摘 要 基于微機電系統(tǒng)(Micro-electro-mechanical systems，MEMS)技術(shù)，制作了微型氣相色譜柱，并對其性能進行了研究。與傳統(tǒng)色譜柱相比，此微型色譜柱具有體積小，分析速度快等特點，適用于在線檢測分析與監(jiān)測。本研究利用深刻蝕技術(shù)與動態(tài)涂覆固定相的方法，設(shè)計制作了0.5， 1.0及3.0 m色譜柱，實現(xiàn)了對苯，甲苯和鄰二甲苯的分離。其中，3.0 m色譜柱對甲苯和鄰二甲苯的分離度達14.3，理論板塔數(shù)達6160，分離時間少于200 s。考察了柱長對色譜柱分離性能的影響。此微型色譜柱可廣泛應(yīng)用于家居安全，瓦斯監(jiān)測以及環(huán)境檢測等領(lǐng)域。

關(guān)鍵詞 微型色譜柱；分離度；理論板塔數(shù)；微機電系統(tǒng)