誰能支持EUV光刻？

回答只有極少數(shù)幾家公司，因?yàn)樵O(shè)備的價(jià)格再次上升。VLSICEODanHutcheson回答，每臺(tái)1.25億美元。在報(bào)告中，一年之前VLSI的總裁Risto Puhakka曾預(yù)測，設(shè)備的價(jià)格未來要按pixel像素來計(jì)算，當(dāng)時(shí)大家認(rèn)為這是不可能的，但是現(xiàn)在EUV的價(jià)格己經(jīng)幾乎得到證實(shí)。

在2003年時(shí)，Intel支持EUV，希望每臺(tái)設(shè)備價(jià)格在2000萬美元。當(dāng)時(shí)的目標(biāo)是試圖用EUV來替代今日的193 nm浸入式光刻，如今己成泡影。

由于研發(fā)成本的上升，導(dǎo)致設(shè)備價(jià)格不斷提升，所以EUV不斷的推遲上市。據(jù)ASML報(bào)道，EUV alpha型每臺(tái)要6000萬美元。IMEC及Sematech都購買了首臺(tái)alpha型設(shè)備。

隨著EUV的進(jìn)步，正如之前報(bào)道，ASML已經(jīng)售出6臺(tái)樣機(jī)，取名NXE 3100，預(yù)計(jì)今年底發(fā)貨，每臺(tái)設(shè)備己提升至9000萬美元。

按BarclayCapital的說法，ASML實(shí)際上己經(jīng)收到下一代EUV設(shè)備10臺(tái)的訂單，取名為NXE3300，客戶包括 Hynix、IMEC、Samsung、Toshiba 及 TSMC 等。應(yīng)該承認(rèn)即使是NXE3300仍不是真正量產(chǎn)的設(shè)備。

（來源：EE Times）