宋慧芳

（上海交通大學(xué)微電子學(xué)院，上海 200240）

1 引言

近半個(gè)世紀(jì)以來(lái)，半導(dǎo)體科技的飛速發(fā)展給我們的日常生活帶來(lái)了日新月異的變化，從電腦、手機(jī)、數(shù)碼相機(jī)這些生活必備品的出現(xiàn)，以及它們的快速更新、升級(jí)，這一切都?xì)w功于半導(dǎo)體技術(shù)的飛速發(fā)展。緊跟摩爾定律的“神話”，半導(dǎo)體技術(shù)革新向著更小、更快、更低功耗、更低成本的目標(biāo)不斷前進(jìn)。

在大環(huán)境的激烈競(jìng)爭(zhēng)下，半導(dǎo)體不同領(lǐng)域的公司都在想盡辦法研發(fā)出具有市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)品或者提供優(yōu)勢(shì)服務(wù)，包括上游IC設(shè)計(jì)公司，中游外包服務(wù)廠Fab、Assembly、Test house，還有下游的材料、設(shè)備供應(yīng)商等。尤其經(jīng)歷了2008～2009年世界范圍的金融危機(jī)，更加激勵(lì)半導(dǎo)體技術(shù)朝向低成本、高品質(zhì)方向不斷革新和發(fā)展，例如IC設(shè)計(jì)更加趨于高密度集成，晶圓尺寸更加趨于大尺寸制造等等。

趨于如上的發(fā)展方向，芯片的制造成本越來(lái)越低，但對(duì)于封裝廠來(lái)說(shuō)，材料的選用基本沒有太大變化，而且隨著原材料價(jià)格不斷上漲（例如金價(jià)目前已超過1500美金/蠱司，未來(lái)將有超過2000美金的趨勢(shì)），原材料價(jià)格占封裝成本中的比例越來(lái)越凸顯出來(lái)，基本上金線成本占所有封裝成本的30%左右，而且封裝外包廠占據(jù)產(chǎn)業(yè)下游，更面臨價(jià)格戰(zhàn)的考驗(yàn)。在此種嚴(yán)峻的情況下，封裝廠需要找出替代金線鍵合的方案，目前行業(yè)內(nèi)正在大力研發(fā)銅線替代金線鍵合的方案。因?yàn)殂~線的價(jià)格優(yōu)勢(shì)，加之良好的導(dǎo)電、導(dǎo)熱、機(jī)械性能，替代金線鍵合并實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)具有很高的可行性。但是金線鍵合已存在半個(gè)世紀(jì)，加之完善的制程工藝，要完全替代是有難度的，而且銅導(dǎo)線的制備、應(yīng)用，包括后續(xù)產(chǎn)品可靠性方面還存在諸多問題有待解決，例如銅易氧化影響鍵合質(zhì)量和產(chǎn)品壽命，銅的硬度較高容易造成Al墊受損等劣勢(shì)，同樣面臨巨大考驗(yàn)。于是封裝外包廠應(yīng)該多同客戶、材料供應(yīng)商、設(shè)備供應(yīng)商合作，共同研究，找出解決方案，將該方案盡快由設(shè)想或者小規(guī)模生產(chǎn)轉(zhuǎn)變?yōu)榇笠?guī)模量產(chǎn)，這樣就可以在保證產(chǎn)品品質(zhì)的前提下大幅降低生產(chǎn)成本，使封裝外包商在整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈中更具有市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。

2 銅導(dǎo)線和金導(dǎo)線比較

2.1 銅導(dǎo)線優(yōu)勢(shì)

2.1.1 價(jià)格

2009年11月國(guó)際金價(jià)突破1000美元/盎司大關(guān)，時(shí)隔兩年，2012年初國(guó)際金價(jià)已經(jīng)達(dá)到1700美元/盎司，而同期國(guó)際銅價(jià)約為3.8美元/磅（1公斤＝2.2磅=35.274蠱司）。一面是金價(jià)持續(xù)攀升，一面是電子消費(fèi)類產(chǎn)品的價(jià)格不斷走低，封裝廠尋找替代金線的新型焊接材料勢(shì)在必行。在這種嚴(yán)峻環(huán)境下，銅導(dǎo)線以其良好的電學(xué)、熱學(xué)、機(jī)械特性及低成本優(yōu)勢(shì)走進(jìn)了封裝領(lǐng)域研究人員的視野。

