會議,應邀在許多學術會議上作大會報告,邀請報告。他也活躍于多個學術團體,也曾擔任過美國電化學會傳感器學組的主席。他在科學、技術和商業(yè)等多方面的經(jīng)驗使他在應用MEMS技術制作的產(chǎn)品方面也被授予專利,至今仍擔任多個新崛起公司的技術委員會或董事會的成員??赏ㄟ^如下地址聯(lián)系::jrstetter@gmail.com
Peter Hesketh是喬治亞理工學院機械工程教授,Parker H.Petit生物工程和生物科學研究所成員,以及機械工程學院MEMS組的主任。他的研究興趣包括化學和生物傳感器的微機械加工、微型閥門、微型化氣相色譜系統(tǒng)以及微懸臂傳感器等。Hesketh教授目前承擔著多項由Sandia國家實驗室和自然科學基金資助的科研項目。他發(fā)表了65篇以上的刊物論文,主編了15冊有關微系統(tǒng)的書籍。Hesketh教授被選為AAAS,ASME,和ECS的Fellow,也是ASEE,AVS和IEEE等學會的會員。他參與美國電化學會活動長達20年以上,曾任傳感器學組的主席,現(xiàn)在是美國電化學會榮譽和獎勵委員會及Ways&Means委員會的成員??赏ㄟ^如下地址聯(lián)系:peter.hesketh@me.gatech.edu
Chung-Chiun Liu (劉炯權(quán))是美國Case Western Reserve University(Cleveland,Ohio)化學工程系教授,也是 Wallace R.Persons傳感技術和控制講席教授。劉教授的研究興趣集中于電化學、化學和生物傳感器以及微加工技術。劉教授在2008年獲得美國電化學會傳感器學組杰出成就獎,在2003年獲得白宮頒予的科學、數(shù)學和工程教育杰出貢獻總統(tǒng)獎(PAESMEM)。劉教授也被選為英國皇家化學會、美國電化學會和美國醫(yī)學和生物工程研究所等學術機構(gòu)的Fellow。
(譯者注:劉教授曾作為世界銀行專家參與世界銀行中國地方大學貸款項目考察和評估,并被多所中國大學聘為名譽教授或兼職教授,先后接受了十余位中國訪問學者進行合作研究,培養(yǎng)了多位來自中國的博士研究生。)
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