摘要：采用電泳沉積制備薄膜的方法，在鋁合金鍍銀片上均勻的涂覆納米碳涂層。研究了不同的電泳電壓及電泳時(shí)間對(duì)涂層形貌結(jié)構(gòu)的影響。掃描電子顯微鏡（SEM）、二次電子發(fā)射系數(shù)（SEY）測(cè)試結(jié)果表明，保持陰陽(yáng)極間距為1cm，在30 V的直流電壓下電泳15min所獲得的樣片涂層均勻、連續(xù)、致密且具有明顯的陷阱結(jié)構(gòu)。實(shí)驗(yàn)表明，其SEY最大值σmax 達(dá)到2.03，對(duì)應(yīng)的入射能量為500eV，E1能量點(diǎn)在60eV。使用Ar離子轟擊清洗表面10min后，樣片的SEY最大值σmax 達(dá)到1.76，對(duì)應(yīng)的入射能量Emax為400 eV，E1能量點(diǎn)在80 eV。

關(guān)鍵詞：納米碳涂層； 電泳沉積； 薄膜； 二次電子發(fā)射； SEY

中圖分類號(hào)：TN710-34文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼：A

文章編號(hào)：1004-373X（2012）20-0143-03