2.1.2 導(dǎo)電率

銅線的導(dǎo)電率為0.62μΩ/cm，金的導(dǎo)電率為0.42μΩ/cm，可見銅的電學(xué)特性高于金導(dǎo)線，即相同直徑的鍵合線，銅比金可以承載更多的電流。

2.1.3 導(dǎo)熱率

銅線的熱導(dǎo)率為401W/(m·k)，金的熱導(dǎo)率為318W/(m·K)，可見銅的熱導(dǎo)率高于金導(dǎo)線。因此銅線比金線更加容易將封裝中的熱散掉，這樣就減少了它本身所受的熱應(yīng)力。

2.1.4 化合物生長(zhǎng)率

銅鋁化合物的生長(zhǎng)率低于金鋁化合物的生長(zhǎng)率，這樣將提高器件封裝的可靠性。同時(shí)銅相比于金線更適合高密度細(xì)絲引線封裝。

2.2 銅導(dǎo)線劣勢(shì)

2.2.1 銅易氧化

銅易氧化，這有可能降低材料的使用壽命，并給材料的儲(chǔ)存環(huán)境和條件帶來(lái)一定的要求。另外在鍵合過程中高溫作用容易氧化成CuO，影響焊合性能，降低產(chǎn)品可靠性。

2.2.2 硬度

銅的硬度比金要大，金導(dǎo)線硬度＜60，而銅導(dǎo)線硬度＞64；金球硬度＜39，而銅球硬度＞50。氧化的銅會(huì)變得更加硬，所以鍵合就更加困難。

3 銅導(dǎo)線制備工藝和性能研究

如想實(shí)現(xiàn)銅導(dǎo)線鍵合，必須先實(shí)現(xiàn)其原材料的制備，所以如何制備適用于低成本、細(xì)間距、高引出端元器件封裝的銅導(dǎo)線同樣獲得半導(dǎo)體材料制造商的關(guān)注。

3.1 焊合導(dǎo)線的性能要求

表面清潔，無(wú)油污，無(wú)拉伸潤(rùn)滑痕跡，無(wú)顆粒附加物和其他任何臟污；表面無(wú)大于直徑5%的刻痕、凹坑、劃痕、裂紋、凸起和其他任何有可能降低器件使用壽命的缺陷；導(dǎo)線在放開即自由伸展時(shí)應(yīng)無(wú)明顯彎曲，導(dǎo)線的彎曲應(yīng)不降低其使用性能；導(dǎo)線無(wú)軸向彎曲；高的表面質(zhì)量；可拉性。

由于銅絲球焊在長(zhǎng)引線、超微細(xì)絲的高密度封裝中的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)，作為替代金導(dǎo)線的超微細(xì)絲具有廣闊的市場(chǎng)前景，但由于其標(biāo)準(zhǔn)要求嚴(yán)格并且加工困難，因此對(duì)拉制單晶銅鍵合導(dǎo)線的坯料性能提出更高的要求。

拉線性能是微細(xì)拉線的特性標(biāo)志。在銅桿標(biāo)準(zhǔn)中，規(guī)定了化學(xué)成分、延伸率、電阻系數(shù)、表觀狀況和用扭絞試驗(yàn)判斷內(nèi)在缺陷。另外國(guó)際有一個(gè)參數(shù)指標(biāo)來(lái)衡量短線率，即每次短線可拉至的銅線重量：T/B值（T為銅線重量，B為短線次數(shù)）。

3.2 不同單晶銅的性能研究

不同晶向彈性模量的差異，如銅單晶的E100=91 GPa，E111=165 GPa，E110=137GPa，不同取向單晶的應(yīng)力應(yīng)變曲線也有很大的差異，銅絲中〈111〉結(jié)構(gòu)為主時(shí)，銅絲的剛度大，加工硬化率高，形變抗力大，鍵合時(shí)劈刀攜帶銅絲快速?zèng)_擊可能對(duì)硅芯片造成損傷。相反，〈100〉取向晶粒形變抗力小，可能降低絲本身的強(qiáng)度，即降低拉拔強(qiáng)度。

