摘要：本文結(jié)合多方視角，詳細(xì)探討最新的半導(dǎo)體工藝技術(shù)發(fā)展，相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈各方對新工藝的應(yīng)用情況及客觀評價。

關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體制造；28nm；Foundry；HKMG

環(huán)保意識的提升，首當(dāng)其沖的就是對各種電子產(chǎn)品能效指標(biāo)的愈加嚴(yán)格，功耗管理及其對系統(tǒng)成本和性能的影響是當(dāng)前電子系統(tǒng)設(shè)計人員和制造商所首要關(guān)注的問題。隨著競爭日益激烈，盡力降低功耗、加強對熱耗散的有效管理、并同時在由價格和性能驅(qū)動的功能方面保持領(lǐng)先等更加不可或缺。與眾多先進電源管理方案實現(xiàn)降低系統(tǒng)功耗相比，制程工藝的進步才是提升性能和降低功耗最根本的辦法，轉(zhuǎn)向更高制程無疑是提升半導(dǎo)體產(chǎn)品性能功耗比和市場競爭力最直接有效的辦法。

市場研究機構(gòu)Gartner Dataquest產(chǎn)業(yè)分析師Kay-Yang Tan表示，過去數(shù)十年來，集成器件制造商(IDM)在工藝技術(shù)及服務(wù)的創(chuàng)新方面扮演領(lǐng)航者的角色，未來也將繼續(xù)在新世代產(chǎn)品的開發(fā)上扮演重要的角色。專業(yè)集成電路制造服務(wù)領(lǐng)域所產(chǎn)出芯片的市場銷售金額占全球半導(dǎo)體業(yè)的比例已從1998年的9.2％增加到2009的28.1％。

經(jīng)歷過經(jīng)濟危機的洗禮之后，半導(dǎo)體市場從2009年下半年開始強力反彈，在這樣的市場大環(huán)境推動下，2010年又將迎來一個制程工藝全面革新?lián)Q代的年份。2009年，Intel已經(jīng)邁入了32nm時代，今年領(lǐng)先的幾大代工廠商均已經(jīng)宣布開始量產(chǎn)32nm的博弈。TSMC(臺積電)、IBM聯(lián)盟以及三星都已經(jīng)在2009年公開了自己2010年的工藝革新計劃，只是，這次三大代工陣營似乎如商量好般直接發(fā)布自己的28nm工藝，而跳過了32nm這個主節(jié)點。

代工廠的進程

28nm工藝是目前幾大主流Foundry(代工廠)提供的新一代工藝節(jié)點，代工界龍頭TSMC計劃于2010年第三季與第四季依序推出28LP低耗電及28HP高效能的工藝以滿足客戶的需求，并且于20n年第一季再推出28HPL高效能低耗電的后續(xù)工藝。一般而言，大規(guī)模的生產(chǎn)時程會于推出半年后開始。TSMC將同時提供客戶高介電層／金屬柵(HKMG，High-k Metal Gate)及氮氧化硅(SiON，Silicon Oxynitride)兩種材料選擇，與40nm工藝相較，柵密度更高、速度更快、功耗更少。TSMC負(fù)責(zé)研發(fā)的資深副總蔣尚義博士介紹，之所以選擇跳過32nm，是因為工藝都是基于服務(wù)客戶的需求。相較于32nm，28nm的柵密度顯然更高許多。同時考慮到客戶在高效能對于速度以及無線移動通訊對于低耗電方面的要求分別推出以HKMG柵極工藝的28HP以及延續(xù)SiON閘極介電材料的28LP，相信會給客戶帶來更多在效能，耗電及成本方面的效益。

TSMC的HKMG用于28HP高效能是全新的工藝，與40nm相較在相同漏電基礎(chǔ)上有50％的速度提升，相同速度基礎(chǔ)上漏電亦有大約50％的降低。HKMG的工藝成本會增加，但是TSMc在每一代的工藝都會給客戶盡可能高的性價比。TsMc的28nmHKMG比一般32nm有更高的柵密度、勇快的速度、更低的耗電，同時HKMG更進一步降低了柵極的漏電。盡管也有競爭對手同時有采用Gatefirst的工藝，但是這種單一金屬材料很難同時讓NMOS、PMOS達到功能的匹配。TSMC使用不同的金屬材料使得NMOS、PMOS在功能的匹配及vt調(diào)整上都能達到要求。

