黃虎　趙宏偉　萬順光　耿春陽　米杰

納米壓痕測試技術是近些年發(fā)展起來的一項具有微納米級精度的力學測試新技術，由于具有操作方便、樣品制備簡單、測試分辨率高、測試內(nèi)容豐富等眾多優(yōu)點，納米壓痕測試技術逐步發(fā)展成為微納米力學測試的主流技術，在材料科學、生物醫(yī)學、半導體技術、鋼鐵冶金、表面工程、納米技術、微機電系統(tǒng)等領域發(fā)揮著越來越重要的作用，它可以對各類固態(tài)材料或器件的力學性能做出評價，從而對其設計和使用提供指導。