摘 要：國內(nèi)PIND試驗(yàn)室對水溶膠的清除方法普遍存在諸多弊端，導(dǎo)致元件表面膠體殘留過多，給后續(xù)試驗(yàn)帶來質(zhì)量隱患。在探討了多種在用的清洗方法后，提出了“噴淋-循環(huán)”一站式清洗方案，在滿足元器件的溫度、表面保護(hù)、靜電防護(hù)等要求的同時(shí)，清洗質(zhì)量和清洗效率也有了極大的提高，最終研制出新型水溶膠清洗機(jī)。試驗(yàn)證明，新方法具有耗費(fèi)低廉、使用方便、易于維護(hù)、可靠性高等顯著優(yōu)點(diǎn)，可極易推廣至相似需求的中、小型PIND試驗(yàn)環(huán)境中。

關(guān)鍵詞：PIND試驗(yàn)； 清洗方法； 元器件清洗； 水溶膠

中圖分類號：TN919-34 文獻(xiàn)標(biāo)識碼：A 文章編號：1004-373X(2012)14-0175-03