3.3 銅導(dǎo)線焊合組織和微結(jié)構(gòu)變化研究

如果想更好地實(shí)現(xiàn)銅導(dǎo)線代替金導(dǎo)線制程，最好清楚了解銅導(dǎo)線在每個(gè)鍵合階段的組織和微結(jié)構(gòu)變化。銅線鍵合的基本過程包括：（1）由鑄錠拉拔及退火制備出銅線；（2）通過高壓放電（EFO過程）造成局部熔化在絲的端部形成自由球；（3）銅絲球第一鍵合實(shí)現(xiàn)銅絲球與芯片的連接；（4）絲的另一端與引線框架實(shí)現(xiàn)楔形鍵合。

3.3.1 形成自由球過程

銅線與金線最大的差異在于銅易氧化，焊合過程中因放電極加熱板加熱，會(huì)形成氧化銅。已氧化的FAB（Free Air Ball）球不圓，容易造成打不黏。

在1000℃以下形成黑色氧化物，反應(yīng)為2Cu+O2→2CuO；1000℃以上形成褐色氧化物，反應(yīng)為4CuO→2Cu2O+O2

3.3.2 一焊點(diǎn)鍵合

所謂一焊點(diǎn)，即焊線同芯片PAD進(jìn)行鍵合形成的焊點(diǎn)。目前由于Foundry的制程分Al制程和Gu制程兩種，即焊墊也存在Al和Gu兩種，但是目前行業(yè)內(nèi)鋁墊占多數(shù)。在加熱狀態(tài)下，銅球會(huì)和Al Pad或者Gu Pad達(dá)到熔融狀態(tài)并實(shí)現(xiàn)鍵合，需要著重分析銅鍵合線針對(duì)此兩種PAD的鍵合狀態(tài)。

4 銅導(dǎo)線焊合技術(shù)難點(diǎn)

4.1 如何控制氧化

在加熱過程中加入惰性氣體和混合氣體進(jìn)行抗氧化保護(hù)，因氧化稀釋作用不會(huì)燃燒或起化學(xué)反應(yīng)，借以防止氧化。

混合氣體成份為95% N2和5% H2。為了防止氧化，必須在加熱區(qū)吹N2保護(hù)，隔離空氣中的氧；利用H2燃燒產(chǎn)生高溫，燒球比較圓，H2含量越高燒球越圓。

4.2 銅的高硬度造成焊合困難

因?yàn)殂~的硬度高于金，銅絲鍵合時(shí)需要更高的超聲功率和更大的壓力，這樣比較容易對(duì)PAD造成傷害，而如果降低超聲功率和壓力，又會(huì)造成虛焊。如何在實(shí)際工藝中尋找合適的參數(shù)，需要利用DOE試驗(yàn)分析方法。

5 銅導(dǎo)線和金導(dǎo)線焊點(diǎn)可靠性對(duì)比分析

實(shí)際生產(chǎn)過程中，關(guān)于焊合制程的缺陷通常為基板裂紋、硅坑、接頭強(qiáng)度低和虛焊等等。這些不良基本上是和金導(dǎo)線相同，但是由于銅焊線的高硬度，例如基板裂紋或者硅坑應(yīng)該更容易出現(xiàn)在銅焊線制程當(dāng)中。另外銅易氧化，高濕環(huán)境下對(duì)產(chǎn)品的可靠性是否有明顯影響也是一個(gè)問題。另外銅導(dǎo)線制程又給可靠性分析帶來(lái)一定的挑戰(zhàn)，例如銅線會(huì)跟硝酸進(jìn)行反應(yīng)，所以不能用傳統(tǒng)的噴射刻蝕來(lái)對(duì)封裝器件做失效模式分析。

雖然銅絲鍵合在制備、實(shí)際生產(chǎn)、后續(xù)產(chǎn)品可靠性問題上都存在諸多問題待確認(rèn)和解決，但是隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，該技術(shù)必將日臻完善。

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