從設(shè)計角度，蔣尚義博士介紹，28nm與現(xiàn)在的4s(40)nm這代工藝相比存在全新挑戰(zhàn)。TSMC在45(40)nm采用了部分的設(shè)計準(zhǔn)則限制(Restricted Design RuIe)，但是到28ran設(shè)計準(zhǔn)則限制的范圍更加擴大；另外提取和仿真(extraction and simulation)需要處理更多的數(shù)據(jù)。為了應(yīng)對這些挑戰(zhàn)，TSMC和客戶以及設(shè)計伙伴間對每個產(chǎn)品都必須更早及更緊密地聯(lián)系及合作。

為了提高合作的效能，TSMC為了先進工藝推出多項EDA技術(shù)檔案。包括可互通的制程設(shè)計套件(iPDK)、制程設(shè)計規(guī)則檢查(iDRC)、集成電路布局與電路圖對比(iLVS)，及制程電容電阻抽取模塊(iRCX)，其中iRCX就是為28nm推出的。

與前一代工藝比較，為了依然能夠達到讓新工藝有大約2倍的柵密度(gate density)，TSMC的28nm在線路布局方面有新的要求。同樣地，將來更新工藝如22／20nm在design rule(設(shè)計準(zhǔn)則)方面會有許多新的要求與限制以達到柵密度倍增的要求。將來可以預(yù)見的是客戶會更緊密地與晶圓代工伙伴合作以提前應(yīng)對許多在制程工藝以及設(shè)計上更多的挑戰(zhàn)，以達到上市以及上量的目標(biāo)。

Fabless擇機而動

處理器、FPGA與基帶處理，這三個能夠完成獨立處理功能的半導(dǎo)體產(chǎn)品還有什么共同點?那就是必須一直堅持緊跟工藝革新的步伐，否則就將面對可能掉隊的危險。這三種產(chǎn)品其實并不一定是采用最領(lǐng)先的制程就能制造出最符合市場需求的產(chǎn)品，但面對著越來越激烈的半導(dǎo)體產(chǎn)品競爭，三大產(chǎn)品線已經(jīng)不得不咬緊牙關(guān)，把工藝緊跟到底。在眾多Foundry已經(jīng)公布28nm路線圖的基礎(chǔ)上，目前只有這三大應(yīng)用的Fabless公司高調(diào)公布了自己的28nm產(chǎn)品戰(zhàn)略。

處理器

Intel早已在2009年就開始32nm生產(chǎn)，作為目前唯一一個宣稱要堅持到底的IDM廠商，Intel一直將工藝作為其產(chǎn)品的核心競爭力之一。而另一家處理器廠商AAD則還在與自己的代工廠GLOBALFOUNDRIES(GF)進行相關(guān)工藝開發(fā)，預(yù)計今年下半年可以推出32(28)nm的工藝。通用處理器IP廠商MIPS同樣已經(jīng)開始推出基于全新制程節(jié)點的參考設(shè)計提供給客戶。

便攜處理器方面，GF和ARM共同發(fā)布了其尖端片上系統(tǒng)平臺技術(shù)的新的細(xì)節(jié)，該平臺技術(shù)專門針對下一代無線產(chǎn)品和應(yīng)用。這一新的平臺包括兩種GF的工藝：針對移動和消費應(yīng)用的28nm超低功耗(SLP)工藝和針對要求最高性能應(yīng)用的28nm高性能(HP)工藝，預(yù)計GF將在2010年下半年啟動制造生產(chǎn)。相較于以往的40／45nm技術(shù)，28nm工藝及其Gate-First HKMG技術(shù)能夠提供卓越的性能收益。根據(jù)目前的預(yù)計，28nmHKMG在相同的溫度范圍(therinalenvelope)內(nèi)提高約40％的計算性能，改善移動設(shè)備的應(yīng)用性能，強化多任務(wù)處理能力?？蛻粼趶V泛采用的Gate-First方法中的獲益，現(xiàn)在也能在HKMG工藝中取得。與40／45nm工藝相比，28nm HKMGI藝的結(jié)合能夠提升3096的功耗效率，并將待機電池壽命延長了100％。

FPGA

Altera公司在今年2月初舊已經(jīng)確定2010年將攜手TSMC推出自己的28nmFPGA產(chǎn)品，同時在即將推出的28nm中采用的創(chuàng)新技術(shù)：嵌入式HardCopy模塊、部分重新配置新方法以及嵌入式28／Gbs收發(fā)器，這些技術(shù)將極大的提高下一代Rltera FPGR的密度和I／o性能，并進一步鞏固相對于RSIC和ASSP的競爭優(yōu)勢。Altera總裁、主席兼CEO John Daane評論說：“隨著向下一工藝節(jié)點的邁進，Ritera的這些創(chuàng)新技術(shù)將引領(lǐng)業(yè)界超越摩爾定律，解決帶寬挑戰(zhàn)，同時滿足成本和功耗要求?！?/p>

