EDWARDS尖端尾氣處理技術(shù)新突破

全球領(lǐng)先的真空設(shè)備、尾氣處理設(shè)備和相應(yīng)服務(wù)的供應(yīng)商Edwards公司宣布達到具有重大意義的里程碑——自20年前進入市場以來，公司銷售的尾氣處理系統(tǒng)超過了10,000臺。雖然大多數(shù)尾氣處理系統(tǒng)銷售予半導(dǎo)體行業(yè)的客戶，但在平板顯示市場，以及太陽能和化合物半導(dǎo)體等新興市場中，Edwards的銷售量也不斷增長，從而幫助公司達到這個里程碑。

Edwards排氣管理系統(tǒng)產(chǎn)品經(jīng)理Steve Cottle稱：“業(yè)界對環(huán)境和氣候變化日益關(guān)心，這促使人們更多地意識到，需要減少排放各種可能的有害工業(yè)副產(chǎn)品。作為尾氣處理技術(shù)的領(lǐng)導(dǎo)者，Edwards一直專注于為客戶提供具有極低運營成本的高效尾氣處理系統(tǒng)。”

塔式氣體反應(yīng)器（gas reactor column）是Edwards的首個尾氣處理產(chǎn)品，銷售數(shù)量已經(jīng)超過3,000臺，這些產(chǎn)品仍然用于氮化鎵和其他研發(fā)應(yīng)用。然而，所銷售的大部分尾氣處理系統(tǒng)一直是公司的內(nèi)置點火燃燒腔（inward fired combustor）產(chǎn)品系列，包括TPU以及Atlas系列產(chǎn)品。由于這些系統(tǒng)具有經(jīng)過生產(chǎn)驗證的性能和極好的可靠性，在過去十年里，Edwards的內(nèi)置燃燒腔產(chǎn)品已經(jīng)成為最暢銷的燃燒尾氣處理系統(tǒng)。

在地域方面，美國仍然是Edwards公司這些系統(tǒng)的最大市場。然而，亞太地區(qū)的高科技制造快速增長且環(huán)保法規(guī)要求日益嚴格，二者結(jié)合推動Edwards在亞太地區(qū)實現(xiàn)顯著增長。

Cottle表示：“我們非常高興達到這個重要的里程碑，Edwards依然專注于為客戶提供滿足其制造需求的尖端尾氣處理技術(shù)?！?/p>

（雋科）