陳 威，王 偉 ，李 偉，柳 濱

(中國電子科技集團公司第四十五研究所,北京東燕郊 101601)

拋光臺是CMP（化學機械拋光）設備中重要部件，拋光臺精度對CMP設備至關重要。三個拋光臺都安裝在基座上（如圖1所示），因此有必要對基座進行有限元分析，觀察它的應力應變分析圖，檢驗其是否符合設計要求。另一方面基座體積大，考慮成本因素，是否可以在不影響性能指標條件下增加減重孔，從而降低成本，因此有必要進行基座結構的優(yōu)化設計。

基于COSMOSWorks是SRAC推出的一套強大的有限元分析軟件，它是完全整合在Solidworks中的設計分析系統(tǒng)，提供應力、應變、頻率、熱量和優(yōu)化分析。為設計工程師在Solidworks的環(huán)境下，提供比較完整的分析手段。依據(jù)先進的快速有限元技術，工程師能非常迅速地實現(xiàn)對大規(guī)模的復雜設計的分析和驗證，并且獲得修正和優(yōu)化設計所需的必要信息，縮短了設計所需的時間，提高了設計質(zhì)量和降低了設計成本，是目前廣為流行的CAE軟件。

本文運用Solidworks中COSMOSWorks模塊進行有限元分析，為結構優(yōu)化提供重要的依據(jù)。

圖1 基座安裝圖

1 有限元分析

采用Solidworks軟件仿真設計基座，其流程如圖2所示。

圖2 基座有限元分析流程圖

1.1 建模

與一般的CAD軟件相同，SolidWorks提供了強大的實體模型生成功能。利用它完全可以建立用戶想得到的模型。在進行有限元分析時，Solid-Works軟件要求分析的零件應盡量簡化，以便大大減少計算機的計算時間、節(jié)約計算機資源，所以我們將基座的結構在滿足力學的條件下進行簡化?；牟牧蠟镠T250。

1.2 網(wǎng)格化有限元模型的建立

網(wǎng)格化就是對建立好的實體模型進行網(wǎng)格劃分，從而建立其有限元模型，它是使用SolidWorks對零件分析時最重要一步。

COSMOSWorks分析從SolidWorks零件或裝配體模型的幾何體開始。幾何體必須能夠被正確、適度小的有限元所劃分。對于小的概念，并不是指它的單元尺寸，而是表示網(wǎng)格中單元的數(shù)量。對網(wǎng)格的這種要求，有著極其重要的含義。必須確保CAD幾何體的網(wǎng)格劃分，并且通過所產(chǎn)生的網(wǎng)格能得到正確數(shù)據(jù)，如位移、應力、應變、溫度分布等。

對基座進行網(wǎng)格劃分，網(wǎng)格劃分以后的模型如圖3、4所示。

圖3 無減重孔基座的網(wǎng)格劃分圖

圖4 有減重孔基座的網(wǎng)格劃分圖

1.3 加載與求解

(1)施加約束。由于基座通過螺栓與基板相連，因此可對底部螺栓孔施加固定約束。

（2）載荷的計算與施加。臺Ⅰ、臺Ⅱ、臺Ⅲ與基座通過螺栓連接，與各自臺子連接的基座側面上面螺栓孔受拉，側面下三個螺栓孔受壓。根據(jù)臺Ⅰ、臺Ⅱ、臺Ⅲ、主軸的質(zhì)量，臺Ⅰ、臺Ⅱ重心到基座的距離以及上下螺孔間距可以計算出相應點的受力。

主軸在基座上產(chǎn)生的壓強為：

這一步主要是在求解模塊中(SOLU)進行，包括定義分析類型、確定分析選項、施加載荷及載荷步。

1.4 結果分析

求解完成以后，應用后處理器可以直觀地看出基座的應力分析如圖5、6所示。無減重孔的基座應力分析如圖5所示，敏感區(qū)域產(chǎn)生的最大應力15.51 MPa，遠小于它的拉伸強度極限σb=250 MPa，位移分析如圖7所示，敏感區(qū)域產(chǎn)生的最大位移1.804μm。

有減重孔時基座應力分析如圖6所示，敏感區(qū)域產(chǎn)生的最大應力15.31 MPa，遠小于它的拉伸強度極限σb=250 MPa，位移分析如圖8所示，敏感區(qū)域產(chǎn)生的最大位移為2.791μm。

圖5 無減重孔基座的應力圖

圖6 有減重孔基座的應力圖

圖7 無減重孔基座的應變圖

圖8 有減重孔基座的應變圖

3 結 論

經(jīng)上述分析可知，基座在有無減重孔的情況下產(chǎn)生的最大應力均遠小于它的拉伸強度極限σb=250 MPa。基座在無減重孔時敏感區(qū)域產(chǎn)生的最大位移1.804μm，有減重孔敏感區(qū)域產(chǎn)生的最大位移為2.791μm，本系統(tǒng)無高速運動，不存在振動的問題，有無減重孔影響不大。根據(jù)得到的基座周圍的應力、應變分布圖，可知基座在有無減重孔時都滿足設計要求，由于基座為鑄件且尺寸較大，從節(jié)約材料方面考慮，采用有減重孔的方案。利用Solidworks軟件，在合理建立模型，正確加載與約束下，可以快速地對各方案進行分析并從中優(yōu)選。

[1]關鼎，肖平陽.Solidworks三維造型典型實例教程[M].北京：機械工業(yè)出版社，2006.

[2]江洪，陳燎，王智等.Solidworks有限元分析實例解析[M].北京：機械工業(yè)出版社，2008.

[3]胡明璽，高萬玉，杜振杰等.基于ANSYS的高阻尼橡膠緩沖系統(tǒng)設計[J].機械設計與制造，2005，39（12）：38-40.

[4]王勖成，邵敏.有限單元法基本原理和數(shù)值方法[M].北京：清華大學出版社，1997.

[5]龔曙光.ANSYS工程應用實例子解析[M].北京：機械工業(yè)出版社，2003.

[6]Solidworks有限元分析實例解析.北京：機械工業(yè)出版社，2008.