賽靈思可編程平臺開發(fā)全球高級副總裁VictorPeng指出：“在28nm這個節(jié)點上，靜態(tài)功耗是器件總功耗的重要組成部分，有時甚至是決定性的因素。由我們選擇了TSMC和三星的高介電層／金屬柵(HKMG)高性能低功耗工藝技術(shù)，以使新一代FPGA能最大限度地降低靜態(tài)功耗，確保發(fā)揮28nm技術(shù)所帶來的最佳性能和功能優(yōu)勢?！辟愳`思28nm工藝技術(shù)的相關(guān)產(chǎn)品將于2010年第四季度上市。

基帶處理器

規(guī)模最大的fabless企業(yè)高通資深副總裁兼通訊科技總經(jīng)珊im Clifford表示，高通借由領(lǐng)先業(yè)界的整合、兼具功耗及成本效益的產(chǎn)品，為客戶帶來“利用最少資源，獲得更多效益”的重要優(yōu)勢，其關(guān)鍵在于與Foundny的緊密合作，現(xiàn)在更進一步延伸至低耗電、低漏電的28nm進行量產(chǎn)。28nm工藝密度可較前一代工藝高出一倍，讓進行移動計算的半導(dǎo)體器件能在更低耗電下提供更多功能。高通與TSMC目前在28nm的合作包括HKMG高效能工藝技術(shù)以及SiON的低耗電高速工藝技術(shù)。此外，高通預(yù)計于2010年中投產(chǎn)首批28nm產(chǎn)品。

出貨量最大的Pabless企業(yè)一博通公司的運作和中央工程執(zhí)行副總裁Neil Y.Kim認(rèn)為：“我們有計劃向下一代的制程技術(shù)轉(zhuǎn)移。博通公司也正在研發(fā)下一代制程技術(shù)的設(shè)計平臺，向先進制程參數(shù)轉(zhuǎn)移的首要原因就是它可以提升性能、降低功耗、減小芯片尺寸，并且實現(xiàn)更高的集成度。我們的評估顯示下一代先進制程可以提供上述所有好處?！睂τ诓┩ǘ裕捎诋a(chǎn)品線相對比較廣，因此Kim介紹，博通會根據(jù)市場需求進行不同產(chǎn)品的評估。大部分采用28／32nm制程技術(shù)的產(chǎn)品更具競爭力，根據(jù)市場需要博通已經(jīng)做好準(zhǔn)備迎接新制程技術(shù)的采用，28nm工藝可以為手機和其他應(yīng)用提供更高的帶寬和更低的能耗。此外，新工藝還將持續(xù)著力于實現(xiàn)更高程度的系統(tǒng)集成并推動融合。隨著融合不斷的推進，擁有更強大IP的公司可以更受益于新的制程技術(shù)。(由于設(shè)計的復(fù)雜性)產(chǎn)品研發(fā)的平均成本將會繼續(xù)提升，他們會要求更多的資源、計算和存儲。這就像是提高了入門成本，但是相信消費者也更快地意識到新工藝的好處。

未來：全代CPU和半代SoC?

按照摩爾定律的指引，多年來制程更新的尺寸都是前一代的0.7倍，隨著存儲器行業(yè)不斷在PC的推動下快速成長，存儲器逐漸超越cPu成為制程工藝的領(lǐng)導(dǎo)者，而存儲顆粒的尺寸直接決定了存儲器單位面積上的存儲容量，這就讓存儲器廠商在如何縮減工藝尺寸上絞盡腦汁。于是，誕生了一個比標(biāo)準(zhǔn)工藝節(jié)點(全代工藝)更高密度的工藝，與其同屬一代工藝而工藝尺寸只有全代的0.9。毫無疑問，這樣的變化對Fab的改進不大，投入可以接受，卻可以提供密度為全代工藝1.24倍的芯片，對客戶來說，在成本支出不大的情況下可以讓其產(chǎn)品更有性能競爭優(yōu)勢。對于這樣的革新，某廠商賦予其一個帶有些許感情色彩的稱呼：半代!

