摘 要：為了克服傳統(tǒng)的傳感器特性測(cè)試儀功能單一、專用性強(qiáng)的缺點(diǎn)，利用GPIB卡組建由ZL5型智能LCR測(cè)試儀與計(jì)算機(jī)構(gòu)成的濕敏元件性能測(cè)試系統(tǒng)，并基于LabVIEW開(kāi)發(fā)出系統(tǒng)控制軟件。根據(jù)存儲(chǔ)文件方式的不同，采用不同的圖形分析方法。通過(guò)將其應(yīng)用于氧化鈦基薄膜的濕敏特性研究實(shí)驗(yàn)，結(jié)果表明該系統(tǒng)能夠方便、直觀地分析濕敏元件的性能。

關(guān)鍵詞：濕敏元件； LabVIEW； 電阻特性； 復(fù)阻抗

中圖分類號(hào)：TN911-34； TP212 文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A 文章編號(hào)：1004-373X(2012)14-0149-03