隨著所有Poundry齊齊轉(zhuǎn)向28nm的“半代”工藝，半導(dǎo)體極有可能以制程分成兩個陣營，對于需要緊跟制程革新腳步的應(yīng)用芯片來說，芯片的種類將直接決定了采用的制程工藝，由于大部分選擇了代工，soc及更接近soc的PPGA等將絕大部分以“半代”工藝出現(xiàn)，而CPU依然在Intel的堅守下停留在“全代”工藝。當(dāng)然，還有些許疑問等待未來證實：擁有cPu生產(chǎn)訂單的GF是否會同時兼顧全代和半代兩個陣營，還是將AMD的 CPU推進到半代工藝：Intel重兵出擊的soc產(chǎn)品，比如Atom處理器等低功耗芯片，是繼續(xù)堅持Intel的全代工藝還是轉(zhuǎn)向更主流的SoC半代工藝。

32nm的硝煙剛剛開始，22nmI藝的路線圖也日漸清晰。舊金山秋季IDF 2009上，Intel總裁兼CEO Paul Otellini就展示了世界上第一塊基于22nm工藝的晶圓，并宣布將于2011年下半年發(fā)布相應(yīng)的處理器產(chǎn)品，開發(fā)代號Ivy Bridge。展示的測試晶圓采用22nm工藝結(jié)合第三代高K金屬柵極(HK+MG)晶體管技術(shù)、193nm波長光刻設(shè)備制造而成，其上既有SRAM單元也有邏輯電路，并且切割出來的芯片已經(jīng)可以實際工作，將成為Intel未來22nm處理器的基礎(chǔ)。4月14日，TSMc蔣尚義博士談到TSMC20nm工藝將比22nm工藝擁有更優(yōu)異的柵密度以及芯片性價比。為先進技術(shù)芯片的設(shè)計人員提供了一個可靠、更具競爭優(yōu)勢的工藝平臺。此外，20nm工藝預(yù)計于2012年下半開始導(dǎo)入生產(chǎn)。TSMCZ0nm工藝系在平面電晶體結(jié)構(gòu)工藝(planar process)的基礎(chǔ)上采用強化的高介電值／金屬閘(HKMG)、創(chuàng)新的應(yīng)變硅(strained silicon)與低電阻／超低介電值銅導(dǎo)線(low-resistance copperultra-iow-k interconnect)等技術(shù)。同時，在其他晶體管結(jié)構(gòu)工藝方面，例如鰭式場效晶體管(FinPet)及高遷移率(high-mobility)元件，也展現(xiàn)了刷新記錄的可行性(feasibility)指標(biāo)結(jié)果。從技術(shù)層面來看，由于已經(jīng)具備了創(chuàng)新微影技術(shù)以及必要的布局設(shè)計能力，TSMC因此決定直接導(dǎo)入20nm工藝。

如此看來，IDM與Foundry之間已經(jīng)明顯出現(xiàn)制程節(jié)點的不同，這一趨勢將持續(xù)存在下去?，F(xiàn)在尚不能評價半代和全代工藝哪個更適合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，至少半代總算是一種技術(shù)上的進步，只是做出半代還是全代選擇的權(quán)利還是應(yīng)該留給芯片設(shè)計者，在選擇中去體驗兩種技術(shù)的不同也許對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)來說才是更健康的發(fā)展之路。

業(yè)界首款16Mb M8AM問世

磁性隨機存儲器(MKAM)和集成磁產(chǎn)品的領(lǐng)導(dǎo)廠商Everspin科技公司日前推出16Mb MRAM。現(xiàn)在，所有需要無電數(shù)據(jù)保持以及SRAM性能的應(yīng)用都可使用具有非易失性、高性能、以及高可靠性優(yōu)勢的MRAM技術(shù)。

MR4A16B是一款3.3V、并行I／O非易失RAM，其超快的存取周期僅為35ns，并允許無限制的讀／寫循環(huán)。在每次寫入后，資料能持續(xù)保存超過20年。此外，與其它存儲器不同，MRAM還可免除因宇宙射線所產(chǎn)生的軟錯誤率(SER)。這款16Mb MRAM由位寬為16的1，048，576個字組成。引腳和功能可與異步SRAM兼容。MR4A16B目標(biāo)應(yīng)用為工業(yè)自動化、機器人、網(wǎng)絡(luò)和數(shù)據(jù)儲存、多功能打印機、以及其它許多傳統(tǒng)受限于需采用SRAM設(shè)計的系統(tǒng)。

Everspin也是MRAM唯一進行商業(yè)化生產(chǎn)的廠商。首席運營官Saied Tehrmi博士說，下一步，Everspin將持續(xù)快速擴展MRAM產(chǎn)品組合，以協(xié)助更多客戶實現(xiàn)產(chǎn)品差異化的目標(biāo)。根據(jù)產(chǎn)品發(fā)展藍圖，Everspin將不斷提高MRAM產(chǎn)品的容量，并以極具成本效益的方式保持MRAM的獨有特性。

Everspin是從飛思卡爾半導(dǎo)體公司分離出來的一家獨立公司。2006年，Everspin推出業(yè)界第一款商業(yè)化MRAM產(chǎn)品。今日，Everspin MRAM已用在計算機存儲器、工控、能源管理、通訊、運輸、博彩游戲和航空航天電子等領(lǐng)域。